MDICP-5000F täisautomaatne ICP-söövitusmasin / pooljuhtseadmed, induktiivselt ühendatud plasma, Hiina MDICP-5000F täisautomaatne ICP söövitusmasin / pooljuhtseadmed Induktiivselt ühendatud plasmatootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

MDICP-5000F Täisautomaatne ICP söövitusmasin

Kokkuvõte

Seadmed on kahekambriline vaakumsüsteem. Üks kamber on süstimisproovi võtmise kamber ja teine on söövituskamber. Süstimisproovivõtukambri ja söövituskambri vahele paigaldatakse vaakumlukk ning süstimisproovi võtmine transporditakse manipulaatori abil.
Seadmed koosnevad peamiselt vaakumsüsteemist, gaasiahela süsteemist, elektrisüsteemist, juhtimissüsteemist, jahutussüsteemist, kile söötmis- ja võtmise mehhanismist, häiresüsteemist jne.

Vaakumsüsteem

Süsteem koosneb molekulaarpumbast pumpamiskiirusega 600 L / S + imporditud vaakumkuivpumbast, mille pumpamiskiirus on L / s, et pumbata söövituskamber kõrgvaakumisse. Molekulaarpumba ja söövituskambri vahele on paigaldatud elektriline dünaamiline rõhureguleerimisventiil. Imporditud kuivpump on söövituskambri eelpumpamise pump ja molekulaarpumba esiastme pump. Proovikambri vaakumiks kasutage teist mehaanilist pumpa, mille pumpamiskiirus on L/s. Mehaanilise pumba ja vaakumkambri ning molekulaarpumba ühendamiseks kasutatakse roostevabast terasest lõõtsa ning paigaldatakse elektromagnetiline pneumaatiline plokkventiil.

Konstantse rõhu reguleerimise süsteem

Seadmed on varustatud allavoolu püsiva rõhu reguleerimise süsteemiga ning õhu väljatõmbetorustikus on paigaldatud elektriline reguleeritav ventiil. Kilemõõturi (imporditud osad) mõõtmise kaudu juhitakse reguleeritavat ventiili, et vaakumkamber saavutaks konstantse rõhu, et parandada protsessi stabiilsust.

Konstantse rõhu reguleerimise süsteem

Gaasikontuuri süsteem

Kaks RF-toiteallika komplekti automaatse sobitamisega.

Hoiatussüsteem

Ohutusnõuded seadmetele.

spetsifikatsioon

Nimi	Spc	BRÄND	Nr/komplekt	märkused
Söövituskamber, õhu väljatõmbetorustik, vaatlusaken, reserveeritud liides jne	Standard	JSWN	1	Korrosioonivastane
Raam, elektrikapp, tihendid, standardosad jne	Standard	JSWN	1
Söövituskambri katte tõstesüsteem	Standard	JSWN	1	Korrosioonivastane
Söövituselektrood ja jahutussüsteem	Standard	JSWN	1	Korrosioonivastane
Molekulaarpump (pumpamiskiirus 600 l/s)	FF620/150	KYKY	1	Korrosioonivastane
Sisselaskeava kuivpump (pumpamiskiirus 9 l/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Korrosioonivastane
Mehaaniline pump (pumpamiskiirus 9 l/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektriline reguleerventiil	DCQ-150	JSWN	1	Korrosioonivastane
Pneumaatilise lõõtsaga seiskamisventiil	KF40	JSWN	3	Korrosioonivastane
Kilemõõtur	KF16	INFICON	1	Korrosioonivastane
Massivoolu regulaator	D07	Seitsmestaar	4	Korrosioonivastane
Pneumaatiline diafragma ventiil	1/4″ videomakk	-	4	Korrosioonivastane
Roostevabast terasest toru, toruühendus jne	1/4″ videomakk	-	4	Korrosioonivastane
RF toiteallikas / automaatne sobitaja	-	Hiina (valikuline CROWN1310)	1
RF toiteallikas / automaatne sobitaja	-	Hiina (valikuline CROWN1310)	1
Komposiitvaakummõõtur	ZDF	RB	1
IPC	2U	Hiina	1
LCD puutetundlik ekraan	17inch	Hiina	1
PLC juhtimissüsteem	S7-200	Siemens	1
Elektriajami juhtimissüsteem	Standard	JSWN	1
Jahutusvee tuvastamise ja torustiku süsteem	Standard	JSWN	1
Suruõhu tuvastamise ja torustiku süsteem	Standard	JSWN	1
Jahutus tsirkuleeriva vee masin	HX	Hiina	1
Söövitamise süstimiskamber	Standard	JSWN	1
Vaakumlukk	SMC	SMC	1
Manipulaatori juhtimissüsteem	SMC	SMC	1

Posti tehniline parameeter

1. Piirvaakum: söövituskamber 9.0×10-5Pa (sise niiskus≤55%)
Sissepritse proovivõtukamber 6.0×10-1Pa
2. Söövitusmaterjal: Ⅲ、Ⅴ materjal, Si, SiO2 jne
3. Söövituskiirus: ~ 1μ/min
4. Söövituse ühtlus: ≤±5％ (vahemikus φ125 mm)
6. Elektroodi suurus: φ200mm

Pakkimine ja kohaletoimetamine

Oma kaupade ohutuse paremaks tagamiseks pakutakse professionaalseid, keskkonnasõbralikke, mugavaid ja tõhusaid pakendamisteenuseid.

Firmast

Omame 16-aastast seadmete müügikogemust. Pakume teile Hiinast pärit ühekordse pooljuhtide esiosa ja tagaosa paketiliini seadmete professionaalset lahendust.