Vaakumplasma peremees (200) | ||||
Seadme suurus | 1050 × 1700 × 1050 mm (laius, kõrgus ja sügavus) | |||
kaal | 800Kg | |||
võimu nõudma | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Plasmageneraatori tehnilised andmed | ||||
võrgutoide | raadiosagedusliku | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Toite sagedus | 13.56MHz | 40 kHz | ||
Vaakumsüsteem | ||||
Vaakumpump | Feiyue unipolaarne pump VSV100+Both Roots pump BSJ70 | |||
vaakumliin | Kõik roostevabast terasest torud ja ülitugevad vaakumlõõtsad | |||
materjal | Alumiiniumi sulam | |||
paksus | 25mm | |||
tihedus | Militaarklassi keevitatud tihend | |||
Õõnsuse sisemised mõõtmed | 600 × 600 × 600 mm (L × K × S) | |||
Elektroodiplaadi efektiivne suurus | 472 x 451 mm (L × S) | |||
vaba ruumi | 35mm | |||
Elektroodiplaadi paigutus | Horisontaalne elektroodiplaat | |||
tööalus | Üks komplekt on standardne ja materjal on valikuline (alumiinium, terasvõrk) | |||
Tööruum | 8 põrandad | |||
Protsessi gaas | ||||
Voolu ulatus | 0~300SCCM | |||
Protsessi gaasiahel | Varustatud O2, Ar, N2 kolmesuunalise gaasiga | |||
Control System | ||||
süsteemi juhtimine | PC kontroll | |||
interaktiivne režiim | Windowsi liides |
Autoriõigus © Guangzhou Minder-Higtech Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud