projekt
|
tehnilised nõuded
|
märkused
|
||
1 |
Seadmete ülevaade |
Seadme nimi: Täisautomaatne ühtlase liimi arendusmasin
|
||
Seadmemudel: MD-2C2D6
|
||||
Vahvlite töötlemise spetsifikatsioonid: ühildub 4/6-tolliste standardsete vahvlitega
|
||||
Ühtlase liimi protsessi vool: lillekorvi viilutamine → tsentreerimine → ühtlane liim (tilkumine → ühtlane liim → serva eemaldamine, tagasi
pesemine) → pliidiplaat → külmplaat → korvipanek Arendusprotsessi kulg: Lillekorvi viilutamine → tsentreerimine → arendus (arenduslahus → deioniseeritud vesi, seljapesu → lämmastiku kuivatamine) → pliidiplaat → külmplaat → korvipanek |
||||
Üldmõõt (ligikaudne): 2100 mm (L) * 1800 mm (D) * 2100 mm (K)
|
||||
Keemikambri suurus (ligikaudne): 1700 (L) * 800 (D) * 1600 mm (K)
|
||||
Kogukaal (ligikaudu): 1000 kg
|
||||
Töölaua kõrgus: 1020 ± 50mm
|
||||
2 |
Kassettseade
|
Kogus: 2
|
||
Ühilduv suurus: 4/6 tolli
|
||||
Kassetituvastus: mikrolüliti tuvastamine
|
||||
Väljalibisemise tuvastamine: Jah, peegeldav andur
|
||||
3 |
robot |
Kogus: 1
|
||
Tüüp: kahe käega vaakum-adsorptsioonirobot
|
||||
Vabadusaste: 4-teljeline (R1, R2, Z, T)
|
||||
Sõrmematerjal: keraamika
|
||||
Substraadi fikseerimise meetod: vaakum-adsorptsiooni meetod
|
||||
Kaardistamisfunktsioon: jah
|
||||
Positsioneerimise täpsus: ± 0.1 mm
|
||||
4 |
Tsentreerimisüksus
|
Kogus: komplekt 1
|
Valikuline optiline joondus
|
|
Joondusmeetod: mehaaniline joondamine
|
||||
Tsentreerimise täpsus: ± 0.2 mm
|
||||
5 |
Ühtne liimiüksus |
Kogus: 2 komplekti (iga seadme jaoks on järgmised konfiguratsioonid)
|
||
Spindli pöörlemiskiirus: -5000 p / min ~ 5000 p / min
|
tühikäigu kandmine
|
|||
Spindli pöörlemise täpsus: ± 1 pööret minutis (50 p / min ~ 5000 p / min)
|
||||
Spindli pöörlemiskiiruse minimaalne reguleerimine: 1 pööret minutis
|
||||
Spindli pöörlemise maksimaalne kiirendus: 20000 p/min
|
tühikäigu kandmine
|
|||
Tilkuv õlg: 1 komplekt
|
||||
Fotoresist toru marsruut: 2 marsruuti
|
||||
Fotoresisti otsiku läbimõõt: 2.5 mm
|
||||
Fotoresist isolatsioon: 23 ± 0.5 ℃
|
Valikuline
|
|||
Niisutav otsik: Jah
|
||||
RRC: Jah
|
||||
Puhver: jah, 200 ml
|
||||
Liimi kukutamise meetod: keskele kukutamine ja skaneerimisel kukutamine on valikulised
|
||||
Serva eemaldamise õlg: 1 komplekt
|
||||
Servaeemaldusdüüsi läbimõõt: 0.2mm
|
||||
Serva eemaldamise vedeliku voolu jälgimine: ujukivoolumõõtur
|
||||
Servaeemaldusvedeliku voolukiirus: 5-50ml/min
|
||||
Tagasipesu torustik: 2 teed (igaüks 4/6 tolli 1 kanaliga)
|
||||
Tagasivoolu voolu jälgimine: ujukvoolumõõtur
|
||||
Tagasipesuvedeliku vooluvahemik: 20-200ml/min
|
||||
Kiibi fikseerimise meetod: väikese ala vaakum-adsorptsioon Chuck
|
||||
Vaakumrõhu alarm: digitaalne vaakumrõhuandur
|
||||
Padruni materjal: PPS
|
||||
Tassi materjal: PP
|
||||
Tassi väljalaske jälgimine: digitaalne rõhuandur
|
||||
6 |
Arendusüksus |
Katik: jah
|
||
Kogus: 2 komplekti (iga seadme jaoks on järgmised konfiguratsioonid)
|
||||
Spindli pöörlemiskiirus: -5000 p / min ~ 5000 p / min
|
tühikäigu kandmine
|
|||
Spindli pöörlemise täpsus: ± 1 pööret minutis (50 p / min ~ 5000 p / min)
|
||||
Spindli pöörlemiskiiruse minimaalne reguleerimine: 1 pööret minutis
|
||||
Spindli pöörlemise maksimaalne kiirendus: 20000 p/min
|
tühikäigu kandmine
|
|||
Arenev käsi: 1 komplekt
|
||||
Arendustorustik: 2-suunaline (ventilaatorikujuline/sambakujuline otsik)
|
||||
Arendaja filtreerimine: 0.2 um
|
||||
Arendaja temperatuuri reguleerimine: 23 ± 0.5 ℃
|
Valikuline
|
|||
Arenduslahuse vooluvahemik: 100-1000ml/min
|
||||
Areneva käe liikumisrežiim: fikseeritud punkt või skaneerimine
|
||||
Kinnitushoob: 1 komplekt
|
||||
Deioniseeritud veetorustik: 1 ahel
|
||||
Deioniseeritud vee düüsi läbimõõt: 4 mm (siseläbimõõt)
|
||||
