Tühi plasma värtis (200) |
||
Seadmet suurus |
1050×1700×1050mm (laius, kõrgus ja sügavus) |
|
Kaal |
800 kg |
|
nõutav energiatase |
AC380V,50/60Hz,5juhti, 30A |
|
Plasma generaatori spetsifikatsioonid |
||
võrguenergia |
raadiosagedus |
Kui |
0~1000W |
0-2000W |
|
Võimsusfrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
Vakuumsüsteem |
||
Vaakumpump |
Feiyue ühenaeseline pumpe VSV100+Mõlemad Roots'i pumbed BSJ70 |
|
vakuumiline joon |
Kõik roostevabased torud ja tugev vakuumne bellows |
|
Materjal |
Alumiiniumisulamist |
|
Paksus |
25mm |
|
tihtmuspärasus |
Sõjaväelise klassi spetsiaalne varredus |
|
Ruumi sisemad mõõdud |
600×600×600mm(L×K×P) |
|
Tõhus elektroodiplaadi suurus |
472 X 451mm (L×P) |
|
vabade ruumide arv |
35mm |
|
Elektroodiplaadi paigutus |
Horisontaalne elektriplaat |
|
tööpind |
Üks komplekt on standard, materjal on valikuline (alumiinium, terase võrgu) |
|
Tööruum |
8 korrust |
|
Protsessigaas |
||
Voolusuurus |
0~300SCCM |
|
Protsessi gaasisüsteem |
Varustatud O2, Ar, N2 kolmeharulise gaasiga |
|
Juhtimissüsteem |
||
Süsteemi juhtimine |
PC juhtimine |
|
interaktiivne režiim |
Windows liides |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved