Plasmaallikas
|
RF+BIAS
|
||
Võimsus
|
1000W
|
1000W
|
|
600 W
|
600 W
|
||
Rakenduskohad
|
4-8 tuumet
|
||
Ühe töötlemise lõigete arv
|
üks
|
||
Välimõõdud
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
Süsteemi juhtimine
|
Tööstuslik juhtimissüsteem
|
||
Automaatsete toimingute tasand
|
Käsiraamat
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved