Projekt
|
sisu
|
Toode Tüüp
|
6",8",12" vahvel, 2.5D/3D pakend
|
2D ülevaatus
Kirjed |
Võõrkehad, liimijäägid, osakesed, kriimustused, praod, saastumine, CP kõrvalekalle, liigsed nõelajäljed jne.
|
2D metroloogia
|
Muhke läbimõõt, nõela märgi koordinaadid, RDL ja TSV metroloogia jne.
|
3D ülevaatuse projekt
|
Muhkude kõrgus, muhke ühtsus
|
Kassett &edastusmeetod
|
8"SMIF, 12" FOUP või kombinatsioon
|
Objektiiv ja eraldusvõime
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
Täpsus
|
0.55 um/piksel
|
Valikuline ja kohandatud
|
Kahepoolne OCR, 3D-moodul, toetab E84
|
Autoriõigus © Guangzhou Minder-Higtech Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud