Semikonduktorite tööstuse seadmed MDLB-MC200 fotomaski puhastusseade

Ei.

Projekt

Spetsifikatsioonid

Märkmed

1

Seadme ülevaade

Seadme nimi: Photomask Puhastaja

Seadme mudel: MDLB-MC200

Kogumõõtmed (umbes): 1300mm (L) * 1000mm (P) * 1950mm (K)

Tervise kaal (umbes): 300KG

Operatsioonilaua kõrgus: 900 ± 50mm

Aluse suurusnõuded: sobivad 2/4/5/6/8 tolli ruutmaskideta alusedega

Protsessijooks: käeoperatsiooniplaadide paigaldamine → puhastamine (pistrik, puhastusvede → kõrge survega vesi → megasoonne vesi → dejoniseeritud vesi → naatriumiga gaasi kuivatus) → käeoperatsiooniplaadide eemaldamine

Seadmetüüp: poolautomaatne, käsitsi laadimine ja unlusimine

2

Seadme konstruktsioon

Korpuse: roostevaba teras, puhas, korroosioonivastane, hõlpsalt puhastatav

Puhastusruum: PP, puhas, korroosioonivastane, hõlpsalt puhastatav

Tubli: PU/PFA vastav tubli kasutatakse

Töövalgustus: korroosioonivastane kollane valgustus

Uksu avamistüüp: topeltukk koos ukse avamisega hoiatusfunktsiooniga

Puhtvärvi liides: 10 tolli täispunane puhtvärvi liides * 1

FFU: klass 100

Voolupuuduse takistava alampõhjend: saadaval

3

Kõrgetäpsuseline servomotor

Kogus: 1

Kiirus: -3000~3000tpm

Tühi koormus

Maksimaalne telgkiiruse kiirendamine: 3000tpm/s

Tühi koormus

Kiiruse täpsus: ± 1tpm (50tpm~3000tpm)

Kiiruse resolutsioon: 1tpm

4

Automaatne lindkäärne

Kogus: 3

Lindkäärne kiirus: 1~30 °/s

5

Puhastusüksus

Puhastuslind: 1 kanal desioonitud vool, 1 kanal nitrogenigaasu

Megoonilind: 1 megooni, 1 kõrge survega vesi

Pistelilind: 1 pistel, 1 vesi, 1 puhastustegur

Puhastusmeetod: automaatne puhastamine

Desioonitud veekogumine funktsioon: saadaval

Tagasipuhastus (desioonitud vesi): 1 marsruut

Toomismeetod: Puhastustegur: Diapraampumpp

Desioonitud vesi: toodetakse otse tehaselt

Pingevarustik vedeliku taset tuvastamisega

6

Pistel pistmega

Kogus: 1 (koos ise puhastavate funktsiooniga)

Kiirus: kuni 1000vmin, kohandatav kiirus

Kõrgus käsitsi kohandatav

7

Laadimislaud

Kogus: 5

Materjal: PPS+rostevaba teras

Suurus: Sobib 2/4/5/6/8 tolli ruutmaske platidega

Aluse kitsendamismeetod: Krabikitsendamismeetod

8

Juhtimissüsteem

Juhtimissüsteem: kasutab PLC juhtimist

Programm: 100 rühma, igal rühmal on 100 sammu, maksimaalne ühe sammu aeg 3000.0 sekundit

Täpsus: 0,1S

Programmi saab salvestada, välja kutsuda, muuta ja kustutada

Seadke krüpteerimisõigused: seadmeoperatsioonidele, tehnikutele, administraatoritele ja tootjatele vastavalt

Signaaltorni tüüp: punane, kollane, roheline 3 värvi