Integreeritud lahendus pooljuhtpakendite mikrolaine-plasma fotoresisti eemaldamiseks, Hiina Integreeritud lahendus pooljuhtpakendite mikrolaineahjus plasma fotoresisti eemaldamiseks masinate tootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

Mikrolaineahjus plasma fotoresisti eemaldamise masin

Plasma integreeritud lahendus pooljuhtide pakendamiseks

Integreeritud lahendus pooljuhtide pakendamiseks

Mikrolaine plasma fotoresisti eemaldamise masin on madala pingega mikrolaine plasma fotoresisti eemaldamise süsteem, mis on spetsiaalselt loodud pooljuhtide jaoks. Rakendades vaakumkambri seinal olevale aknale sagedusega 2.45 GHz mikrolaine, tekib suur ja pidev kogus plasmat, mis siseneb kambrisse kiibi protsessipuhastamiseks. Sobib erineva suurusega materjalikastidele, see vastab erinevatele vajadustele ja pakub kohandatud lahendusi.

Integreeritud lahendus pooljuhtpakendite jaoks Mikrolaineahjus plasma fotoresisti eemaldamise masina tarnija

Integreeritud lahendus pooljuhtpakendite mikrolaineahjus plasma fotoresisti eemaldamiseks

spetsifikatsioon

PLASMA allikas	mikrolaine
võim	0-1250W
tööruum	6 ajakirjaseeriat (ajakirjade suurusvahemik: L260mmxL95mmxH190mm)
töötlemisvõimsus	Maksimaalne stantsi suurus 35um/40um muhk15x15mm
Välimuse mõõtmed	480mmx470mmx500mm
Süsteemi juhtimine	Tööstuslik juhtimissüsteem
Automatiseerimise tase	Käsitsi