MUDEL |
MDTS-WT2200 |
Harvendustelgede arv |
2 |
Töölaudade arv |
3, indeksi meetod |
Lihvketta spindel |
Õhkvõllide arv: 2 Spindli mootor: 7.5 kW muutuva sagedusega mootor Kiirus: 0-6000 p/min, astmeteta reguleeritav Lihvketta spetsifikatsioon: Φ203mm Lihvketta tüüp: teemantlihvketas |
Lihvketta etteandesüsteem |
Kogus: 2 komplekti Toitesüsteemi juhtimismeetod: LM juhtsiin ja kuulkruvi kombinatsioon Ajami mootor: servomootor Minimaalne etteandekiirus: 0.1 um/sek Maksimaalne etteandekiirus: 50mm/sek |
Workbench |
Kogus: 3, indeksrežiim Spindli mootor: servomootor Kiirus: 0-300 p/min, astmeteta reguleeritav Adsorptsioonimeetod: vaakum-adsorptsioon |
Töölaua pöördlaud |
Sõidurežiim: servomootor Pöörlemisvahemik: 0~240° Positsioneerimiskuju: anduri abil positsioneerimine |
Automaatne paksus mõõtesüsteem |
Mõõtmismeetod: IPG-ga ühendust võtta võrgus reaalajas mõõtmine Mõõtepeade arv: 2 Mõõteandur: 0.1um tasemeandur |
automaatne laadimine/ mahalaadimissüsteem |
Karbi tüüp: 6-8tolline kassett, 25 kihti Automaatne laadimis-/mahalaadimismeetod: kasutatakse vahvlimanipulaatorit, et tagada õhukeste vahvlite transportimine ilma vigastusteta Vahvli paksus: 150um-1000um |
Töölaua puhastusfunktsioon |
Puhastusmeetod: õlikivi poleerimine & DI vesi+õhk kahe vedelikuga loputus |
Automaatne puhastus/ kuivatussüsteem |
Puhastamine: DIW düüside puhastus Kuivatusmeetod: puhumine + kuivatamine Kiirus: max 1000 rpm astmeliselt reguleeritav |
Staatiline kõrvaldamise süsteem |
Ioonriba orioni ventilaator |
Spindli jahuti |
Temperatuur: 18-22 ° C Voolukiirus: 4~8L/min |
Kontrollsüsteem |
Juhtsüsteem: PC-juhtimissüsteem, puutetundlik 3-värviline häirevalgusti Hiina/inglise inimese ja masina liides |
Maksimaalne vahvli suurus |
Maksimaalselt ühildub 8 tolliga |
Kiirusvahemik |
0 ~ 6000 p / min |
Z-telje liikumine |
160mm |
Z-telje etteandekiirus |
0.1–100 um/sek |
Z-telje kiire tagasitõmbamise kiirus |
50mm / s |
Z-telje eraldusvõime |
0.1um |
Internetis paksuse mõõtmise vahemik |
0 ~ 1800um |
Interneti paksuse mõõtmise eraldusvõime |
0.1um |
Autoriõigus © Guangzhou Minder-Higtech Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud