Kiire termiline töötlemine
RTP seadmed liitpooljuhtide, SlC, LED ja MEMS jaoks
* Oksiidide, nitriidide kasv
* Ohmiline kontakt kiirsulam
* Silitsiidsulami lõõmutamine
* Oksüdatsiooni refluks
* Galliumarseniidi protsess
* Muud kiirkuumtöötlusprotsessid
Täisautomaatne kahekambriline RTP
* Ühildub 6-8-tollise WAFERiga
* Maksimaalne temperatuur võib ulatuda 1250°C-ni
* Stabiilne temperatuuri reprodutseeritavus
* Täisautomaatne kahekambriline disain tootmisvõimsuse suurendamiseks
* Ülikõrge temperatuuriga välja ühtlus
* Vastake SlC masstootmisprotsessi nõudlusele
Poolautomaatne RTP
* Infrapuna halogeenlambi toruküte, jahutamine õhkjahutuse abil;
* PlD temperatuuri reguleerimine lambi võimsusele, mis suudab täpselt reguleerida temperatuuri tõusu, tagades hea reprodutseeritavuse ja temperatuuri ühtluse;
* Materjali sisselaskeava on seatud WAFER-i pinnale, et vältida külmpunkti teket lõõmutamise ajal ja tagada toote hea temperatuuri ühtlus;
* Valida saab nii atmosfääri- kui ka vaakumravi meetodeid, koos eeltöötluse ja keha puhastamisega;
* Kaks protsessigaaside komplekti on standardsed ja neid saab laiendada kuni 6 protsessigaasi komplektini;
* Mõõdetava monokristallilise räni proovi maksimaalne suurus on 12 tolli (300x300 mm);
* Instrumendi ohutuse tagamiseks on täielikult rakendatud kolm ohutusmeedet: ohutu temperatuuri avamise kaitse, temperatuuri regulaatori avanemisloa kaitse ja seadmete hädaseiskamiskaitse;
Töölaua RTP
* Infrapuna halogeenlambi toruküte, jahutamine õhkjahutuse abil;
* PlD temperatuuri reguleerimine lambi võimsusele, mis suudab täpselt reguleerida temperatuuri tõusu, tagades hea reprodutseeritavuse ja temperatuuri ühtluse;
* Materjali sisselaskeava on seatud WAFER-i pinnale, et vältida külmpunkti teket lõõmutamise ajal ja tagada toote hea temperatuuri ühtlus;
* Valida saab nii atmosfääri- kui ka vaakumravi meetodeid, koos eeltöötluse ja keha puhastamisega;
* Kaks protsessigaaside komplekti on standardsed ja neid saab laiendada kuni 6 protsessigaasi komplektini;
* Mõõdetava monokristallilise räni proovi maksimaalne suurus on 12 tolli (300x300 mm);
* Instrumendi ohutuse tagamiseks on täielikult rakendatud kolm ohutusmeedet: ohutu temperatuuri avamise kaitse, temperatuuri regulaatori avanemisloa kaitse ja seadmete hädaseiskamiskaitse;
Pakkimine ja kohaletoimetamine
Meil on 16-aastane kogemus seadmete müügi alal ja saame pakkuda teile ühtset IC-paketiliini seadmete lahendust!
Kas otsite oma liitpooljuhtide SlC LED MEMS-i tootmisprotseduuride jaoks töökindlat RTP-seadet? Minder-Hightechiga võrreldes pole enam välja näha.
Sellel on erakordsed võimed kiireks töötlemiseks ja termiliselt, mistõttu see sobib suurepäraselt esmaklassiliste pooljuhtide, SlC MEMS-i vidinate ja LED-ide loomiseks. Koos teie käsutuses oleva Minder-Hightechi uuendusega saate saavutada täpse temperatuuritaseme, pideva kodu kütmise ja vähendada oma teenuste või toodete probleemi paksust.
Sisaldab individuaalset kasutajaliidest, mida on lihtne kasutada, luues konkreetse, seda on erineva võimekusega juhtidel lihtne kasutada ja navigeerida. Selle enda täiustatud automatiseerimisvõimalused võimaldavad teil täiustada oma tootmisprotseduure, vähendades käsiraamatu kaitsmise ja teie raha ja võimaluste kasutamise nõuet.
Selle tähtsust mõistab meie meeskonna seadmete töökindlus. Seetõttu on meie RTP-seadmed välja töötatud koos tippkvaliteediga ja välja töötatud nii, et need taluksid laialdast kasutamist, mis on igapäevane tõhususe või isegi funktsioonide puudumine. Meie meeskond tegeleb ka rutiinsete abi- ja hoolduslahendustega, et tagada teie seadmete vastupidavus.
Olenemata sellest, kas olete seotud liitpooljuhtide tootmise, LED-tootmise või isegi MEMS-süsteemi arendamise valdkondadega, pakuvad Minder-Hightechi RTP-seadmed enneolematut tõhusust ja täpsust. Seega, milleks vahutada? Värskendage oma tootmisprotseduuri kraadi suunas, mis järgneb Minder-Hightechi RTP seadmete ostmisele täna.
Kui vajate tippkvaliteediga RTP-seadmeid oma liitpooljuhtide SlC LED MEMS-i tootmisprotseduuri tõhususe ja tõhususe suurendamiseks, lootke Minder-Hightechile. Meie arenenud innovatsioon, töökindlad seadmed ja erakordne klienditugi loovad meie meeskonnale juhtivad võimalused äritegevuseks kogu maailmas.
Ärge hängige mis tahes tüüpi palju kauem, et saada oma lavastuste protseduur järgmisele tasemele.
Ostke juba täna Minder-Hightechi RTP-seadmeid.