projekt
|
sisaldus
|
Toode tüüp
|
6",8",12" plaad, 2.5D/3D pakendus
|
2D Kontroll
Esemed |
Võõrandobjektid, jääkliim, osakesed, kraadid, reviidid, saaste, CP hälve, üleliigsed naali märgid jne.
|
2D Mõõtmine
|
Nõrgenduse läbimõõt, naali märgi koordinaadid, RDL ja TSV mõõdmine jne.
|
3D Kontroll Projekt
|
Kõrgus, Ühisravilikkus
|
Kasett ja edastusmeetod
|
8"SMIF , 12" FOUP või kombinatsioon
|
Linss ja resolutsioon
|
2x(2.75µm)13.5x(1.57µm)5x(1.1µm)17.5x(0.73µm)110x(0.55µm)
|
Täpsus
|
0.55µm/pixelega
|
Valikuline ja kohandatud
|
Topelt pooled OCR, 3D moodul, toetatud E84 poolt
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved