projekt
|
Spetsifikatsioonid
|
märkmed
|
||
1 |
Seadme ülevaade |
Varustuse nimi: Täiesti automaatne ühtlane kliidi arendusmasin
|
||
Varustuse mudel: MD-2C2D6
|
||||
Protsessitud plaadite spetsifikatsioonid: sobivad 4/6-tollsete standardplaadidega
|
||||
Ühtlase kliidi protsess: Korgjooneline lõigamine → keskpunktiks viimine → ühtlane kliit (pilgutamine → ühtlane kliit → äärde eemaldamine, tagasi puhastamine
) → soojne plaat → külm plaat → korgjoone asetamine Arendusprotsess: Korgjooneline lõigamine → keskpunktiks viimine → arendamine (arendusrasv → deioniiseeritud vesi, tagasi puhastamine → nikselduva kuiva) → soojne plaat → külm plaat → korgjoone asetamine |
||||
Terviklik suurus (umbes): 2100mm (L) * 1800mm (P) * 2100mm (K)
|
||||
Keemiliste kaubade kasti suurus (umbes): 1700(L) * 800(P) * 1600mm (K)
|
||||
Kokku kaal (umbes): 1000kg
|
||||
Töölaud kõrgus: 1020 ± 50mm
|
||||
2 |
Kasettiüksus
|
Kogus: 2
|
||
Vastuvõetav suurus: 4/6 tolli
|
||||
Kassettade tuvastamine: mikroklahvi tuvastamine
|
||||
Välja tõstmise tuvastamine: Jah, peegelsensor
|
||||
3 |
robot |
Kogus: 1
|
||
Tüüp: Kaks kaela vakuumabsorptsiooniroobot
|
||||
Vabadusastmed: 4-axel (R1, R2, Z, T)
|
||||
Sõrme materjal: keramik
|
||||
Aluse kitsendusmeetod: vakuumabsorptsioonimeetod
|
||||
Kaardistusfunktsioon: Jah
|
||||
Positsioneerimise täpsus: ± 0,1mm
|
||||
4 |
Kesetamineüksus
|
Kogus: 1 Komplekt
|
Valikuline optiline joondamine
|
|
Joondusmeetod: mehaaniline joondamine
|
||||
Kesetamise täpsus: ± 0,2mm
|
||||
5 |
Ühtlane liimaühik |
Kogus: 2 komplekti (allpool on iga ühiku konfiguratsioonid)
|
||
Tiivne kiirtus: -5000tpm~5000tpm
|
kandja idler
|
|||
Tiivne pöörlemiskiirus: ± 1tpm (50tpm~5000tpm)
|
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse minimaalne kohandamine: 1tpm
|
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse maksimaalne kiirendus: 20000tpm/s
|
kandja idler
|
|||
Vilgarm: 1 komplekt
|
||||
Fotorezistiti tee: 2 teed
|
||||
Fotorezisti sõlmestiku läbimõõt: 2.5mm
|
||||
Fotorezisti isolatsioon: 23 ± 0,5 ℃
|
valikulised
|
|||
Lubrikatsiooni sõlmestik: Jah
|
||||
RRC: Jah
|
||||
Puhver: Jah, 200ml
|
||||
Löögi pannemismeetod: keskpunktse pannemine ja skaneerimispannemine on valikulised
|
||||
Äärise eemaldamise kael: 1 komplekt
|
||||
Äärise eemaldamise noodeli läbimõõt: 0,2mm
|
||||
Äärise eemaldamise vedeliku voolu jälgimine: pliidmõõtur
|
||||
Äärise eemaldamise vedeliku voolukulu ulatus: 5-50ml/min
|
||||
Tagasiplahvituskanne: 2 viisi (iga 4/6 tolli kanaliga 1 juht)
|
||||
Tagasiplahvitusvoolu jälgimine: pliidmõõtur
|
||||
Tagasiplahvitusvedeliku voolukulu ulatus: 20-200ml/min
|
||||
Põrandapüksimise meetod: väikese ala vakuumse adsorptsioon Chuck
|
||||
Vakuumi surve hoiatus: digitaalne vakuumi surve sensor
|
||||
Chuck materjal: PPS
|
||||
Kupi materjal: PP
|
||||
Kupi ventiliator monitor: digitaalne survemeetja
|
||||
6 |
Arendusüksus |
Läbipääste:jah
|
||
Kogus: 2 komplekti (allpool on iga ühiku konfiguratsioonid)
|
||||
Tiivne kiirtus: -5000tpm~5000tpm
|
kandja idler
|
|||
Tiivne pöörlemiskiirus: ± 1tpm (50tpm~5000tpm)
|
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse minimaalne kohandamine: 1tpm
|
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse maksimaalne kiirendus: 20000tpm/s
|
kandja idler
|
|||
Arenduskiil: 1 komplekt
|
||||
Arenduskanne: 2-tee (ventiiliselt/kolmnurkne noozel)
|
||||
Arendaja filtratsioon: 0.2um
|
||||
Arendaja temperatuuri kontroll: 23 ± 0,5 ℃
|
valikulised
|
|||
Arendusvoogi voolusuund: 100~1000ml/min
|
||||
Arenduskae liikumisrežiim: fikseeritud punkt või skaneerimine
|
||||
Liivkae: 1 komplekt
|
||||
Desooniseeritud vee kanal: 1 tsükkel
|
||||
Desooniseeritud vee sprajdi läbimõõt: 4mm (sisemõõt)
|
||||
