1. Seadmele vajalik energia: Põhivarustus: 220V, 50HZ, energiasoodus ≤1.5KW;
2. Varustatud vakuumpumpaga, mille varustus on 220V;
3. Suurus ja kaal: Suurus: 1200(pikkus)×720(laius)×1500(kõrgus). Kaal ≤170kg;
4. Pane masina keha eraldi töölaual;
5. Eksposiitsioonitüüp: kontakttüüp, plaadi joondamine, kahepoolne eksposiitsioon;
6. Eksposiitsiooniala: φ100mm;
7. Eksposiitsiooni ebavõrdsus: ≤±3%;
8. Eksposiitsioonintensiivsus: ≥5mw/cm2;
9. Ekspoodierimise resolutsioon: 2μm;
10. Ekspoodierimisrežiim: Kahepoolne ajaskaalde ekspoodierimine;
11. Joondamise ulatus: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Graviroonikindlus: 2μm;
13. Pöördeulatus: Q-suuna pöördeajustus ≤±5°;
14. Mikroskoopisüsteem: kaks vaatevälja CCD-süsteem, objektiiv 1.6X~10X, arvutipõhine pilditöötlemissüsteem, 19"LCD-monitoor;
15. Maski suurus: Võimeline vakuumadsorptsiooniga