1. Töötamisrežiim: Laadimisrobot laeb automaatselt püstikuid A-B (taastuv) püstikupüksist eelmõõtmise töölauale
töölaud, ning kaamera positsioneerimise plaadi ja automaatse pöörde süsteemi kaudu saavutatakse plaadi eespositsioneerimine; Laadimisrobot laeb seejärel eespositsioneeritud plaadid joondus töölauale. Arvuti pildituvastuse ja automaatse joondussüsteemi kaudu saab saavutada maski ja plaadide graafikute automaatjoondamise. On võimalik teha ka üks esitus ilma graafikute joondamata. Pärast automaatset üleeksponeerimist süsteemiga asetab unlusrobot plaadid automaatselt C-D (taaskasutatav) plaadi kasti.
2. Eksponeerimispiirkond: 160 × 160mm;
3. Ebatäheväline eksponeerimisvalgustus: ≤ 3%;
4. Eksponeerimistugevus: 0~≥ 40mw/cm2 kohandatav (süge nurk 2 °);
5. UV-süge nurk: ≤ 3 °;
6. Ultravioolivalguse keskkõrvusesagedus: 365nm;
7. UV-valgusallika eluea: ≥ 20000 tundi;
8. Eraldusvõime: 0~≥ 1000um kohandatav;
9. Joondus täpsus: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Ekspoodi täpsus: Kontaktne ekspood ± 1 μm. Lähedal asuva ekspoodi eraldamine 20 μm, kiirgukõnka nurga 2 ° ≤ ± 2 μm.
11. Ekspoodi meetodid: kerge kontakt, peenem kontakt ja lähedane ekspood;
12. Ekspoodi režiim: Võite valida ühe korra ekspoodi või offset-ekspoodi vahel.
13. Eelnevalt seatud pildi tuvastamis- ja automaattöötlemissüsteem (hõlmab eelnevalt seatud töölaua): pöörde nurga Q ≥ ± 180 °, pöörde täpsus Q ≤ 0.01 °;
14. Pildi tuvastamis- ja automaatseks joondamiseks mõeldud süsteem (hõlmab UVW joondustöölaua): joonduspiirkond X Y ≥ ± 5mm, pöörde nurga Q ≥ ± 3 ° ning mikroskoobi kaks linset juhitakse kahe XYZ-elektriplatvormiga.
15. Maski suurus: 5 "× 5" ja 7" × 7 ";
16. Kiveploki suurus: 4 "ja 6";
17. Ülemine ja alumine filmitöölaua tööasendid: kaks tööasendit;
18. Jalutagurte õhusakk
19. Laadimise ja unlustamise dublarmrobot: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Kummilaua kummidena arv: määratletud kliendi kummilaua kummidena arvu põhjal;
21. Positsioonipöörklahtrite tõstmine: Z ≥ ± 25mm;
22. Eksponeerimise ajastus: muudetav vahemikus 0 kuni 999,9 sekundit;
23. Tootmiskiirus: >120 tüki tunnis;
24. Elektritoetus: ühekordne AC220V 50Hz, energiakasutus ≤ 3KW;
25. Puhast õhu rõhk: ≥ 0,4MPa;
26. Vakuumtase: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Suurus: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Kaal: umbes 400kg