Pooljuhttööstuse seadmete MDLB-MC200 fotomaski puhastusvahend

Ei.

Projekt

tehnilised nõuded

Märkused

1

Seadmete ülevaade

Seadme nimi: Photomask Cleaner

Seadme mudel: MDLB-MC200

Üldmõõtmed (ligikaudne): 1300 mm (L) * 1000 mm (D) * 1950 mm (K)

Kogu masina kaal (ligikaudu): 300KG

Töölaua kõrgus: 900 ± 50mm

Substraadi suuruse spetsifikatsioonid: sobib 2/4/5/6/8-tollistele ruudukujulistele maskiplaatidele

Protsessi voog: vahvli käsitsi asetamine → puhastamine (hari, puhastuslahus → kõrgsurvevesi → megasoonvesi → deioniseeritud vesi → kuivatamine lämmastikgaasiga) → vahvli käsitsi eemaldamine

Seadme tüüp: poolautomaatne, käsitsi peale- ja mahalaadimine

2

Seadmete ehitus

Kest: roostevaba teras, sile, korrosioonikindel, kergesti puhastatav

Puhastuskamber: PP, sile, korrosioonikindel, kergesti puhastatav

Torujuhe: kasutatakse PU/PFA sobivat torujuhet

Töövalgustus: korrosioonivastane kollane valgustus

Ukse avamise stiil: kahekordne uks ukseavamise alarmi funktsiooniga

Puuteekraan: 10-tolline täisvärviline puuteekraan * 1

FFU: klass 100

Lekkekindel põhjatugi: saadaval

3

Kõrge täpsusega servomootor

Kogus: 1

Kiirus: -3000 ~ 3000 pööret minutis

Tühi koorem

Spindli pöörlemise maksimaalne kiirendus: 3000rpm/S

Tühi koorem

Kiiruse täpsus: ± 1 pööret minutis (50 p / min ~ 3000 p / min)

Kiiruse eraldusvõime: 1 pööret minutis

4

Automaatne pöördhoob

Kogus: 3

Pöördehoova kiirus: 1–30 °/S

5

pesuseadmel

Pöördhoova puhastamine: 1 kanal deioniseeritud vett, 1 kanal gaasilist lämmastikku

Megasonicu õlg: 1 Megasonic, 1 kõrgsurvevesi

Harjavars: 1 hari, 1 vesi, 1 puhastuslahus

Puhastusmeetod: automaatne puhastus

Deioniseeritud vee imemise funktsioon: saadaval

Tagasipesu (deioniseeritud vesi): 1 tee

Tarnemeetod: puhastuslahus: membraanpump

Deioniseeritud vesi: tarnitakse otse tehasest

Survepaak vedeliku taseme tuvastamisega

6

Pintsli pintsel

Kogus: 1 (isepuhastusfunktsiooniga)

Kiirus: kuni 1000 p/min, reguleeritav kiirus

Kõrgus käsitsi reguleeritav

7

Laadige salve

Kogus: 5

Materjal: PPS + roostevaba teras

Suurus: sobib 2/4/5/6/8-tollistele ruudukujulistele maskiplaatidele

Substraadi kinnitusviis: küüniste kinnitamise meetod

8

Kontrollsüsteem

Juhtimissüsteem: kasutades PLC juhtimist

Programm: 100 rühma, iga rühm koosneb 100 sammust, ühe sammu maksimaalne aeg on 3000.0 sekundit

Eraldusvõime: 0.1S

Programmi saab salvestada, kutsuda, muuta ja kustutada

Määrake krüpteerimisload: vastavalt seadmeoperaatoritele, tehnikutele, administraatoritele ja tootjatele

Signaalitorni tüüp: punane, kollane, roheline 3 värvi