Desooniseeritud vee voolusuund: 100~1000ml/min
|
||||
Nitrogeeni kuivamiskanal: 1 tsükkel
|
||||
Nitrogeeni sprajdi läbimõõt: 4mm (sisemõõt)
|
||||
Nitrogeeni voolusuund: 5-50L/min
|
||||
Arendaja, destileeritud vesi, süsinikvahe jälgimine: pliiatsliikmete sularulet
|
||||
Tagasiplahvituskanne: 2 viisi (iga 4/6 tolli kanaliga 1 juht)
|
||||
Tagasiplahvitusvoolu jälgimine: pliidmõõtur
|
||||
Tagasiplahvitusvedeliku voolukulu ulatus: 20-200ml/min
|
||||
Põrandapüksimise meetod: väikese ala vakuumse adsorptsioon Chuck
|
||||
Vakuumi surve hoiatus: digitaalne vakuumi surve sensor
|
||||
Chuck materjal: PPS
|
||||
Chuck materjal: PPS
|
||||
Kupi materjal: PP
|
||||
Kupi ventiliator monitor: digitaalne survemeetja
|
||||
7 |
Liimiv liides |
Kogus: 2
|
valikulised
|
|
Temperatuuriba: tuba temperatuur~180 ℃
|
||||
Temperatuuri ühtsus: Tuba temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Eemalda 10mm äärist, välja arvatud võrkpinna nõlgnahk) |
||||
Vähim kohandusmäär: 0.1 ° C
|
||||
Temperatuuri juhtimismeetod: PID kohandamine
|
||||
PIN kõrguse vahemik: 0-20mm
|
||||
PIN materjal: SUS304 keha, PIN pinna PI
|
||||
Pakutud tühimik: 0,2mm
|
||||
Ületemperatuuri hoiatus: positiivne ja negatiivne hälve hoiatus
|
||||
Toimetamismeetod: Puhkimine, 10 ± 2ml/min
|
||||
Tuba töötamine vakuumis: -5-20KPa
|
||||
8 |
Soojusplaatüksus |
Kogus: 10
|
||
Temperatuuriba: ruumtemperatuur~250 ℃
|
||||
Temperatuuri ühtsus: Tuba temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃
120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ 180,1℃~250℃ ±2,0℃ (Eemalda 10mm äärist, välja arvatud võrkpinna nõlgnahk) |
||||
Vähim muutmistäht: 0,1 ℃
|
||||
Temperatuuri juhtimismeetod: PID kohandamine
|
||||
PIN kõrguse vahemik: 0-20mm
|
||||
PIN materjal: SUS304 keha, PIN pinna PI
|
||||
Pakutud tühimik: 0,2mm
|
||||
Ületemperatuuri hoiatus: positiivne ja negatiivne hälve hoiatus
|
||||
9 |
Külmusplaatüksus
|
Kogus: 2
|
||
Temperatuurivahemik: 15-25 ℃
|
||||
Jahutamismeetod: püsiv temperatuuri sirkuleerimispummi jahutamine
|
||||
10 |
Keemiliste ainetega toimetulek |
Fotoressi salvestamine: pneumatiline liimipumpp * 4 komplekti (valikuline tank või elektriliimipumpp)
|
||
Liimi andmise maht: maksimum 12ml ühes sessioonis, täpsus ± 0.2ml
|
||||
Äärise eemaldamine/ tagapoolne pesemine/RRC toimetulek: 18L survitank * 2 (automaatne täitmine)
|
||||
Äärise eemaldamise/tagapoolse pesemise/RRC veetase jälgimine: fotoelektriline sensor
|
||||
Fotoressi veetase jälgimine: fotoelektriline sensor
|
||||
Ühtlaselt liimist lähtestatud jäätise väljastamine: 10L jäätiseta tank
|
||||
Areneja toimetulek: 18L survitank * 4 (salvestatud masina välises keemiatarmis kabinetis)
|
||||
Destilleeritud vesi: tootja otsene pakkumine
|
||||
Areneva vedeliku tase jälgimine: fotoelektriline sensor
|
||||
Areneja jäätmete vabastamine: tootja jäätmete vabastamine
|
||||
Tackifieri pakkumine: 10L rööpklaas * 1, 2L rööpklaas * 1
|
||||
Tackifieri tase jälgimine: fotoelektriline sensor
|
||||
11 |
juhtimissüsteem |
Juhtimisviis: PLC
|
||
Inimmasin liides: 17 tolli kuulus
|
||||
Püsivõimsusallikas (UPS): Jah
|
||||
Seadistage seadmeoperatsioonide krüpteerimisloovused, tehnikud, administraatorid
|
||||
Signaaltorni tüüp: punane, kollane, roheline 3 värvi
|
||||
12 |
Süsteemi usaldusväärsuse näitajad
|
Üleskäigu aeg: ≥95%
|
||
KES: ≥ 500h
|
||||
KMTR: ≤ 4h
|
||||
KABA: ≥24h
|
||||
Murdumisaste: ≤ 1/10000
|
||||
13 |
Muud funktsioonid
|
Kollane valgus: 4 komplekti (asukoht: liimimixeri ja arendusüksuse kohal)
|
||
THC: Jah, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2%
|
valikulised
|
|||
FFU: Klasse 100, 5 komplekti (protsessiühik ja ROBOT piirkond)
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved