See seade kasutatakse peamiselt väikeste ja keskmiste integreeritud ringide, semilooduskomponendid ja pindlikud akustiklainedehidite arendamiseks ja tootmiseks. Pärast edasi tasemehhanismi ja madalat tasemijõudu sobib see masin mitte ainult erinevate aluste eksponeerimiseks, vaid ka hajuneda võivate aluste, nagu kaltsiumarseniid ja fosfaattõrga, eksponeerimiseks ning mittetsoorsete ja väikeste aluste eksponeerimiseks.
Spetsifikatsioon
Peamised tehnilised parameetrid
1. Väljavõtmistüüp: kontaktne tüüp, plaatide joondamine, kaks pooled ühepoolne väljavõtmine 2. Eksponeerimispiirkond: 110X110mm; 3. Eksponeerimise ühtsus: ≥ 97%; 4. Eksponeerimise intensiivsus: 0-30mw/cm2 kohandatav; 5. UV kiirgukõn: ≤ 3 ° 6. Ultravioolikraavi kesklained: 365nm; 7. UV-valgustikute eluea: ≥ 20000 tundi;; 8. Töötaseme temperatuur: ≤ 30 ℃ 9. Elektronilise lülituse kasutamine; 10. Ekspooduspetsiifiline resolutsioon: 1 μ M (ekspooduspead on umbes 10 korda suuremad kui joone laius) 11. Ekspoodumood: Kahepoolne jagatud ekspood 12. Joondamispiirkond: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Platvormi joondamistäpsus: 2 μ m 14. Pöördepunkt: Q-suuna pöördeajustus ≤ ± 5 ° 15. Mikroskoopisüsteem: kahe väli nähtav CCD süsteem, objektiivlõng 1.6X~10X, arvutipõhine pilditöötlussüsteem, 19 "LCD monitor; Kokkuvõttesuurendus 91-570x 16. Maski suurus: Võimeline varemaksuga 5 "ruutmaskidega, maski paksusele ei ole erilisi nõudeid (vahemikus 1 kuni 3mm). 17. Aluse suurus: Sobib 4 "alusedega, aluse paksuse vahemik on 0,1 kuni 2mm. 18. Tellimisel pole erilisi nõudeid, ja 5 "X5 raam on standard; saate tellida kohandatud raameid alla 5" X5:
Pakendamine ja kohaletoimetamine
Ettevõtte profiil
Meil on 16-aastane kogemus seadmete müügiga. Me võime pakkuda sulle ühepealsest lahenduse Semi-konduktori esimesest ja viimasest pakendi järjestusest Hiinast.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
