Pooljuhtide tööstus Kassetitüüp Partii plasma PR-eemaldusmasin Fotoresist jääkide eemaldamine, Hiina Pooljuhtide tööstus Kassetitüüp Partii plasma PR-eemaldusmasin Fotoresisti jääkide eemaldamise masin Tootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

Kassetitüüp Batch plasma PR eemaldamise masin

DESCUM
Vahvlite puhastamine
Liimijääkide eemaldamine pärast märgtöötlust
Pinna jääkide eemaldamine
Pärast kokkupuudet ja väljatöötamist eemaldage liimijäägid

Protsess

Pooljuhtide tööstus Kassetitüüp Batch plasma PR eemaldamise masin Photoresist Residual Removal tehas

Pooljuhtide tööstus Kassetitüüp Batch plasma PR eemaldamise masin Photoresist Residual Removal üksikasjad

Pooljuhtide tööstus Kassetitüüp Batch plasma PR eemaldamise masin Photoresist Residual Removal tarnija

Eelis:

Põhiline eelis

Kõrge ummi eemaldamise kiirus: suure tihedusega plasma, kiire igeme eemaldamise kiirus
Stabiilsus: pärast plasmatöötlust kõrge reprodutseeritavus
Kaugplasma: kaugplasma, väikese iooniga vahvli kahjustus
Esiletõstetud tarkvara: sõltumatu tarkvara uurimine ja arendus, intuitiivne protsessianimatsioon, üksikasjalikud andmed ja kirjed
Ühtsus: Plasma suudab rõhku ja temperatuuri juhtida liblikklapi kaudu
Ohutustegur: madal plasmatase vähendab toote tühjenemise kahjustusi.
Müügijärgne teenindus: kiire reageerimine ja piisav varu
Tolmutõrje: täitke kliendi nõuded.
Põhitehnoloogia: peaaegu 40% teadus- ja arendusmeeskonna liikmetest

Kassetiplatvorm (MD-ST 6100/620)

1. 4 vahvlikandjat
2. Kõrge ühilduvus: vahvli suuruse valiku paindlikkus toob kaasa kõrged kulud ja lahenduse tõhususe
3. Kõrge stabiilsusega vaakumülekandekamber:
Küpset ja stabiilset vaakumülekande disaini on turul küpselt rakendatud juba aastaid ja kliendid on seda hästi tunnustanud.
Plaadimängija disain, kompaktne ruum, mis vähendab oluliselt PARTICALi ohtu
4. Humaniseeritud tarkvara tööliides:
Intuitiivne humaniseeritud tarkvara tööliides, masina tööoleku reaalajas jälgimine;
Põhjalikud häire- ja lollikindlad funktsioonid, et vältida valesid toiminguid.
Võimas andmeekspordi funktsioon, erinevate protsessiparameetrite kirjed ja toodete tootmiskirjete eksport.

Robot

1. Ühekordne kahekordne vahvlivalik ja -kohakujundus tagab kõrge tootlikkuse
2. Parandage ruumi tõhusust.

Kütteplaat

1. Kõrge täpsusega temperatuuri reguleerimise vahvliplaat
Vahvlikoojendusplaat toatemperatuurilt kuni 250°C, temperatuuri reguleerimise täpsus ±1°C
Vahvli kuumutusplaat on kalibreeritud professionaalsete instrumentidega ja ühtlus. Tagage liimi eemaldamise ühtlus ±3°C piires
2. Ühekambriline kahe vahvliga töötlemine
Ühekambriline kahe vahvliga disain;
Sõltumatu toitelahendus iga vahvli jaoks, tagades iga vahvli. Ümmargune PR eemaldamise efekt;
UPH tõhususe tagamise eeldusel vähendage toote maksumust. Tugev ühilduvus
3. Tootmisvõimsus: kaheosaline disainiga reaktsioonikamber, kõrge tootmistõhusus.

spetsifikatsioon

PLASMA allikas	RF	mikrolaine
võim	1000w	1250w
Kohaldatav kohaldamisala	4 ~ 8 tolline	4~8寸
Ühe töötlemise viilude arv	4-6 tolli = 50 tükki / 8 tolli = 25 tükki	4-6 tolli = 50 tükki / 8 tolli = 25 tükki
Välimuse mõõtmed	1250x1630x1900mm	1250x1630x1900mm
Süsteemi juhtimine	PC	PC
Automatiseerimise tase	Auto	Auto

Riistvara võimekus
Tööaeg / saadaolev aeg	≧ 95%
Keskmine puhastamise aeg (MTTC)	≦ 6 tundi
Keskmine remondiaeg (MTTR)	≦ 4 tundi
Keskmine aeg rikete vahel (MTBF)	≧ 350 tundi
Keskmine aeg assistendi vahel (MTBA)	≧ 24 tundi
Keskmine vahvel purunenud (MWBB) vahel	≦1 10,000 XNUMX vahvli kohta
Kütteplaadi juhtimine	50-250 °