Seda seadet kasutatakse peamiselt väikeste ja keskmise suurusega integraallülituste, pooljuhtkomponentide ja pinnaakustiliste laineseadmete arendamiseks ja tootmiseks. Tänu täiustatud nivelleerimismehhanismile ja väikesele tasandusjõule ei sobi see masin mitte ainult erinevat tüüpi substraatide eksponeerimiseks, vaid ka kergesti killustunud substraatide (nt kaaliumarseniid ja fosfaatteras) eksponeerimiseks, samuti mitte- ümmargused ja väikesed substraadid.