1. Seade võib imetada 5 "X5" ruutset maske, mille paksusele ei ole erilisi nõudeid (vahemikus 1 kuni 3 mm).
2. Seadet saab kasutada ф 100mm ringkujulise alusega;
3. Aluse paksus ≤ 5mm;
4. Valgustus:
Valgustusallikas: GCQ350Z ultraülemine mercury direktselt current mercury lamp kasutatakse.
Valgustusalune: ≤ ф 117mm Eksponeerimisala: ф 100mm
jääb ф 100mm piires, eksponeerimise ebavõrdsus on ≤ ± 3%, ja eksponeerimistegevus on> 6mw/cm² (see näitaja mõõdeti UV valgustusallika I-liniga 365nm).
5. See seade kasutab imporditud ajatrida pneumaatilise lülitamiseks, tagades täpsed ja usaldusväärsed tööd.
6. See masin on kontaktne eksponeerimasmasin, mis võib saavutada:
7. Tugev kontaktne eksponeerimine: Kasutage toruuumi, et saada kõrge ummikku联络um vacuum ≤ -0.05MPa
8. Puhast kontaktavalik: Kontakti surve suurendab vakuumi vahemikku -0,02MPa kuni -0,05MPa.
9. Mikrokontaktavalik: vähem kui puhane kontakt, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Avaliku resolutsioon: Sel seadmel saab tugeva kontakti avaliku resolutsioon jõuda 1 μm üle (kasutaja "plaat" ja "kiip" peavad vastama riiklikule regulatsioonile ning keskkond, temperatuur, õhunärvus ja toksid võivad olla rangelt kontrollitud. Kasutatakse importitud positiivset fotorezistit ning fotorezisti homogeense paksuse saab rangelt kontrollida. Lisaks on ees- ja järelprotsessid edasijõudnud).
11. Joondamine: Vaatamissüsteem koosneb kahest CCD-kamerast, mis on paigutatud kahele mikroskoopilega ühendatud üheputulistel mikroskoopidel ja ühendatud näituspaneeli videojuhiga.