Deioniseeritud vee vooluvahemik: 100-1000ml/min
|
||||
Lämmastikukuivatustorustik: 1 ahel
|
||||
Lämmastiku düüsi läbimõõt: 4 mm (siseläbimõõt)
|
||||
Lämmastiku vooluvahemik: 5-50L/min
|
||||
Arendaja, deioniseeritud vesi, lämmastiku voolu jälgimine: ujukivoolumõõtur
|
||||
Tagasipesu torustik: 2 teed (igaüks 4/6 tolli 1 kanaliga)
|
||||
Tagasivoolu voolu jälgimine: ujukvoolumõõtur
|
||||
Tagasipesuvedeliku vooluvahemik: 20-200ml/min
|
||||
Kiibi fikseerimise meetod: väikese ala vaakum-adsorptsioon Chuck
|
||||
Vaakumrõhu alarm: digitaalne vaakumrõhuandur
|
||||
Padruni materjal: PPS
|
||||
Padruni materjal: PPS
|
||||
Tassi materjal: PP
|
||||
Tassi väljalaske jälgimine: digitaalne rõhuandur
|
||||
7 |
Kleepuv üksus |
Kogus: 2
|
Valikuline
|
|
Temperatuurivahemik: toatemperatuur ~ 180 ℃
|
||||
Temperatuuri ühtlus: toatemperatuur ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Eemaldage servast 10 mm, välja arvatud ejektori tihvti ava) |
||||
Minimaalne reguleerimiskogus: 0.1 ° C
|
||||
Temperatuuri reguleerimise meetod: PID reguleerimine
|
||||
PIN-koodi kõrguse vahemik: 0-20 mm
|
||||
PIN-koodi materjal: korpus SUS304, PIN-tihvti kork PI
|
||||
Küpsetusvahe: 0.2 mm
|
||||
Ületemperatuuri häire: positiivse ja negatiivse kõrvalekalde häire
|
||||
Tarnemeetod: mullitamine, 10 ± 2ml/min
|
||||
Kambri töövaakum: -5-20KPa
|
||||
8 |
Kuumaplaadi seade |
Kogus: 10
|
||
Temperatuurivahemik: toatemperatuur ~ 250 ℃
|
||||
Temperatuuri ühtlus: toatemperatuur ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ 180.1 ℃ ~ 250 ℃ ± 2.0 ℃ (Eemaldage servast 10 mm, välja arvatud ejektori tihvti ava) |
||||
Minimaalne reguleerimiskogus: 0.1 ℃
|
||||
Temperatuuri reguleerimise meetod: PID reguleerimine
|
||||
PIN-koodi kõrguse vahemik: 0-20 mm
|
||||
PIN-koodi materjal: korpus SUS304, PIN-tihvti kork PI
|
||||
Küpsetusvahe: 0.2 mm
|
||||
Ületemperatuuri häire: positiivse ja negatiivse kõrvalekalde häire
|
||||
9 |
Külmplaadiüksus
|
Kogus: 2
|
||
Temperatuurivahemik: 15-25 ℃
|
||||
Jahutusmeetod: konstantse temperatuuriga tsirkulatsioonipumba jahutamine
|
||||
10 |
Keemiavarustus |
Fotoresisti hoiustamine: pneumaatiline liimipump * 4 komplekti (valikuline paak või elektriline liimipump)
|
||
Liimi doseerimismaht: maksimaalselt 12 ml seansi kohta, täpsus ± 0.2 ml
|
||||
Servade eemaldamine/tagapesu/RRC varustus: 18L survepaak * 2 (automaatne täiendamine)
|
||||
Servade eemaldamine/tagapesu/RRC vedeliku taseme jälgimine: fotoandur
|
||||
Fotoresist vedeliku taseme jälgimine: fotoandur
|
||||
Ühtse liimijäätmevedeliku tühjendamine: 10L jäätmevedeliku paak
|
||||
Arendaja varustus: 18L survepaak * 4 (Säilitatakse keemiakapis väljaspool masinat)
|
||||
Deioniseeritud veevarustus: tehase otsevarustus
|
||||
Vedeliku taseme jälgimise arendamine: fotoandur
|
||||
Arendaja jäätmete ärajuhtimine: tehasejäätmete ärajuhtimine
|
||||
Kleepuva aine tarnimine: 10L survepaak * 1, 2L survepaak * 1
|
||||
Kleepumisvõimendi taseme jälgimine: fotoandur
|
||||
11 |
kontrollsüsteem |
Juhtimismeetod: PLC
|
||
Inimmasina tööliides: 17-tolline puutetundlik ekraan
|
||||
Katkematu toiteallikas (UPS): jah
|
||||
Määrake krüpteerimisload seadmeoperaatoritele, tehnikutele, administraatoritele
|
||||
Signaalitorni tüüp: punane, kollane, roheline 3 värvi
|
||||
12 |
Süsteemi töökindluse näitajad
|
Tööaeg: ≥95%
|
||
MTBF: ≥ 500h
|
||||
MTTR: ≤ 4 tundi
|
||||
MTBA: ≥24h
|
||||
Killunemismäär: ≤ 1/10000
|
||||
13 |
Muud funktsioonid
|
Kollane tuli: 4 komplekti (asend: liimi segamis- ja arendusüksuse kohal)
|
||
THC: jah, 22.5 ℃ ± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
Valikuline
|
|||
FFU: klass 100, 5 komplekti (töötlusüksus ja ROBOT-ala)
|
Autoriõigus © Guangzhou Minder-Higtech Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud