1. Eksponeerimistüüp: üks pooled eksponeerimine
2. Eksponeerimispiirkond: 110X110mm;
3. Eksponeerimise ühtsus: ≥ 97%;
4. Eksponeerimise intensiivsus: 0-30mw/cm2 kohandatav;
5. UV kiirgukõn: ≤ 3 °
6. Ultravioolikraavi kesklained: 365nm;
7. UV valdkonna allikas eluiga: ≥ 20000 tundi;(2-aastane tagatis)
8. Elektronilise lülituse kasutamine;
9. Eksponeerimise resolutsioon: 1 μ M
10. Kameravaatamispiirkond: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Joonduspiirkond: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Joondus täpsus: 1um (heas keskkonnas).
13. Eraldamisvahemiku ulatus: 0-50um kohandatav.
14. Eksponeerimismeetod: kontaktne eksponeerimine (kõvasti, pehmesti või mikrokohtunikku).
15. Võrdluse meetod: õhu liivamine.
16. Mikroskoopiline süsteem: kahe väli näha CCD süsteem, objektiiv 1.6X~10X, arvutipõhine pilditöötlussüsteem, 19 "LCD monitor; Kogumagnifitsatsioon 91-570x. Objektiivi kaugus: 50-120mm.
17. Maski suurus: 127*127mm; 102*102mm
18. Aluse suurus: Φ102mm; Φ76mm
19. Aluse paksus: ≤1mm
20. Eksponeerimisaeg: 0-999,9 sekundit kohandatav.
21.Võimsus: 220V 50Hz 1.5kw.
22.puhakestus? 0.4Mpa
23.Tühiastme: -0.07MPa~-0.09Mpa