struktuur |
näita |
Polevateksteerimis põrandal |
Polevateksteerimisala: põrand, ala, kus asetatakse alused |
Optiline süsteem |
Laseri saatisemise ala |
Rajoonikontrollisüsteem |
Kontrollib seadme sisesed temperatuur ja positiivne rööp |
Platvormisüsteem |
Juhib eksponeerimistabeli liikumist, et lõpetada eksponeerimise tee operatsioon |
Juhtimissüsteem |
Tervise varustuse juhtimissüsteem |
Ei. |
Keskkond |
Nõuavad |
1 |
Valgesumberi keskkond |
Kollane valgus |
2 |
Temperatuur |
22℃±2℃ |
3 |
Õhukindlus |
50%±10% |
4 |
Puhastus |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, kuiv, puhast õhu |
6 |
Elektritoitus |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Maapinna tuleb maandada, |
7 |
Jäätmete veesüsteem |
Temperatuur: 10℃~ 20℃ Rõhk: 0.3MPa ~ 0.5MPa Vooluspeen: 20L/min Rõhkvahetus: üle 0.3MPa Ühenduse läbimõõt: Rc3/8 |
8 |
Asukoht |
tase: ±3mm/3000mm värin: VC-B Neerits: 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Üks võrgupord |
11 |
Masina suurus |
1300*1100*2100mm |
12 |
Seadme kaal |
1500 kg |
Ei. |
Projekt |
Spets. |
Märkus |
1 |
Resolutsioon |
0,6µm/või teine nõue |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1µm |
|
3 |
Aluse paksus |
0,2mm～4mm |
|
4 |
Kuupäevavõrgu täpsus |
60nm |
|
5 |
Üleminek |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Koondamise täpsus |
±200nm |
AZ703 |
7 |
MAKS eksponeerimise suurus |
190X190mm |
|
8 |
Jooksutamine |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
valgusallikas |
LD 375nm |
|
10 |
valgusvõimsus |
6W |
|
11 |
Energia ühtsus |
≥95% |
|
12 |
valguse eluiga |
10000h |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
