MDHS-AL8 8-tolline täisautomaatne ühepoolne litograafiamasin, Hiina MDHS-AL8 8-tolline täisautomaatne ühepoolne litograafiamasin Tootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

MDHS-AL8 8" täisautomaatne ühepoolne litograafiamasin

1. Töörežiim: laadimisrobot laadib vahvlid AB (taaskasutatavast) vahvlikarbist automaatselt eelpositsioneerimisse

töölaud ning kaamera positsioneerimisvahvli ja automaatse pöörlemissüsteemi reguleerimise kaudu saavutatakse vahvli eelpositsioneerimine; Seejärel laadib laadimisrobot eelnevalt paigutatud vahvlid joondustöölauale. Arvutikujutise tuvastamise ja automaatse joondussüsteemi reguleerimise abil on võimalik saavutada maski ja vahvlite graafika automaatne joondamine. Samuti on võimalik sooritada üks säritus ilma graafikat joondamata. Pärast ülesäritussüsteemi automaatset säritust asetab mahalaadimisrobot vahvlid automaatselt CD (taaskasutatava) vahvlikarpi.
2. Säriala: 160 × 160 mm;
3. Ebaühtlane kokkupuute valgustus: ≤ 3%;
4. Kokkupuute intensiivsus: 0~≥ 40mw/cm2 reguleeritav (kiire nurk 2 °);
5. UV-kiire nurk: ≤ 3 °;
6. Ultraviolettvalguse kesklainepikkus: 365 nm;
7. UV-valgusallika eluiga: ≥ 20000 tundi;
8. Eraldusvõime: 0 ~ ≥ 1000um reguleeritav;
9. Joondamise täpsus: ≤ ± 1.5 μM;
10. Kokkupuute täpsus: kokkupuude kokkupuutega ± 1 μm. 20 μM kiire nurga 2 ° ≤ ± 2 μM kokkupuute lähedal
11. Kokkupuutemeetodid: kõva kontakt, pehme kontakt ja lähedus;
12. Särirežiim: saate valida ühekordse särituse või nihkesärituse vahel
13. Positsioneerimiseelse pildituvastus ja automaatne pööramissüsteem (kaasa arvatud eelpositsioneerimise töölaud): pöördenurk Q ≥ ± 180 °, pööramise täpsus Q ≤ 0.01 °;
14. Kujutise tuvastamise ja automaatse joondamise süsteem (sealhulgas UVW joondamise töölaud): joondusvahemik XY ≥ ± 5 mm, pöördenurk Q ≥ ± 3 ° ja kaks mikroskoobi läätse on juhitavad kahe XYZ elektrilise platvormi abil.
15. Maski suurus: 5 " × 5 "ja 7" × 7 ";
16. Vahvli suurus: 4 "ja 6";
17. Ülemine ja alumine kilekastiga tööjaamad: kaks tööjaama;
18. Jalapadja turvapadi
19. Kahe käega robotkäe peale- ja mahalaadimine: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Vahvlite arv vahvlikarbis: määratakse kliendi vahvlikarbis olevate vahvlite arvu alusel;
21. Positsioneerimislaua tõstmine: Z ≥ ± 25mm;
22. Särituse ajastus: reguleeritav vahemikus 0 kuni 999.9 sekundit;
23. Tootmisrütm:>120 tk tunnis;
24. Toide: ühefaasiline AC220V 50Hz, voolutarve ≤ 3KW;
25. Puhta õhu rõhk: ≥ 0.4MPa;
26. Vaakumaste: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Suurus: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Kaal: umbes 400 kg

See masin koosneb LED ultraviolettkiirguse peast, kujutise tuvastamise ja automaatse pööramise süsteemist, eelnevalt paigutatud töölauast ja pildi sarnasest tuvastamise ja automaatse joondamise süsteemist, joondustöölaudadest, laadimisrobotidest, mahalaadimisrobotidest, riiulitest ja elektrilisest juhtimisest, mis koosnevad seadmetest , varutarvikud jne.

spetsifikatsioon

1. Särituspea: üks LED ultraviolettkiirguse pea (365 nm);
2. Kujutise tuvastamise ja joondamise töölaud:
1) 1 kaamera (1.3 miljonit pikslit)
2) Keskpositsioneerimisseade
3) 1 pöörleva platvormi komplekt (servomootoriga)
4) 1 komplekt positsioneerimissüsteemi
3. Kujutise tuvastamise ja automaatse joondamise süsteem:
1) 2 kaamerat (5 miljoni piksli kõrge kaadrisagedus)
2) 2 objektiivi (4x kõrglahutusega objektiiv)
3) Üks tööstusarvuti
4) Üks kontroller (juhtib PLC)
5) Üks joondusplatvormi komplekt (kasutades 5-faasilist samm-mootorit)
6) Spordisüsteemi komplekt
7) Ülemise plaadi seade kasutab tõstmiseks ja langetamiseks mootorit
7) Tarkvara võtab kasutusele LabVIEW Professional Editioni uusima versiooni
4. Mehaanilise hoo peale- ja mahalaadimine:
1) X Y. Z automaatse liikumismehhanismi komplekt
2) Kahe käega robotkäsi (laadimis- ja mahalaadimiskäed)
5. Vahvlikarbi kinnitusmehhanism:
1) AB on söödakile kasti fikseeritud asend
2) CD on lõikekile kasti fikseeritud asend
3) G on maagaasi positsiooni kilekasti fikseeritud asend
6. Kaamera fikseeritud platvorm:
7. Kaks YZ elektrilise reguleerimismehhanismi komplekti (juhtivad servomootorid)
8. Rack ja elektriline juhtkonsool:
1) 1 tööstusarvuti
2) Üks PLC komplekt;
3) Üks komplekt solenoidventiile ja juhtimissüsteem
4) Digitaalsete pneumaatiliste instrumentide komplekt
5) Üks komplekt juhtkonsooli
8. Varumanused:
1) Hingetoru: 15 meetrit
2) 2 solenoidventiili
3) Vaakumpump: 1 tk
9. Tehnilised andmed:
1) Üks kasutusjuhend
2) Üks vastavussertifikaat
10. Täiendav
Seadmete tarkvara peab olema varustatud SECS-sideprotokolliga ning ostja pakub dünaamilise teeki, mis võimaldab dokkida ostja MES-süsteemiga, salvestades automaatselt tootepartii numbri, töönumbri ja tööoleku ning laadides need üles. Samal ajal on selle ülesanne tuvastada maskiplaadi QR-kood, võrrelda seda MES-süsteemi maskiplaadi QR-koodiga ja vältida vale maskiplaadi võtmist.

Pakkimine ja kohaletoimetamine