Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Kodu
Meist
MH seadmed
Lahendus
Ülemere kasutajad
Video
Võta meiega ühendust
Avaleht> Maski joondaja
  • MDLB-ASD2C2D automaatne katmis- ja arendusmasin
  • MDLB-ASD2C2D automaatne katmis- ja arendusmasin

MDLB-ASD2C2D automaatne katmis- ja arendusmasin

Tootekirjeldus

MDLB-ASD2C2D automaatne katmis- ja arendusmasin

Seadmed kasutavad roostevabast terasest raami ning sisemine ja välimine lehtmetall on roostevabast terasest peegelpaneelid. Seadme põhi on varustatud universaalsete ratastega ja horisontaalse reguleerimise funktsiooniga. Peal on 3-värviline signaalitorn koos helisignaaliga. Seadme ülemine osa on juhtimissüsteem ja FFU, keskmine osa on protsessiüksus ja alumine osa on kemikaalide torujuhtmesüsteem. Kõik osad, mis kemikaalidega otseselt kokku puutuvad, on valmistatud korrosioonikindlatest materjalidest, nagu SUS304, PP, PTFE jne. Pneumaatilised torustikud on valmistatud PU-torudest ja keemiatorustikud korrosioonikindlatest PFA-torudest. Seadme inimese-masina tööliides on 17-tolline puutetundlik ekraan, mis võimaldab saavutada selliseid funktsioone nagu seadme juhtimine, valemite seadistamine ja päringu logide esitamine. SPIN-seade ja teised protsessikambrid on varustatud.
Kollane tuli seadmete hõlpsaks hooldamiseks. Seadme välimus on näidatud joonisel 1.1.1 ja seadmete paigutus on näidatud joonisel 1.1.2.
MDLB-ASD2C2D automaatse katmis- ja arendusmasina tarnija
MDLB-ASD2C2D automaatse katmis- ja arendusmasina üksikasjad
spetsifikatsioon
projekt
tehnilised nõuded
märkused


1


Seadmete ülevaade
Seadme nimi: Täisautomaatne ühtlase liimi arendusmasin
Seadmemudel: MD-2C2D6
Vahvlite töötlemise spetsifikatsioonid: ühildub 4/6-tolliste standardsete vahvlitega
Ühtlase liimi protsessi vool: lillekorvi viilutamine → tsentreerimine → ühtlane liim (tilkumine → ühtlane liim → serva eemaldamine, tagasi
pesemine) → pliidiplaat → külmplaat → korvipanek
Arendusprotsessi kulg: Lillekorvi viilutamine → tsentreerimine → arendus (arenduslahus → deioniseeritud vesi, seljapesu →
lämmastiku kuivatamine) → pliidiplaat → külmplaat → korvipanek
Üldmõõt (ligikaudne): 2100 mm (L) * 1800 mm (D) * 2100 mm (K)
Keemikambri suurus (ligikaudne): 1700 (L) * 800 (D) * 1600 mm (K)
Kogukaal (ligikaudu): 1000 kg
Töölaua kõrgus: 1020 ± 50mm


2
Kassettseade
Kogus: 2
Ühilduv suurus: 4/6 tolli
Kassetituvastus: mikrolüliti tuvastamine
Väljalibisemise tuvastamine: Jah, peegeldav andur


3


robot
Kogus: 1
Tüüp: kahe käega vaakum-adsorptsioonirobot
Vabadusaste: 4-teljeline (R1, R2, Z, T)
Sõrmematerjal: keraamika
Substraadi fikseerimise meetod: vaakum-adsorptsiooni meetod
Kaardistamisfunktsioon: jah
Positsioneerimise täpsus: ± 0.1 mm


4
Tsentreerimisüksus
Kogus: komplekt 1
Valikuline optiline joondus
Joondusmeetod: mehaaniline joondamine
Tsentreerimise täpsus: ± 0.2 mm


