Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Saada pakkumine

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Avaleht
Meist
MH Equipment
LAHENDUS
Välismaelased kasutajad
Video
Kontakt
Kodu> Plaadide koorustaja
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)
  • Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)

Automaatne ühe platvormi waagema polüser ja mehaaniline polüseerimine (CMP)

Saada Tasuta Hindamiskinnitus
Toote kirjeldus
ATOM Single Platen CMP

Masina omadused

Seade on paindlik ja võib toetada mitmeid peheid.
Seadme protsessikogumeeskond on lähedal samasuursete toodete peamiste mudelite tasemel.
Väga hea seadmetevaheline protsessi ühtsus.

Rakendusvaldkonnad

4-8 tolli STI, ILD/IMD, TSV, TGV lihmistamine ja lihvimiste ainete nagu SiC, LT, LN, GaAs jne pindade lihmistamine

Tehnilised parameetrid

4-tollid, 6-tollid, 8-tollid pead, mitme sektori juhtimine
Tüüp Φ20 tolli 508MM plaat
Pea vajutuse kontrollitavus<0.05PSI
Pea ja plaadi pöörlemis kiiruse kontrollitavus<2RPM

1. LoadPort üksus

Port võib pöörata, et tõmmata Cassette Qtanki seesse, mis vältib Slurry krüstide moodustumist
poliirstud pinnal Waferil. Varustatud Cassette Mapping funktsiooniga.

2. Robotmaterjalide tuurimise üksus

Varustatud 4-akselise robotiga, mis suudab automaatselt ülekaneda waferid Cassettest lihvimise ühikule.

3. Poliivse ühik

See ühik on varustatud Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 ja EPD lõpppunktide tuvastamise funktsiooniga.
see võimaldab automaatset plaadide laadimist ja unlusdamist, mitme sektori pea juhtimist, Slurry
puhvri sisselandumispunkti muutmist Recepti seadedega, lõpppunktide tuvastamist ja teisi funktsioone.
CMP Poliivse Pea
Selle seadmega konfigureeritud poliivsed pead on kogu arenduse, disaini ja tootmise osas meie ettevõtte poolt tehtud.
Nende hulgas on 4-tolline 3-ruumiline Pea unikaalne toode, mille meie ettevõte loomisega täideti Hiinas ebavajalikuks olnud mitme ruumilise 4-tollise Pea puudus. Meie ettevõte suudab kiiresti muuta või kohandada Pead vastavalt klienti toote omadustele. TGV tippteabe (200um) toodete arendamisel muutisime Pea sisemist struktuuri, et rahuldada tippteabe poliivmise nõudeid. LN pinnase OX poliivmisetehnoloogia arendamise käigus tugevdasime sügavalt 6-tollist Pead ning edukalt rahuldasime klienti tooteid.
Rakendused
Tavaline IC plaanariseerimise puustamisprotsess;
TGV/TSV protsess;
Smart Cut ja eelneva lihmistamise CMP;
SIC aluse puustamine/arseenidi gallium puustamine.
Spetsifikatsioon
Sadam
Kogus * 1, koos Q-tangiga
Robot
Kogus * 1, plaadide üleandmiseks
HCLU
Kogus * 1, automaatse plaadide laadimise ja unläärimiseks
Puustamise pea
Kogus * 13 ruumi kontroll, kontrollitava täpsusega 0,1PSI, toetab 400-1200 UM plaadi operatsioone.
Puhastuspea kiirus
5-150RPM
Poleerimisketas
Kogus * 1 Puhastusringi suurus 508mm, Puhastuspliiatsi kiirus 10-150tpm.
Kärpemine kael
Kogus * 1 puhastuspliiats. Puhastuspliiats võib puhastada töötlemisel (järgi) või väljaspool (puhastuse järel). Kärpemiseks on
kael varustatud kärpemisega, mis võib pöörata ja liikuda üles ja alla ning mida saab kontrollida kiirust ja allutõmmistavat jõudu. Kärpemisvahend on paigaldatud
kärpemisega ja seda saab kiiresti
eemaldada. Erinevate tüüpide puhastuspliiatsidel on konfigureeritud erinevaid liiki käsitusvahendeid, sealhulgas käsitus
pistid, diamantringid ja diamantplaatid.
UPA puhastuspea õhupressi kontrolleering
Kogus * 13. Seadistatavad piirkonnad parandavad pinnaplaanideerimise efekti
Vürtsikli voolu pumpe
Kogus * 2. Peristaltikpumid kasutatakse vedeliku toimetamiseks, kaks peristaltikpumpi on seadistatud erinevate vürtsiklite jaoks.
igal pumpil on võimalik kasutada igas protsessi etapis.
Slurry kael
Kogus * 1 võib kontrollida slurry märgistuspunkti ja puhastada vürtsiklipedu.
Operatsioonikontrollisüsteem võimaldab kasutaja taseme kontrolli, nagu operaatormood, hooldusmood ja tehnikamood, ning erinevad moodid kontrollitakse paroolidega. Süsteemi tarkvara võib redigeerida igas protsessi etapis olevaid protsessiparameetreid ja plaanida ning
vürtsiklida kiip peal olevat tipputa filmit järgides programmi. See võib jälgida seadmete töötamise staatust, jälgida protsessiparameetreid reaalajas ning tarkvara võib automaatselt salvestada erinevaid protessandmeid. Varustatud äravõtmehhiuga
see võib jälgida seadmete töötamise staatust, jälgida protsessiparameetreid reaalajas ning tarkvara võib automaatselt salvestada erinevaid protsessandmeid. Varustatud äravõtmehhiuga
tarkvara võib automaatselt salvestada erinevaid protsessandmeid. Varustatud äravõtmehhiuga
nupp, mida kasutatakse seadmete töö kohe peatamiseks ja juhtimisvoolu katkestamiseks.
Pakendamine ja kohaletoimetamine
Ettevõtte profiil
KKK
1. Hindade kohta:
Meie kõik hinnad on konkurentsivõimas ja läbipaistvad. Hind sõltub seadme konfiguratsiooni ja kohandamise keerukusest.

2. Mustrite kohta:
Võime pakkuda teil näidisetooteid, kuid te peate maksuma mõned tasud.

3. Makse kohta:
Kava kinnitamisel peate meile esmalt maksumaksandama, ning tehas hakkab varude ettevalmistamisega. Kui seade on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.
seadme on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.

4. Toimetamine kohta:
Seadmete tootmise lõpetamise järel saadame teile vastuvõtuvideo, samuti võite te seda vajadusel kontrollida kohtadel.

5. Installimine ja silumine:
Kui seade on teie tööstuses, saadame meie insenerid selle installimiseks ja silumiseks. Selle eest pakume eraldi hindamist.

6. Tagasi kinnitusest:
Meie seadmed on tagatud 12 kuud. Tagakaitse perioodi möödudes, kui mingi osa on katki ja tuleb asendada, tehakse selle eest ainult materjalihind.

Rohkem tooteid

Päring

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privaatsuspoliitika

Päring Email Whatsapp Top
×

Oleme ühenduses