Ese |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Toote suurus |
≤6 tolli |
≤8 tolli |
≤8 tolli |
||
RF võimsusallikas |
0-300W/500W/1000W Kohandatav, automaattene vastuvõtt |
||||
Molekulaarpump |
-/620(L/s)/1300(L/s)/Kohandatud |
Antiseptiline620(L/s)/1300(L/s)/Kohandatud |
|||
Eesmoodulipump |
Masiniline pump/kuiv pump |
Kuivpump |
|||
Protsessi surve |
Tõkestamatu surve/0-1Torr juhitav surve |
||||
Gaasitüüp |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Kohandatud (Kuni 9 kanalit, mitte korroosioonset ega toksilist gaasi) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Kuni 9 kanalit) |
|||
Gaasivahemik |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pärast tellimust |
||||
Laadimisest lahti lukk |
Jah/Ei |
jah |
|||
Näite temperatuuri juhtimine |
10°C~Tuba temperatuur/-30°C~100°C/Pärast tellimust |
-30°C~100°C /Pärast tellimust |
|||
Taga pool heliumi jäätumine |
Jah/Ei |
jah |
|||
Protsessi ruumi ümbrik |
Jah/Ei |
jah |
|||
Ruumi seini temperatuuri juhtimine |
Tühjus/Toatem~60/120°C |
Toatem-60/120°C |
|||
Juhtimissüsteem |
Automaatne/kohandatud |
||||
Ärgeerimismaterjal |
Siloonipõhine:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetmaterjalid/lehelepõhised materjalid Metaalmaterjal: Ni/Cr/Al/Au. Orgaaniline materjal: PR/PMMA/HDMS/Orgaaniline kiht. |
Siloonipõhine: Si/SiO2/SiNx. III-V (märkus 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (märkus 3): CdTe. Magnetmaterjalid/lehelepõhised materjalid Meetaalne materjal: Ni/Cr/A1/Au. Orgaaniline materjal: PR/PMMA/HDMS/orgaaniline filp. |
Sobib mikrolaineseadmetele, vooluseadmetele jne.
Minder-High-tech Reaktiivne Ionieetseerija (RIE) on tipptechnoloogia seade, mis võib erinevaid materjale etseerida ja analüüsida ulmekindlal tasandil. See seade on disainitud kasutamiseks tehnoloogiatööstustes, kus mikrofabrikatsioon või etseerimine on regulaarselt nõutav. Seda on valmistatud kvaliteetsetest materjalidest, mis muudavad selle püsivaks, usaldusväärseks ja suutlikuks toodma suurepärasi tulemusi.
Varustatud RF-plasma generaatoriga on tõhus. RIE-süsteem kasutab induktiivset sidumist, et luua plasma toitegaasist. See tehnik loob kõrghustusega plasmaga, mis suurendab kaasatud toote ärbimise kiirust. RIE-seadme ärbimisprotsess on tõhus, täps ja väga kontrollitav, lubades saavutada spetsiifiline sügavus. See omadus teeb selle uinikuks valikuks uurimistegevuseks või tööstuses.
Seade omab laia rakendusvälja, sealhulgas mikroelektronikas, MEMS tootmisel ja semikonduktorite valmistamisel. See seade mängib olulist rolli semikonduktorimaterjalide, nagu siinik, galliumarseniid ja germaanium etseerimisel ja mikromehaanikas semikonduktorite tööstuses. Minder-High-tech RIE seade on lisaks kasutatud ka MEMS tööstuses nii pehmeste kui ka rasketega materjalide valmistamiseks, nagu polüimid, siliidiooksid ja siliidinitrid. Lisaks on see saadaval ka vigade analüüsiks elektrooniliste teenuste ja toodete tööstuses.
Kaasab funktsioone, mis muudavad selle kasutamise lihtsaks. Tarkvara on kasutajatõhus ning pakub operaatoriga täielikku kontrolli etseerimisparameetrite üle, mida seadmes kasutatakse. Seadme seaded salvestatakse selle sisemisse mälusse, mis võib hoida üle 100 seadete komplekti. Lihutihe on kosutava ekraaniga, mis lubab operaatorigal seada parameetreid, nagu gaasi vool, võimsus tihe ja rööp. Minder-High-tech RIE seade omab ka temperatuurikontrollifunktsiooni, mis tagab, et materjalid etseeritakse õigeks temperatuuriks ja takistab neile kahju tekitamist.
Täiuslik ettevõtetele, kes vajavad usaldusväärset ja tõhusat seadet, mis pakkub täpsed ja preciisid tulemused. See seade on disainitud tipptehtechnoloogiadega ja tasandil, mis on väga kõrge. Selle mitmekesisus ja kasutajatõhused funktsioonid tegeldavad sellest suurepärase valiku uurimiseks ja tööstuse rakendustes erinevates sektorites.
See võimaldab ka tõhusa katkestatuse analüüsiga süsteemi, mis võimaldab masinale tuvastada ja parandada mehaanilised probleemid võimalikult kiiresti. See süsteem tagab, et RIE masina hoiab kõrge kvaliteedi ja usaldusväärsuse kogu eluksujuhendi jooksul. Igal tööstusharul, mis nõuab täpsust ja tõhusat ärbida või mikrofabrikatsiooni, on Minder-High-tech RIE masin ideaalne lahendus.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved