Seda seadet kasutatakse peamiselt väikeste ja keskmise suurusega integraallülituste, pooljuhtkomponentide ja pinnaakustiliste laineseadmete arendamiseks ja tootmiseks. Tänu täiustatud nivelleerimismehhanismile ja väikesele tasandusjõule ei sobi see masin mitte ainult erinevat tüüpi substraatide eksponeerimiseks, vaid ka kergesti killustunud substraatide (nt kaaliumarseniid ja fosfaatteras) eksponeerimiseks, samuti mitte- ümmargused ja väikesed substraadid.
spetsifikatsioon
Peamised tehnilised parameetrid
1. Särituse tüüp: kontaktitüüp, plaadi joondus, kahepoolne ühekordne säritus 2. Kokkupuuteala: 110X110mm; 3. Kokkupuute ühtlus: ≥ 97%; 4. Kokkupuute intensiivsus: 0-30mw/cm2 reguleeritav; 5. UV-kiire nurk: ≤ 3 ° 6. Ultraviolettvalguse kesklainepikkus: 365 nm; 7. UV-valgusallika eluiga: ≥ 20000 tundi;; 8. Tööpinna temperatuur: ≤ 30 ℃ 9. Elektroonilise katiku kasutuselevõtt; 10. Särituse eraldusvõime: 1 μM (särituse sügavus on umbes 10 korda suurem joone laiusest) 11. Särirežiim: kahepoolne samaaegne säritus 12. Joondusvahemik: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Plaadi joondamise täpsus: 2 μm 14. Pöörlemisvahemik: Q-suuna pöörlemise reguleerimine ≤ ± 5 ° 15. Mikroskoopiline süsteem: kahe vaateväljaga CCD-süsteem, objektiiv 1.6X~10X, arvuti pilditöötlussüsteem, 19-tolline LCD-ekraan; kogusuurendus 91-570x 16. Maski suurus: suudab neelata vaakumiga 5" ruudukujulisi maske, ilma erinõudeta maski paksusele (vahemikus 1 kuni 3 mm). 17. Substraadi suurus: sobib 4-tollistele aluspindadele, mille aluspinna paksus on vahemikus 0.1 kuni 2 mm. 18. Tellimisel erinõudeid ei ole ja 5 "X5 riiul on standardne; saate kohandada alla 5" X5 riiuleid:
Pakkimine ja kohaletoimetamine
Firmast
Omame 16-aastast seadmete müügikogemust. Pakume teile Hiinast pärit ühekordse pooljuhtide esiosa ja tagaosa paketiliini seadmete professionaalset lahendust.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
