Pooljuhtide tööstuse ICP labori tüüpi PR-eemaldusmasin Fotoresisti jääkide eemaldamine, Hiina Pooljuhtide tööstusharu ICP laboritüüpi PR-eemaldusmasin Fotoresisti jääkide eemaldamise masin Tootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

ICP labori tüüpi PR eemaldamine Fotoresisti eemaldaja masin

TUHASTAMINE
Polümeeri eemaldamine
DESCUM
Kõva maskikihi kuiv eemaldamine
Fotoresistentsuse eemaldamine pärast naiste ioonide implanteerimist
Optilise takistuse eemaldamine kandjate vahel
Fotoresistentsuse eemaldamine BAW/SAW protsessis
Peegeldusvastase graafilise kilekihi Y keemiline puhastus
Ränioksiidi või räni nitriidi söövitus
Pinna jääkide eemaldamine
Pinna puhastamine pärast söövitamist
Ränikarbiidi söövitus

Pooljuhtide tööstuse ICP labori tüüpi PR eemaldamismasin Photoresist Residual Removal tarnija

Protsess

Pooljuhtide tööstus ICP labori tüüpi PR-eemaldamismasin Photoresist Residual Removal tehas

Pooljuhtide tööstus ICP labori tüüpi PR eemaldamismasin Photoresist Residual Removal üksikasjad

Eelis:

Põhiline eelis

Kõrge ummi eemaldamise kiirus: suure tihedusega plasma, kiire igeme eemaldamise kiirus
Stabiilsus: pärast plasmatöötlust kõrge reprodutseeritavus
Kaugplasma: kaugplasma, väikese iooniga vahvli kahjustus
Esiletõstetud tarkvara: sõltumatu tarkvara uurimine ja arendus, intuitiivne protsessianimatsioon, üksikasjalikud andmed ja kirjed
Ühtsus: Plasma suudab rõhku ja temperatuuri juhtida liblikklapi kaudu
Ohutustegur: madal plasmatase vähendab toote tühjenemise kahjustusi.
Müügijärgne teenindus: kiire reageerimine ja piisav varu
Tolmutõrje: täitke kliendi nõuded.
Põhitehnoloogia: peaaegu 40% teadus- ja arendusmeeskonna liikmetest

Kassetiplatvorm (MD-ST 6100/620)

1. 4 vahvlikandjat
2. Kõrge ühilduvus: vahvli suuruse valiku paindlikkus toob kaasa kõrged kulud ja lahenduse tõhususe
3. Kõrge stabiilsusega vaakumülekandekamber:
Küpset ja stabiilset vaakumülekande disaini on turul küpselt rakendatud juba aastaid ja kliendid on seda hästi tunnustanud.
Plaadimängija disain, kompaktne ruum, mis vähendab oluliselt PARTICALi ohtu
4. Humaniseeritud tarkvara tööliides:
Intuitiivne humaniseeritud tarkvara tööliides, masina tööoleku reaalajas jälgimine;
Põhjalikud häire- ja lollikindlad funktsioonid, et vältida valesid toiminguid.
Võimas andmeekspordi funktsioon, erinevate protsessiparameetrite kirjed ja toodete tootmiskirjete eksport.

Robot

1. Ühekordne kahekordne vahvlivalik ja -kohakujundus tagab kõrge tootlikkuse
2. Parandage ruumi tõhusust.

Kütteplaat

1. Kõrge täpsusega temperatuuri reguleerimise vahvliplaat
Vahvlikoojendusplaat toatemperatuurilt kuni 250°C, temperatuuri reguleerimise täpsus ±1°C
Vahvli kuumutusplaat on kalibreeritud professionaalsete instrumentidega ja ühtlus. Tagage liimi eemaldamise ühtlus ±3°C piires
2. Ühekambriline kahe vahvliga töötlemine
Ühekambriline kahe vahvliga disain;
Sõltumatu toitelahendus iga vahvli jaoks, tagades iga vahvli. Ümmargune PR eemaldamise efekt;
UPH tõhususe tagamise eeldusel vähendage toote maksumust. Tugev ühilduvus
3. Tootmisvõimsus: kaheosaline disainiga reaktsioonikamber, kõrge tootmistõhusus.

Pooljuhtide tööstus ICP labori tüüpi PR eemaldamismasin Photoresist Residual Removal tootmine

spetsifikatsioon

PLASMA allikas			RF+BIAS
võim	1000W	1000W
võim		600W	600W
Kohaldatav kohaldamisala			4-8 tolli
Ühe töötlemise viilude arv			üks
Välimuse mõõtmed			1140mm x 1050mm x 1620mm
Süsteemi juhtimine			Tööstuslik juhtimissüsteem
Automatiseerimise tase			Käsitsi

Riistvara võimekus
Tööaeg / saadaolev aeg	≧ 95%
Keskmine puhastamise aeg (MTTC)	≦ 6 tundi
Keskmine remondiaeg (MTTR)	≦ 4 tundi
Keskmine aeg rikete vahel (MTBF)	≧ 350 tundi
Keskmine aeg assistendi vahel (MTBA)	≧ 24 tundi
Keskmine vahvel purunenud (MWBB) vahel	≦1 10,000 XNUMX vahvli kohta
Kütteplaadi juhtimine	50-250 °