Kirje | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Toote suurus | ≤6 tolli | ≤8 tolli | ≤8 tolli | ||
RF toiteallikas | 0-300W/500W/1000W Reguleeritav, automaatne sobitamine | ||||
Molekulaarne pump | -/620(L/s)/1300(L/s)/Kohandatud | Antiseptiline 620(L/s)/1300(L/s)/Kohandatud | |||
Eesliini pump | Mehaaniline pump/kuivpump | Kuiv pump | |||
Protsessi surve | Kontrollimatu rõhk/0-1Torr kontrollitud rõhk | ||||
Gaasi tüüp | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Kohandatud (Kuni 9 kanalit, ei sisalda söövitavat ja mürgist gaasi) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gaasipliidil | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Jah ei | Jah | |||
Temperatuuri näidisjuhtimine | 10°C~Ruumitemperatuur/-30°C~100°C/Kohandatud | -30°C ~ 100°C /Kohandatud | |||
Tagumine heeliumi jahutus | Jah ei | Jah | |||
Protsessi õõnsuse vooder | Jah ei | Jah | |||
Süvendi seina temperatuuri juhtimine | Ei/Ruumitemperatuur ~60/120°C | Ruumitemperatuur -60/120°C | |||
Control System | Automaatne/kohandatud | ||||
Söövitusmaterjal | Ränipõhine: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetmaterjalid/sulamimaterjalid Metallik materjal: Ni/Cr/Al/Au. Orgaaniline materjal: PR/PMMA/HDMS/Orgaaniline film. | Ränipõhine: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magnetmaterjalid/sulamimaterjalid Metallist materjal: Ni/Cr/A1/Au. Orgaaniline materjal: PR/PMMA/HDMS/orgaaniline kile. |
Sobib mikrolaineseadmetele, toiteseadmetele jne.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) masin on kaasaegne tehnoloogia, mis suudab uskumatu täpsusega söövitada ja analüüsida erinevat tüüpi materjale. See masin on mõeldud kasutamiseks erinevates tööstusharudes, kus mikrotöötlemist või söövitamist on vaja regulaarselt. See on valmistatud kvaliteetsetest materjalidest, mis muudavad selle vastupidavaks, töökindlaks ja annavad suurepäraseid tulemusi.
Varustatud RF plasmageneraatoriga on efektiivne. RIE-süsteem kasutab toitebensiinist plasma saamiseks induktiivset ühendust. See meetod loob suure tihedusega plasma, mis suurendab tootega seotud söövituskiirust. RIE-masina söövitusprotsess on tõhus, täpne ja hästi juhitav, võimaldades saavutada konkreetset sügavust. See funktsioon on ainulaadne, see on suurepärane valik uurimis- või tööstustöödeks.
Masina valik on lai, sealhulgas mikroelektroonika, MEMS-i tootmine ja pooljuhtide tootmine. See masin mängib olulist rolli pooljuhtmaterjalide nagu räni, galliumarseniidi ja germaaniumi söövitamisel ja mikrotöötlusel pooljuhtide tööstuses. Minder-High-tech RIE seade on lisaks loodud MEMS-tööstuses pehmete ja kõvade materjalide, nagu polüimiid, ränidioksiid ja räninitriid, valmistamiseks. Lisaks on see juurdepääsetav tõrkeanalüüsiks elektrooniliste teenuste ja toodetega seotud tööstusharudes.
Sisaldab erinevaid funktsioone, mis muudavad selle kasutamise lihtsaks. See on kasutajasõbralik tarkvara, mis annab operaatorile täieliku kontrolli seadmes kasutatavate söövitusparameetrite üle. Masina sätted salvestatakse selle sisemällu, see võib salvestada üle 100 seadistuskomplekti. Selle ekraanil on puudutus, mis võimaldab operaatoril seadistada selliseid parameetreid nagu gaasi liikumine, võimsuse paksus ja rõhk. Minder-High-tech RIE masinal on ka temperatuuri reguleerimise funktsioon, mis tagab materjalide söövitamise õigel temperatuuril ja peatab nende kahjustamise.
Ideaalne ettevõtetele, kes vajavad usaldusväärset ja tõhusat masinat, võivad pakkuda täpseid ja täpseid tulemusi. See seade on loodud tipptasemel tehnoloogiaga ja tase on palju. Selle mitmekülgsus ja kasutajasõbralikud funktsioonid muudavad selle valiku väga headeks teadusuuringuteks ja tööstuslikeks rakendusteks erinevates sektorites.
Sellel on ka tõhus rikete analüüsisüsteem, mis võimaldab masinal võimalikult kiiresti tuvastada ja parandada kõik mehaanilised probleemid. See süsteem tagab RIE masina kõrge kvaliteedi ja töökindluse kogu oma elutsükli jooksul. Iga tööstusharu jaoks, mis nõuab täpset ja tõhusat söövitamist või mikrotootmist, on Minder-High-tech RIE masin ideaalne lahendus.
Autoriõigus © Guangzhou Minder-Higtech Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud