MDAM-CMP100/150 spetsiaalne lihvitamise ja poliirimasin, peamune üksus ja kõik varuosa on valmistatud kõrgelt korroosioonivastustest materjalidest. Terve masin on korroosioonivastane, stabiilne, kulgevastane ja rooste vastane, sobib erinevate semikonduktorimaterjalide keemilise mehaanilise lihvitamiseks ja poliirimiseks. Tööruum on eraldatud näitamise ja juhtimise ala ning kasutab digitaalset juhtimissüsteemi puuväelise juhtimisega. See on CNC-juhitav, salvestatav ja taastatav.
Seadme süsteemil on ajastusfunktsioon, mis võib töötada pidevalt 10 tundi ja juhtida liiviketta kiirust. Juhtpaneel asetatakse tööala väljaspool, et vältida rippude lahendite sirgumist juhtpaneelile. Kõik seadmest pärit parameetrid saab kohandada puudutusnäitlejalt. Seadmest protsessiparameetritele on omistatud salvestus- ja taastamisfunktsioonid, et tagada protsessi ühtsus ja korduvus. Plaadimuster adsorbeeritakse fikspindade alumisele poolele vakuumpummi abil, millel on olemas ölieta vakuumpump ning sellel on iseseisev vastupuukaitsefunktsioon.
Kinnipidaja konfiguratsiooni näidis horisontaalne pöörlemine juhtimissüsteemil on lindikufunktsioon, mille lindikuvahemik on 0-100% kohandatav. Lindiku amplituud ja sagedus kiirus võivad olla täpselt seadistatavad juhtpaneelil. Kinnipidaja on varustatud iseseiseva pöörlemiseks juhtimissüsteemiga, mille kiiruse kohandusvahemik on 0-120tpm. See funktsionaalne disain tagab näidise täieliku lindikupuhastamise lihvimise ja puhasmise protsessi jooksul, mis suurendab oluliselt seadme puhasmise suutlikkust ja tõhusust.
Kinnipidaja on varustatud digitaalsega paksuse jälgimistabeliga, mille jälgimistäpsus on 1 μm. Kinnipidaja raudadele avaldatav survetus on pidevalt kohandatav, surve vahemik on 0-3,5kg ja täpsus 2g/cm² ning see on varustatud surve mõõdumise seadmega.
Liuklustamise ja poliirimiseringu töö on juhitav peamotori poolt, ning eringut kiirus võib reguleerida 0-st 120 pöördeks minutis. See kiiruse muutusvahemik tagab tõhusalt materjalide liuklustamise ja poliiremise erineva kõrguse ja suurusega materjalide korral, saavutades nii paremaid protsessimääratlikke näitajaid. Liuklustamise ja poliiremise eringute vahetus on lihtne ja kiire, sellel olel ka integreeritud eringud, mis võimaldavad seadmeselt kiiresti üle minna liuklustamisest poliiremise protsessile, mida lühendab oluliselt protsessiaega. Lisaks on liuklustamiserind varustatud erindparandusplaadiga, et tagada liuklustamiserindu hea tasapinnalikkus.