Automaatne CMP Post Clean, Hiina Automaatne CMP Post Clean Tootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

Puhastusseadmed pärast vahvlite keemilist mehaanilist poleerimist

CMP Post Chean

Masina omadused

Tugev protsessivõime
Kahekambriline harjamine, millel on lai valik protsessi rakendusi
Seadmed hõivavad väikese ala, mõõtmetega 2200 * 800 * 2200 (mm)

Rakenduse väljad

6-8 tolline CMP pärast harjamist
Puhastamine pärast SIC või muude aluspindade lihvimist

Tehnilised näitajad

Puhastamine pärast 4- ja 6-tollist CMP-d
Kahekambriline disain, iseseisev kambri töö Niisutage sisse ja kuivatage või kuivatage sisse ja kuivatage
Kiire tsentrifuugimiskuiv SRD

LoadPort üksus, laadimisüksus

LoadPort on selle seadme laadimisüksus

Märgkasseti söötmine
Omab pihustatavat niisutavat funktsiooni

Harja, vahvli puhastusseade

Kahekambriline seade, mis suudab toetada kahte erinevat puhastuslahendust
Harjamisasendit saab reguleerida vastavalt retseptile Lintkonveier

SRD seade, vahvlikuivatusseade

Vahvliklambri tüüpi tsentrifuugimine, maksimaalse kiirusega 4000 RPM
Oskab teostada vahvlipinna AS-i puhastamist ja pihustada DIW-d

LAADIMISüksus, lõikeseade

Unload-üksusel on sõltumatu FFU, mis tagab vahvliväljundi puhtuse

Konveier

Märg ala on lintkonveier

Kuiv ala robotite teleporteerimiseks

Harjaüksuse kirjeldus

Nagu näidatud vasakpoolsel joonisel, koosneb selle seadme harjaüksus kahest harjamoodulist, nimelt BU1 BU2.

Iga üksuse harja survet saab reguleerida eraldi (nagu retseptis ette nähtud) ja iga harja teraüksust saab pesta erinevate keemiliste puhastuslahustega eraldi.

Masina hari kasutab PVA-harja, mis on turul sageli kasutatav tüüp.
Ülekanne õõnsuste vahel on lintkonveier. Õõnsuse sees on DIW RINSE

SRD üksus

SRD-seade on varustatud kinnitusklambriga CHUCK ja AS ARM-iga, mis võivad vahvli pinda veelgi füüsiliselt puhastada ja tsentrifuugimisega kuivatada.

spetsifikatsioon

Seadme suurus:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Laadimis- ja mahalaadimismeetodid	sisse kuivama / märjaks sisse / kuivama
Harjamisüksuste arv	2
SRD ühikute arv	1
Transpordimeetod	Märgtsooni linttransport, kuivatsooni robottransport
1-kordse harjamiskambriga seadme suurus on 1850 * 800 * 2200

Pakkimine ja kohaletoimetamine

Firmast

FAQ

1. Hind:
Kõik meie hinnad on konkurentsivõimelised ja läbiräägitavad. Hind sõltub teie seadme konfiguratsioonist ja kohandamise keerukusest.

2. Näidise kohta:
Saame teile pakkuda näidistootmisteenuseid, kuid võite maksta mõningaid tasusid.

3. Teave makse kohta:
Pärast plaani kinnitamist peate esmalt tasuma meile tagatisraha ja tehas hakkab kaupa ette valmistama. Pärast
seadmed on valmis ja maksate saldo, me saadame selle.

4. Teave kohaletoimetamise kohta:
Pärast seadmete valmistamise lõpetamist saadame teile vastuvõtuvideo ning võite tulla ka objektile seadmeid üle vaatama.

5. Installimine ja silumine:
Kui seadmed teie tehasesse jõuavad, saame saata insenerid seadmete paigaldamiseks ja silumiseks. Teeme teile selle teenustasu kohta eraldi hinnapakkumise.

6. Garantii kohta:

Meie seadmetel on 12-kuuline garantiiaeg. Garantiiperioodi lõppedes, kui mõni osa on kahjustatud ja vajab väljavahetamist, võtame ainult omahinna.