5


Ühtne liimiüksus
Kogus: 2 komplekti (iga seadme jaoks on järgmised konfiguratsioonid)
Spindli pöörlemiskiirus: -5000 p / min ~ 5000 p / min
tühikäigu kandmine
Spindli pöörlemise täpsus: ± 1 pööret minutis (50 p / min ~ 5000 p / min)
Spindli pöörlemiskiiruse minimaalne reguleerimine: 1 pööret minutis
Spindli pöörlemise maksimaalne kiirendus: 20000 p/min
tühikäigu kandmine
Tilkuv õlg: 1 komplekt
Fotoresist toru marsruut: 2 marsruuti
Fotoresisti otsiku läbimõõt: 2.5 mm
Fotoresist isolatsioon: 23 ± 0.5 ℃
Valikuline
Niisutav otsik: Jah
RRC: Jah
Puhver: jah, 200 ml
Liimi kukutamise meetod: keskele kukutamine ja skaneerimisel kukutamine on valikulised
Serva eemaldamise õlg: 1 komplekt
Servaeemaldusdüüsi läbimõõt: 0.2mm
Serva eemaldamise vedeliku voolu jälgimine: ujukivoolumõõtur
Servaeemaldusvedeliku voolukiirus: 5-50ml/min
Tagasipesu torustik: 2 teed (igaüks 4/6 tolli 1 kanaliga)
Tagasivoolu voolu jälgimine: ujukvoolumõõtur
Tagasipesuvedeliku vooluvahemik: 20-200ml/min
Kiibi fikseerimise meetod: väikese ala vaakum-adsorptsioon Chuck
Vaakumrõhu alarm: digitaalne vaakumrõhuandur
Padruni materjal: PPS
Tassi materjal: PP
Tassi väljalaske jälgimine: digitaalne rõhuandur


6


Arendusüksus
Katik: jah
Kogus: 2 komplekti (iga seadme jaoks on järgmised konfiguratsioonid)
Spindli pöörlemiskiirus: -5000 p / min ~ 5000 p / min
tühikäigu kandmine
Spindli pöörlemise täpsus: ± 1 pööret minutis (50 p / min ~ 5000 p / min)
Spindli pöörlemiskiiruse minimaalne reguleerimine: 1 pööret minutis
Spindli pöörlemise maksimaalne kiirendus: 20000 p/min
tühikäigu kandmine
Arenev käsi: 1 komplekt
Arendustorustik: 2-suunaline (ventilaatorikujuline/sambakujuline otsik)
Arendaja filtreerimine: 0.2 um
Arendaja temperatuuri reguleerimine: 23 ± 0.5 ℃
Valikuline
Arenduslahuse vooluvahemik: 100-1000ml/min
Areneva käe liikumisrežiim: fikseeritud punkt või skaneerimine
Kinnitushoob: 1 komplekt
Deioniseeritud veetorustik: 1 ahel
Deioniseeritud vee düüsi läbimõõt: 4 mm (siseläbimõõt)
Deioniseeritud vee vooluvahemik: 100-1000ml/min
Lämmastikukuivatustorustik: 1 ahel
Lämmastiku düüsi läbimõõt: 4 mm (siseläbimõõt)
Lämmastiku vooluvahemik: 5-50L/min
Arendaja, deioniseeritud vesi, lämmastiku voolu jälgimine: ujukivoolumõõtur
Tagasipesu torustik: 2 teed (igaüks 4/6 tolli 1 kanaliga)
Tagasivoolu voolu jälgimine: ujukvoolumõõtur
Tagasipesuvedeliku vooluvahemik: 20-200ml/min
Kiibi fikseerimise meetod: väikese ala vaakum-adsorptsioon Chuck
Vaakumrõhu alarm: digitaalne vaakumrõhuandur
Padruni materjal: PPS
Padruni materjal: PPS
Tassi materjal: PP
Tassi väljalaske jälgimine: digitaalne rõhuandur


