Täiesti automaatne ühekambliku kambrikute puhastusmasin Kambrikute puhastusmasin
Masina omadused
Üksik kuuming, kaks kuumingut ja neli kuumingut Tugev protsessimõjuvus, võimeline toetama rakendusi nagu Wafer Start ja protsessipuhastus Hea seadmete vahelise tehnoloogia kooskõlasus
Rakendusvaldkonnad
Pindliku partikli eemaldamine 4-8 tolli siliciumpõhiste ja liitkeemiliste plaadide puhul
Tehnilised parameetrid
4-tolline, 6-tolline, 8-tolline haripuu kuuming Spinneri kiirus kuni 4000RPM Dubliinarm haripuu kooming, saadaval meetodites Brush, AS, JET, Megasonics puhastus Võib toetada vedelike puhastamisfunktsiooni
LoadPort ühik, laadimisühik
LoadPort on selle seadme laadimisühik
Võimeline Wafer Mapping-i kasutusele võtta Varustatud Wafer slide detektsiooniga
Transpordiroboti üksus
Kakskaelne robot, valikuline vakuumi või keedega kaeltega.
Joondamise ja pöördamise üksus
Võib joonda ja asendada tasandaid serva Plaad saab pöörata kristalli taguse puhtamiseks
Pistmise üksus
Pistmise kaelade arv * 2 Plaadi käsitlemine: hoidja liugemine või sušeerimisliige tüüp Pistmine, AS, JET, Megasonics puhastusrežiimid, toetab farmaatilist puhastust
1. Toetab plaadi sisendit ja väljundit samal ajal, samuti A sisendit ja B väljundit režiimi 2. Võib toetada kammeri A eespool ja kammeri B tagapoolse tsetkemise toetamist 3. Võib toetada kahte kammerit korraga puhastavat tööd
Pistmise ühiku kirjeldus
Nagu joonises näidatud Wafer on kinnitatud Spinneri peal
Kael1&Kael2 võivad kasutada erinevaid tsetkemismeetodeid mis on varasemalt kirjeldatud waferite puhastamiseks.
Puhastuse järel pöörab Spinner kiiresti, et wafer saaks kuivata
Joondamise ja pöördamise üksus
Wafer võib kasutada elamis- ja tasemeerimise eesmärkidel
Wafer võib pöörata ümber
Seadme suurus: 160x150x220 (mm) Laadimise ja unladeerimise meetodid: sama sisse ja sama välja & A sisse ja B välja Kuivamiste üksuste arv: 2 Kuivamisrežiimid: kuivamine, AS, JET, Megasonics puhastusmeetodid, toetab farmaatilist puhastust
Pakendamine ja kohaletoimetamine
Ettevõtte profiil
KKK
1. Hindade kohta: Meie kõik hinnad on konkurentsivõimas ja läbipaistvad. Hind sõltub seadme konfiguratsiooni ja kohandamise keerukusest.
2. Mustrite kohta: Võime pakkuda teil näidisetooteid, kuid te peate maksuma mõned tasud.
3. Makse kohta: Kava kinnitamisel peate meile esmalt maksumaksandama, ning tehas hakkab varude ettevalmistamisega. Kui seade on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle. seadme on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.
4. Toimetamine kohta: Seadmete tootmise lõpetamise järel saadame teile vastuvõtuvideo, samuti võite te seda vajadusel kontrollida kohtadel.
5. Installimine ja silumine: Kui seade on teie tööstuses, saadame meie insenerid selle installimiseks ja silumiseks. Selle eest pakume eraldi hindamist.
6. Tagasi kinnitusest: Meie seadmed on tagatud 12 kuud. Tagakaitse perioodi möödudes, kui mingi osa on katki ja tuleb asendada, tehakse selle eest ainult materjalihind.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
