Minder-Hightech تولیدکننده نیمه رسانا است. نیمه‌رساناهای اجزای کلیدی بسیاری از چیزهایی هستند که زندگی مدرن را شکل می‌دهند، مانند تلفن همراه و رایانه‌ها. حالا، تعدادی مرحله در ایجاد نیمه‌رسانا وجود دارد، اما اولین قدم ایجاد الگویی روی یک سطح تخت به نام وافر است.

برای ترسیم این الگو، ما یک ماده خاص را روی وافر جمع می‌آوریم. این ماده به عنوان فتورز شناخته می‌شود. پس از قرار دادن فتورز، آن را به نور معرض قرار می‌دهیم. تحت نور، منطقه‌ای از فتورز سخت می‌شود و قوی می‌شود. مناطق در سایه نرم می‌مانند و می‌توانند حذف شوند.

پس از کسب الگوی مورد نظر روی وافر، باید فتورز از مناطقی که در آنها پردازش بیشتری انجام خواهد شد، حذف شود. اینجا که میزان پلاسما نقش می‌کند، به طور واقعی.

روش‌های مبتنی بر پلاسما برای حذف فتورز

پلاسما یک حالت گاز با سطح انرژی بسیار بالا است، که به دلیل اعمال بار الکتریکی قوی به آن ایجاد می‌شود. و این گاز فعال در حذف فتورزست روی سطح وفر بسیار مفید است. از طریق پلاسما، فتورزست می‌تواند شکننده شود و تمیز کردن آن بسیار راحت‌تر می‌شود.

ما دو تکنیک مختلف با استفاده از پلاسما برای حذف فتورزست داریم: فروتنده خشک و آشینگ.

فروتنده خشک: در این تکنیک، پلاسما واقعی که با فتورزست تعامل دارد. پلاسما با فتورزست واکنش نشان می‌دهد جایی که با آن تماس می‌کند. این واکنش منجر به تجزیه فتورزست می‌شود و آن را به گاز تبدیل می‌کند. این ماده گازی بعداً می‌تواند از سطح وفر تمیز شود، که منجر به نمایاندن مناطقی می‌شود که نیاز به تمیز و آماده برای پیشرفت داریم.

اشینگ — این یک روش متفاوت برای انجام کار است، در این روش پلاسما غیر واکنش‌گرا برای فوتورزاستفاده می‌شود. پلاسما فوتورزا را به تکه‌های بسیار کوچک شکست می‌دهد. سپس این تکه‌های کوچک می‌توانند از وفر شسته شوند. این رویکرد مناسب است و هنگام حذف فوتورزا، وفر را محافظت می‌کند.

استفاده از پلاسما واکنش‌گرا برای استخراج فوتورزا

درمان سطح با پلاسما ابزار بسیار قدرتمندی است که به ما کمک می‌کند تا حتی سخت‌ترین فوتورزاها را از وفر حذف کنیم. پلاسما خود به خود شگفت‌انگیز است، اما جالب‌ترین بخش این است که می‌توانیم آن را به عامل انتخابی بسیار بالا تبدیل کنیم. به این معنا که می‌تواند تنظیم شود تا فقط به صورت خاص با فوتورزا واکنش نشان دهد، نه با مواد دیگر زیر آن.

برای مثال: اگر الگویی روی صفحه داریم که فلز زیر فتورزاست قرار دارد، می‌توانیم نوعی پلاسما استفاده کنیم که فقط با فتورزاست واکنش نشان می‌دهد. بنابراین، می‌توانیم فتورزاست را بدون آسیب به فلز زیرین حذف کنیم. حال این موضوع بسیار حیاتی است، چرا که نیاز داریم تمام بخش‌های صفحه در طول فرآیند سالم بمانند.

تکنیک پلاسما برای حذف فتورزاست

میندر هایتک از تکنولوژی پلاسما جدید در حذف فتورزاست از صفحات خود استفاده می‌کند. این کار ما را قادر می‌سازد تا میکروالکترونیک‌های بدون خطایی با کیفیت بالا تولید کنیم.

سریع، قابل تنظیم به نیاز شما. سیستم‌های ما طراحی شده‌اند تا به طور Seamlessly در فرآیند کار شما ادغام شوند. این بدان معناست که ما قادریم فتورزاست را در زمان کوتاهی حذف کنیم. و چون ما سریع عمل می‌کنیم، نیاز کامل مشتریان خود را برآورده می‌کنیم و محصولات عالی را دقیقاً هنگامی که نیاز دارند تحویل می‌دهیم.

اما سیستم‌های پلاسما ما علاوه بر کارایی، بسیار دقیق هستند. این دقت به ما امکان می‌دهد تا تنها خود فوتورزیست را حذف کنیم. فناوری ما جلوگیری از آسیب‌رسیدن تمام قسمت‌های دیگر صفحه نیمه‌رسانا را تضمین می‌کند و ما نمی‌توانیم اجازه دهیم این اتفاق بیفتد. این رویکرد سیستماتیک برای کیفیت نیمه‌رساناهایی که ما در آنجا تولید می‌کنیم، بیشتر از پیش ضروری است.

حذف فوتورزیست توسط پلاسما در نیمه‌رساناها

پس، به طور خلاصه، پلاسما یک نیروی فوق‌العاده است که به ما اجازه می‌دهد تا برخی از فوتورزست را با شیوه‌ای بسیار کارآمد از سطح وفر برداریم. ما در میندر هایتک، جدیدترین و بهترین فناوری پلاسما را برای تولید میکروچیپ‌های بدون عیب به کار می‌بریم. وقتی به سیستم‌های پلاسما می‌گوییم، راه‌حل‌های ما برای تعادل دادن سرعت با دقت طراحی شده‌اند، همچنان که همچنان کارآمد باشند. این به معنای توانایی برآوردن نیازهای مشتریان ما و همچنین تحویل محصولات کیفیت بالا بدون شکستن است. این کار بهبود فرآیند میکروچیپ‌ها را که ما انجام می‌دهیم، تسهیل می‌کند. حذف پلاسما فناوری ایجاد شده که میکروچیپ‌های ما را بهترین حالت ممکن برای تمام نوع دستگاه‌های الکترونیکی قابل اعتماد کند.