7


Kleepuv üksus
Kogus: 2
Valikuline
Temperatuurivahemik: toatemperatuur ~ 180 ℃
Temperatuuri ühtlus: toatemperatuur ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃
(Eemaldage servast 10 mm, välja arvatud ejektori tihvti ava)
Minimaalne reguleerimiskogus: 0.1 ° C
Temperatuuri reguleerimise meetod: PID reguleerimine
PIN-koodi kõrguse vahemik: 0-20 mm
PIN-koodi materjal: korpus SUS304, PIN-tihvti kork PI
Küpsetusvahe: 0.2 mm
Ületemperatuuri häire: positiivse ja negatiivse kõrvalekalde häire
Tarnemeetod: mullitamine, 10 ± 2ml/min
Kambri töövaakum: -5-20KPa


8


Kuumaplaadi seade
Kogus: 10
Temperatuurivahemik: toatemperatuur ~ 250 ℃
Temperatuuri ühtlus: toatemperatuur ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ 180.1 ℃ ~ 250 ℃ ± 2.0 ℃
(Eemaldage servast 10 mm, välja arvatud ejektori tihvti ava)
Minimaalne reguleerimiskogus: 0.1 ℃
Temperatuuri reguleerimise meetod: PID reguleerimine
PIN-koodi kõrguse vahemik: 0-20 mm
PIN-koodi materjal: korpus SUS304, PIN-tihvti kork PI
Küpsetusvahe: 0.2 mm
Ületemperatuuri häire: positiivse ja negatiivse kõrvalekalde häire


9
Külmplaadiüksus
Kogus: 2
Temperatuurivahemik: 15-25 ℃
Jahutusmeetod: konstantse temperatuuriga tsirkulatsioonipumba jahutamine


10


Keemiavarustus
Fotoresisti hoiustamine: pneumaatiline liimipump * 4 komplekti (valikuline paak või elektriline liimipump)
Liimi doseerimismaht: maksimaalselt 12 ml seansi kohta, täpsus ± 0.2 ml
Servade eemaldamine/tagapesu/RRC varustus: 18L survepaak * 2 (automaatne täiendamine)
Servade eemaldamine/tagapesu/RRC vedeliku taseme jälgimine: fotoandur
Fotoresist vedeliku taseme jälgimine: fotoandur
Ühtse liimijäätmevedeliku tühjendamine: 10L jäätmevedeliku paak
Arendaja varustus: 18L survepaak * 4 (Säilitatakse keemiakapis väljaspool masinat)
Deioniseeritud veevarustus: tehase otsevarustus
Vedeliku taseme jälgimise arendamine: fotoandur
Arendaja jäätmete ärajuhtimine: tehasejäätmete ärajuhtimine
Kleepuva aine tarnimine: 10L survepaak * 1, 2L survepaak * 1
Kleepumisvõimendi taseme jälgimine: fotoandur


11


kontrollsüsteem
Juhtimismeetod: PLC
Inimmasina tööliides: 17-tolline puutetundlik ekraan
Katkematu toiteallikas (UPS): jah
Määrake krüpteerimisload seadmeoperaatoritele, tehnikutele, administraatoritele
Signaalitorni tüüp: punane, kollane, roheline 3 värvi


12
Süsteemi töökindluse näitajad
Tööaeg: ≥95%
MTBF: ≥ 500h
MTTR: ​​≤ 4 tundi
MTBA: ≥24h
Killunemismäär: ≤ 1/10000


13
Muud funktsioonid
Kollane tuli: 4 komplekti (asend: liimi segamis- ja arendusüksuse kohal)
THC: jah, 22.5 ℃ ± 0.5 ℃, 45% ± 2%
Valikuline
FFU: klass 100, 5 komplekti (töötlusüksus ja ROBOT-ala)
Pakkimine ja kohaletoimetamine
MDLB-ASD2C2D automaatse katmise ja arendusmasina tootmine
MDLB-ASD2C2D automaatse katmise ja arendusmasina tootmine
Firmast
Omame 16-aastast seadmete müügikogemust. Pakume teile Hiinast pärit ühekordse pooljuhtide esiosa ja tagaosa paketiliini seadmete professionaalset lahendust.

Küsitlus

Küsitlus E-POST WhatsApp WeChat
top
×

Võta ühendust