Mahlitav veer
|
Suurus
|
Tollid
|
4,5,6,8
|
Rõhkumine viis
|
-
|
Püstmaheerimismeetod
|
|
Maheratta telg
|
Tüübid
|
-
|
Ööde telged
|
Kogus
|
-
|
1
|
|
Kiirus
|
rpm
|
0~5000
|
|
Väljalaskevõimsus
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
Sügavus
|
mm
|
150
|
|
Toimetamise kiirus
|
um/s
|
0,01~100
|
|
Kiirendatud liikumissuund
|
mm/min
|
300
|
|
Resolutsioon
|
um
|
0.1
|
|
Töölembrita akseptor
|
TÜÜP
|
-
|
Pallovedelised
|
Kogus
|
-
|
1
|
|
Kiirus
|
rpm
|
0~300
|
|
Võimsus
|
kW
|
0.75
|
|
Hüüdnukutüüp
|
-
|
Mikroporosa keramika
|
|
Plaadide hüüdnemine
|
-
|
Vakuumsedus
|
|
Waferi ülekanne
|
-
|
Käsiraamat
|
|
Muud funktsioonid
|
Waferi keskpunktiga joondamine
|
-
|
-
|
Waferi puhastamine
|
-
|
-
|
|
Süsimise kihi puhastamine
|
-
|
-
|
|
Grinding Wheel
|
mm
|
φ200
|
|
ONLINE
mõõtmed |
Mõõtvasandi ulatus
|
um
|
0~1800
|
Resolutsioon
|
um
|
0.1
|
|
Kordus täpsus
|
um
|
±0.5
|
|
Töötlemine
täpsus |
Sisemine waferi täpsus (TTV)
|
um
|
≤2
|
Vahe-waferi täpsus (WTW)
|
um
|
±3
|
|
Pindelahkus (Ry)
|
um
|
0.1(2000# lõpuni)
|
|
Välimus
|
Välimus värvimine
|
um
|
Oranž muster
|
Mõõdud (L×P×K)
|
mm
|
690×1720×1780
|
|
Kaal
|
kg
|
1400
|
Mahlitav veer
|
Suurus
|
Tollid
|
6,8,12
|
Rõhkumine viis
|
-
|
Püstmaheerimismeetod
|
|
Maheratta telg
|
Tüübid
|
-
|
Ööde telged
|
Kogus
|
-
|
1
|
|
Kiirus
|
rpm
|
0~5000
|
|
Väljalaskevõimsus
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
Sügavus
|
mm
|
150
|
|
Toimetamise kiirus
|
um/s
|
0,01~100
|
|
Kiirendatud liikumissuund
|
mm/min
|
300
|
|
Resolutsioon
|
um
|
0.1
|
|
Töölembrita akseptor
|
TÜÜP
|
-
|
Pallovedelised
|
Kogus
|
-
|
1
|
|
Kiirus
|
rpm
|
0~300
|
|
Hüüdnukutüüp
|
-
|
Mikroporosa keramika
|
|
Plaadide hüüdnemine
|
-
|
Vakuumsedus
|
|
Waferi ülekanne
|
-
|
Käsiraamat
|
|
Muud funktsioonid
|
Waferi keskpunktiga joondamine
|
-
|
-
|
Waferi puhastamine
|
-
|
-
|
|
Süsimise kihi puhastamine
|
-
|
-
|
|
Grinding Wheel
|
mm
|
φ300
|
|
ONLINE
mõõtmed |
Mõõtvasandi ulatus
|
um
|
0~1800
|
Resolutsioon
|
um
|
0.1
|
|
Kordus täpsus
|
um
|
±0.5
|
|
Töötlemine
täpsus |
Sisemine waferi täpsus (TTV)
|
um
|
≤3
|
Vahe-waferi täpsus (WTW)
|
um
|
±3
|
|
Pindelahkus (Ry)
|
um
|
0,13 (2000# lõpuni)
|
|
Välimus
|
Välimus värvimine
|
um
|
Oranž muster
|
Mõõdud (L×P×K)
|
mm
|
790×2170×1830
|
|
Kaal
|
kg
|
1800
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved