Mudel |
MDTS-WT2200 |
Tundide arv |
2 |
Töölaudade arv |
3, Indeksimeetod |
Maheratta telg |
Õhupüramite arv: 2 Püramimootor: 7,5kW muutufrequentsiaalne mootor Kiirus: 0~6000rpm, stseeniliselt kohandatav Koorikspetsifikatsioon: Φ203mm Koorik tüüp: diamantkoorik |
Koorikutoomeesüsteem |
Kogus: 2 komplekti Toitumissüsteemi juhtimismeetod: LM rada ja pallvraske kombinatsioon Liikmesõrmotor: servomotor Vähim toitumiskiirus: 0,1 µm/sec Maksimaalne toitumiskiirus: 50 mm/sec |
töölaud |
Kogus: 3, indeksimood Spindli motor: servomotor Kiirus: 0~300tpm, astmetult kohandatav Hoidmise meetod: vakuumhoidmine |
Töölaua pöörlemisplaat |
Liikmesõrmeviis: servomotor Pöörde ulatus: 0~240° Positsioneerimise kuju: sensori abiga positsioneerimine |
Automaatne paksus Mõõdusüsteem |
Mõõtmismeetod: IPG kontaktne online reaalajaline mõõtmine Mõõtgloome arv: 2 Mõõdusensor: 0,1 µm taset sensor |
Automaatne laadimine\/ laadimata süsteem |
Kast tüüp: 6-8 tolli kassett, 25 kihti Automaatne laadimise\/laadimata meetod: vaferimanipulaator kasutatakse, et tagada ohutu transport tippsaaste vaferite puhul Kummipaksus: 150um-1000um |
Töölaua puhastusfunktsioon |
Puhastusmeetod: Öliks poliitmine & DI vesi + õhu kahesuunaline hõrdeaegne puhastus |
Automaatne puhastamine/ kuivatussüsteem |
Puhastus: DIV noozlipuhastus Kuivamismeetod: Puhutamine + kuivamine Kiirus: max1000rpm staapiliselt kohandatav |
Staatilise Elektri Eemaldamise Süsteem |
Ioonibaar või orion tuulik |
Spindli jäätis |
Temperatuur: 18-22°C Vooluhulk: 4~8L/min |
Juhtimissüsteem |
Juhtimissüsteem: PC juhtimissüsteem, puuväline ekraan, 3-värvi hoiatusvalgus Hiina/Inglise keel kasutajaliides |
Maksimaalne plaadide suurus |
Suurim võimeline 8 tolli plaadi jaoks |
Kiirusvahemik |
0~6000 TPMin |
Z-telje liikumine |
160mm |
Z-akseli sõidukiirus |
0.1~100um/sec |
Z-akseli kiire tagasi võtmine |
50mm/sec |
Z-telje resolutsioon |
0.1um |
Paksuse mõõtmise ulatus veebis |
0~1800um |
Paksuse mõõtmise resolutsioon veebis |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved