Automaatne ühe plaadiga vahvli keemiline mehaaniline poleerimismasin CMP, Hiina Automaatne ühe plaadiga vahvli keemiline mehaaniline poleerimisseade CMP Tootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

ATOM Single Platen CMP

Masina omadused

Seade on paindlik ja suudab toetada mitut pead.
Seadmete protsessivõime on lähedane sama suurusega toodete tavamudelitasemele.
Seadmetevahelise protsessi hea järjepidevus.

Rakenduse väljad

4-8 tolline STI, ILD/IMD, TSV, TGV poleerimine ja selliste ühendite nagu SiC, LT, LN, GaAs jne pinna poleerimine

Tehnilised näitajad

4-tollised, 6-tollised, 8-tollised pead, mitme tsooni juhtimine
Φ20-tollise 508 mm plaadi tüüp
Pea rõhu reguleerimise täpsus <0.05 PSI
Pea ja plaadi pöörlemiskiiruse reguleerimise täpsus <2 p/min

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-53

1. LoadPort Unit

Porti saab ümber pöörata, et kassett Qtanki sukeldada, vältides läga kristallide teket
Vahvli poleeritud pind. Varustatud Cassette Mapping funktsiooniga.

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-54

2. Robotmaterjali otsimise üksus

Varustatud 4-teljelise robotiga, suudab see vahvleid automaatselt kassetist poleerimisseadmesse üle kanda.

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-55

3. Poleerimisseade

See seade on varustatud Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 ja EPD lõpp-punkt
tuvastamine. See võib saavutada vahvlite automaatse laadimise ja mahalaadimise, mitme tsooni pea juhtimise, läga
maandumispunkti muutmine retsepti sätete, lõpp-punkti tuvastamise ja muude funktsioonidega.

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-56

CMP poleerimispea

Selles seadmes konfigureeritud poleerimispead on kõik sõltumatult välja töötatud, kujundatud ja toodetud meie ettevõtte poolt.
Nende hulgas on 4-tolline 3-tolline pea ainulaadne toode, mille on loonud meie ettevõte ja mis täidab Hiinas lünga, mis puudub mitme õõnsusega 4-tollise peaga. Meie ettevõte saab Head kiiresti muuta või kohandada vastavalt kliendi toote omadustele. TGV õhukese kilega (200um) toodete väljatöötamisel muudeti pea sisemist struktuuri, et see vastaks õhukese kilega poleerimise nõuetele. LN-pinna OX-poleerimistehnoloogia arendusprotsessi käigus uuendas meie ettevõte 6-tollist pead põhjalikult ja täitis edukalt kliendi tootenõuded.

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-57

Rakendused

Traditsiooniline IC-planariseerimise poleerimisprotsess；

TGV/TSV protsess；

Nutikas lõikamine ja eelliimimine CMP；

SIC substraadi poleerimine/galliumarseniidi poleerimine.

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-58

spetsifikatsioon

port	Kogus * 1, Q-paagiga
Robot	Kogus * 1, vahvli teisaldamiseks
HCLU	Kogus * 1, vahvlite automaatseks peale- ja mahalaadimiseks
Poleerimispea	Kogus * 13 õõnsuse juhtimine, juhtimistäpsus 0.1 PSI, võib toetada 400-1200 UM vahvlioperatsioone.
Poleerimispea kiirus	5-150RPM
Poleerimine ketas	Kogus * 1 poleerimisketta suurus 508 mm, poleerimislapi kiirus 10-150 pööret minutis.
Kärpimisvars	Kogus * 1 poleerimislapp. Poleerimispatja saab poleerida online (samaaegselt) või offline (pärast poleerimist). Kärpimine vars on varustatud trimmivõlliga, mis saab pöörata ja liikuda üles-alla ning kiirust ja survejõudu saab juhtida. The trimmimistööriist on paigaldatud trimmivõllile ja seda saab kiiresti teha eemaldatud. Vastavalt erinevat tüüpi poleerimispatjadele on konfigureeritud erinevat tüüpi riietustööriistad, sealhulgas riietus harjad, teemantsõrmused ja teemantkettad.
UPA poleerimispea õhurõhu juhtseade	Kogus * 13 tsooni reguleeritav pinna paremaks tasandamiseks
Poleerimisvedeliku etteandepump	Kogus * 2. Vedeliku varustamiseks kasutatakse peristaltilisi pumpasid, kusjuures 2 peristaltilist pumpa on konfigureeritud erineva poleerimise jaoks vedelikke poleerimiskettale. Iga pumpa saab kasutada protsessi mis tahes etapis.
Slurry Arm	Kogus * 1 saab juhtida läga maandumispunkti ja puhastada poleerimispatja.
Tööjuhtimissüsteem suudab saavutada kasutajataseme juhtimise, näiteks operaatori režiimi, hooldusrežiimi ja tehnilise režiimi ning var Kõiki režiime juhitakse paroolidega. Süsteemitarkvara saab muuta iga protsessietapi protsessiparameetreid ning tasandada ja poleerige laastu pinnal olev õhuke kile vastavalt programmile. See suudab jälgida seadmete tööolekut, jälgida protsessi parameetrid reaalajas ja tarkvara saab automaatselt salvestada erinevaid protsessiandmeid. Varustatud hädaseiskamisega nupp, mida kasutatakse seadme töö koheseks peatamiseks ja juhtimistoite katkestamiseks.

Pakkimine ja kohaletoimetamine

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-59

toote automaatne üheplaadiga vahvel keemiline mehaaniline poleerimisseade cmp-60

Firmast

FAQ

1. Hind:
Kõik meie hinnad on konkurentsivõimelised ja läbiräägitavad. Hind sõltub teie seadme konfiguratsioonist ja kohandamise keerukusest.

2. Näidise kohta:
Saame teile pakkuda näidistootmisteenuseid, kuid võite maksta mõningaid tasusid.

3. Teave makse kohta:
Pärast plaani kinnitamist peate esmalt tasuma meile tagatisraha ja tehas hakkab kaupa ette valmistama. Pärast
seadmed on valmis ja maksate saldo, me saadame selle.

4. Teave kohaletoimetamise kohta:
Pärast seadmete valmistamise lõpetamist saadame teile vastuvõtuvideo ning võite tulla ka objektile seadmeid üle vaatama.

5. Installimine ja silumine:
Kui seadmed teie tehasesse jõuavad, saame saata insenerid seadmete paigaldamiseks ja silumiseks. Teeme teile selle teenustasu kohta eraldi hinnapakkumise.

6. Garantii kohta:
Meie seadmetel on 12-kuuline garantiiaeg. Garantiiperioodi lõppedes, kui mõni osa on kahjustatud ja vajab väljavahetamist, võtame ainult omahinna.