Ültrasoundi Skaneeriv Mikroskoop Semikonduktoritööstuseks

Time : 2025-02-27

Ultrasound kontrolli põhimõte

Ultrasound teisendur genereerib ultrasound pulsi, mis jõuab DUT-i läbi kandeviku keskkonna (vesi).

Aknalõõguse erinevuse tõttu peenub ultrasound laine materjalide vahelisel liidralt.

Ultrasound teisendur võtab vastu tagasipulsi ja teisendab selle elektrilisteks signaalideks.

Arvuti töötleb elektrilisi signaleid ja näitab lainet või pilti.

Skaneerimisvorm

A-skaneerimine: lainekuju mõnel punktil;

Horisontaalne telg näitab aega, mil lainekuju ilmub;

Püstiline telg näitab lainekuju amplituudi.

C skann: ristkooskonna skann;

Horisontaalne ja püstiline telg näitavad füüsilisi mõõtmeid;

Värv näitab lainekuju amplituudi.

B skann: pikaajaline ristlõige skann;

Horisontaalne telg näitab füüsilisi mõõtmeid;

Püstiline telg näitab aega, mil lainekuju ilmub;

Värv näitab lainekuju amplituudi ja faasi

Mitmetasandiline skannimine: mitmetasandilise C skannimise teostatakse proovi sügavuse suunas.

Transmissiooniskannimine: proovi alale lisatakse vastuvõtjad, et koguda läbipäästetud helilaineid piltide genereerimiseks.

Eeldused ja piirangud tuvastamisel

Eelised:

1. Ultrasound tuvastamine on rakendatav laias materjalide spektris, sealhulgas metallides, mitmetes mittemetallides ja liitmaterjalides;

2. See suudab läbida enamikku materjale;

3. See on väga tundlik pinnase muutuste suhtes;

4. See ei ole inimkehal ega keskmel ohtlik.

Piirangud:

1. Lainemustrite valik on võrdlemisi keeruline;

2. Proovipuuna kuju mõjutab tuvastamise tulemust;

3. Defekti asukoht ja kuju mõjutavad tuvastamistulemust mõne määra;

4. Proovi materjal ja kristalitahvel mõjutavad tuvastamist suurel määral.

Laste protsessi ajal toimuva sidumise kvaliteedi kontroll

Seire waagiladu masina käivitamise ja silumise protsessi ajal, et tuvastada visuaalselt erinevate seadmete parameetrite ja olekute anomalii.

Südamikese kõrgus ja nurga;

Voolaseoks ja temperatuur;

Laioska raamimaterjal ja tšipimaterjal

Tšipi laadimise ajal toimuva liimimise kvaliteedi kontroll

Seire tšipi laadimise masina käivitamise ja silumise ajal võib visuaalselt tuvastada erinevate seadmete parameetrite ja olekute anomalii

Südamikese kõrgus ja nurga;

Voolaseoks ja temperatuur;

Laioska raamimaterjal ja tšip

Tühjad ruumid tšipi liimimise protsessis võivad seada seadme kasutamisel piisavat külmist ära, mida mõjutab selle tööelu ja usaldusväärsus. Ultraheli meetodite kasutamine võimaldab kiiresti ja tõhusalt tuvastada liimimise tühi koht defektid.