Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Avaleht
Meist
MH Equipment
LAHENDUS
Välismaelased kasutajad
Video
Kontakt
Kodu> MH Equipment> Hindur ja poliiseerija
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist
  • Automaatne CMP pärast puhastamist

Automaatne CMP pärast puhastamist

Toote kirjeldus

Puhastusseadmed pärast pühaplaadi keemilist mehaanilist polüreerimist

CMP Post Chean

Masina omadused

Tugev protsessivõime
Kaks kammerit küpsetamiseks, laialt protsessi sobiv
Seade võtab vähe ruumi, mõõdud on 2200 * 800 * 2200 (mm)

Rakendusvaldkonnad

6-8 tolli CMP pärast küpsetamist
Puhastus pärast SIC või teiste alusekaulude lihvimist

Tehnilised parameetrid

Puhastus pärast 4-tollset ja 6-tollset CMP-d
Kaheksilise disain, sõltumatu kameratöötlus Mootorelisi ja kuivast välja või kuivast sisse ja kuivast välja
Kõrge kiirusega centrifugaalne kuivamine SRD

LoadPort ühik, laadimisühik

LoadPort on selle seadme laadimisühik
Veseline kasetti toimetamine
Lubab pritsipuhastuse funktsiooni

Suuühik, Waferi puhastusühik

Kahekamerane ühik, võimeline toetada kahte erinevat puhastusvoogu
Pistmise asend võib korra järgi kohandada. Jaam kaasab Belt Conveyorit

SRD ühik, Wafer kuivatamise ühik

Waferi hoidla tüübi kiirkuus kuivatus, maksimaalsega kiirusega 4000TPM
Võib teostada AS puhastust waferi pinnal ja pritsida DIW-d

UNLOAD ühik, lõigemisühik

UnLoad ühikul on sõltumatu FFU, et tagada waferi väljundkoorma puhtus

Transpordijaam

Nadala jaam on möödutranspordijaam
Roboti teleportatsiooni jaoks kuiv ala

Pistmise ühiku kirjeldus

Näidatud vasakul joonisel, koosneb selle seadme põrkemisüksus kahest põrkemisüksusest, nimelt BU1 ja BU2.
Iga üksuse põrgevõime saab eraldi kohandada (nagu retseptis määratletud), ja iga põrkemissõrmiku üksus saab puhastada erinevate keemiliste puhastussüstega eraldi.
Seadmes kasutatakse PVA-põrget, mis on turgul tavaliselt kasutatav tüüp.
Tühimete vahelise liikluse korraldatakse imusti abil. Tühimes on DIW RINSE.

SRD üksus

SRD üksuses on paigaldatud hoidja CHUCK ning AS KÄRPIK, mis võivad füüsiliselt puhastada ja centrifugeerida plaadide pindu.
Spetsifikatsioon
Seadme suurus:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Laadimismeetodid
kuivalt sisse/kattega sisse/kuivalt välja
Pistmise üksuste arv
2
SRD üksuste arv
1
Transpordimeetod
Nadav veeretransport, kuiv ala robotitransport
Seadme suurus pistmise kameraga 1 on 1850 * 800 * 2200
Pakendamine ja kohaletoimetamine
Ettevõtte profiil
KKK
1. Hindade kohta:
Meie kõik hinnad on konkurentsivõimas ja läbipaistvad. Hind sõltub seadme konfiguratsiooni ja kohandamise keerukusest.

2. Mustrite kohta:
Võime pakkuda teil näidisetooteid, kuid te peate maksuma mõned tasud.

3. Makse kohta:
Kava kinnitamisel peate meile esmalt maksumaksandama, ning tehas hakkab varude ettevalmistamisega. Kui seade on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.
seadme on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.

4. Toimetamine kohta:
Seadmete tootmise lõpetamise järel saadame teile vastuvõtuvideo, samuti võite te seda vajadusel kontrollida kohtadel.

5. Installimine ja silumine:
Kui seade on teie tööstuses, saadame meie insenerid selle installimiseks ja silumiseks. Selle eest pakume eraldi hindamist.

6. Tagasi kinnitusest:

Meie seadmed on tagatud 12 kuud. Tagakaitse perioodi möödudes, kui mingi osa on katki ja tuleb asendada, tehakse selle eest ainult materjalihind.

Päring

Päring Email Whatsapp Top
×

Oleme ühenduses