Vakuumplasmajuht (200) |
||||
Seadmet suurus |
1050×1700×1050mm (laius, kõrgus ja sügavus) |
|||
kaal |
800 kg |
|||
nõutav energiatase |
AC380V,50/60Hz,5juhti, 30A |
|||
Plasma generaatori spetsifikatsioonid |
||||
võrguenergia |
raadiosagedus |
Kui |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Võimsusfrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
||
Vakuumsüsteem |
||||
vaakumpump |
Feiyue ühenaeseline pumpe VSV100+Mõlemad Roots'i pumbed BSJ70 |
|||
vakuumiline joon |
Kõik roostevabased torud ja tugev vakuumne bellows |
|||
materjal |
Alumiiniumisulamist |
|||
paksus |
25mm |
|||
tihtmuspärasus |
Sõjaväelise klassi spetsiaalne varredus |
|||
Ruumi sisemad mõõdud |
600×600×600mm(L×K×P) |
|||
Tõhus elektroodiplaadi suurus |
472 X 451mm (L×P) |
|||
vabade ruumide arv |
35mm |
|||
Elektroodiplaadi paigutus |
Horisontaalne elektriplaat |
|||
tööpind |
Üks komplekt on standard, materjal on valikuline (alumiinium, terase võrgu) |
|||
Tööruum |
8 korrust |
|||
Protsessigaas |
||||
Voolusuurus |
0~300SCCM |
|||
Protsessi gaasisüsteem |
Varustatud O2, Ar, N2 kolmeharulise gaasiga |
|||
Juhtimissüsteem |
||||
süsteemi juhtimine |
PC juhtimine |
|||
interaktiivne režiim |
Windows liides |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved