Vaakumplasma peremees(200) |
||
Seadme suurus |
1050× 1700 × 1050 mm (laius, kõrgus ja sügavus) |
|
kaal |
800Kg |
|
võimu nõudma |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Plasmageneraatori tehnilised andmed |
||
võrgutoide |
raadiosagedusliku |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Toite sagedus |
13.56MHz |
40 kHz |
Vaakumsüsteem |
||
Vaakumpump |
Feiyue unipolaarne pump VSV100+Both Roots pump BSJ70 |
|
vaakumliin |
Kõik roostevabast terasest torud ja ülitugevad vaakumlõõtsad |
|
materjal |
Alumiiniumi sulam |
|
paksus |
25mm |
|
tihedus |
Militaarklassi keevitatud tihend |
|
Õõnsuse sisemised mõõtmed |
600 × 600 × 600 mm (L × K × S) |
|
Elektroodiplaadi efektiivne suurus |
472 x 451 mm (L × S) |
|
vaba ruumi |
35mm |
|
Elektroodiplaadi paigutus |
Horisontaalne elektroodiplaat |
|
tööalus |
Üks komplekt on standardne ja materjal on valikuline (alumiinium, terasvõrk) |
|
Tööruum |
8 põrandad |
|
Protsessi gaas |
||
Voolu ulatus |
0~300SCCM |
|
Protsessi gaasiahel |
Varustatud O2, Ar, N2 kolmesuunalise gaasiga |
|
Control System |
||
süsteemi juhtimine |
PC kontroll |
|
interaktiivne režiim |
Windowsi liides |
Autoriõigus © Guangzhou Minder-Higtech Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud