Minder-Hightech یک تولید کننده نیمه هادی است. نیمه هادی ها اجزای مهم بسیاری از چیزهایی هستند که زندگی مدرن را می سازند، مانند تلفن های همراه و کامپیوتر. در حال حاضر، چند مرحله برای ایجاد نیمه هادی ها وجود دارد، اما اولین قدم ایجاد یک الگوی روی یک سطح صاف است که به عنوان ویفر شناخته می شود.

برای رندر کردن این الگو، مواد خاصی را روی ویفر می گذاریم. این ماده به عنوان مقاوم در برابر نور شناخته می شود. هنگامی که فتوریست را گذاشتیم، آن را در معرض نور قرار می دهیم. در زیر نور، ناحیه ای از فترزیست سخت شده و محکم می شود. نواحی در سایه نرم باقی می مانند و می توان آنها را پاک کرد.

پس از به دست آوردن الگوی مورد نظر روی ویفر، فتورزیست باید از مناطقی که در آن پردازش های بعدی را انجام خواهیم داد، جدا شود. اینجاست که پاک کننده پلاسما وارد بازی می شود، به معنای واقعی کلمه.

روش های مبتنی بر پلاسما برای حذف نور مقاوم

پلاسما حالتی از گاز است که به دلیل بار الکتریکی زیادی که به آن وارد می شود، دارای سطح انرژی بالایی است. و این گاز فعال شده برای از بین بردن مقاومت نوری روی سطح ویفر بسیار مفید است. از طریق پلاسما، نور مقاوم می‌تواند شکننده شود و تمیز کردن آن بسیار آسان‌تر می‌شود.

ما دو تکنیک مختلف با استفاده از پلاسما برای حذف نور مقاوم داریم: اچ خشک و خاکستر.

حکاکی خشک: در این تکنیک، پلاسمای واقعی که با نور مقاوم در تعامل است. پلاسما در جایی که تماس برقرار می کند با مقاوم کننده نور واکنش می دهد. این واکنش باعث تجزیه نور مقاوم و تبدیل آن به گاز می شود. این ماده گازی می تواند متعاقباً از سطح ویفر پاک شود و در نتیجه نواحی تمیز و در دسترس برای پیشرفت در معرض دید ما قرار می گیرد.

خاکستر کردن - این یک روش متفاوت برای انجام آن است، در این روش از پلاسمای غیر واکنشی برای مقاومت نور استفاده می شود. پلاسما به جای آن، نور مقاوم را به قطعات کوچک و کوچک می‌شکند. سپس این قطعات کوچک را می توان از ویفر شست. این روش مناسب است و از ویفر محافظت می کند و در عین حال مقاومت نوری غیر ضروری را از بین می برد.

استفاده از پلاسمای راکتیو برای جداسازی نور مقاوم

درمان سطح پلاسما ابزار بسیار قدرتمندی است که به ما کمک می‌کند تا سخت‌ترین مقاومت نوری را از ویفر جدا کنیم. پلاسما در نوع خود باورنکردنی است، اما بهترین بخش این است که می توانیم آن را به یک عامل انتخابی فوق العاده تبدیل کنیم. این بدان معناست که می توان آن را طوری تنظیم کرد که فقط با مقاومت نوری واکنش نشان دهد، نه با مواد دیگر زیر آن.

به عنوان مثال: اگر روی ویفر الگویی داشته باشیم که در آن فلز در زیر فترزیست قرار می گیرد، می توانیم از نوعی پلاسما استفاده کنیم که فقط با مقاومت نوری واکنش نشان می دهد. بنابراین، می‌توانیم مقاومت نوری را بدون آسیب رساندن به فلز زیر آن حکاکی کنیم. اکنون، این بسیار حیاتی است زیرا ما به تمام قسمت‌های ویفر برای حفظ یکپارچگی آن در طول فرآیند نیاز داریم.

تکنیک پلاسما برای برداشتن نور مقاوم

Minder-Hightech از فناوری پلاسمای عصر جدید برای جداسازی نور مقاوم از ویفرهای ما استفاده می کند. این به ما امکان می دهد نیمه هادی های بدون خطا بسازیم که کیفیت بالایی دارند.

سریع، قابل تنظیم بر اساس نیازهای شما سیستم های ما به گونه ای طراحی شده اند که به طور یکپارچه در جریان کار شما ادغام شوند. این نشان می‌دهد که ما می‌توانیم به طور خلاصه مقاومت نوری را از بین ببریم. و از آنجایی که ما سریع هستیم، تقاضای کامل مشتریان خود را برآورده می کنیم و در صورت نیاز محصولات عالی را ارائه می دهیم.

اما سیستم های پلاسمایی ما علاوه بر کارایی، بسیار دقیق هستند. چیزی که این دقت در اختیار ما قرار می دهد، توانایی حذف صرفاً خود مقاومت نوری است. فناوری ما از آسیب دیدن سایر قسمت‌های ویفر در اثر فرآیند ما جلوگیری می‌کند و ما نمی‌توانیم این کار را انجام دهیم. این روش روشمند برای کیفیت نیمه هادی هایی که ما در آنجا تولید می کنیم ضروری تر می شود.

حذف فوتوریست القا شده با پلاسما در نیمه هادی ها

بنابراین، به طور خلاصه، پلاسما یک قدرت فوق‌العاده است که ما را قادر می‌سازد تا مقداری مقاوم در برابر نور را به روشی بسیار مؤثر از سطح ویفر جدا کنیم. ما در Minder-Hightech از جدیدترین و بهترین فناوری پلاسما برای تولید نیمه هادی هایی با کیفیتی کاملاً صفر استفاده می کنیم. وقتی صحبت از سیستم‌های پلاسما می‌شود، راه‌حل‌های ما برای متعادل کردن سرعت با دقت و در عین حال بسیار کارآمد ساخته شده‌اند. این بدان معنی است که بتوانیم خواسته های مشتریان خود را برآورده کنیم و همچنین محصولات با کیفیت را بدون شکست ارائه دهیم. این امر می تواند فرآیند نیمه هادی ها را همانطور که استفاده می کنیم بهبود بخشد حذف پلاسما فن آوری که نیمه هادی های ما را تا حد امکان خوب می کند تا انواع دستگاه های الکترونیکی ابزارهای قابل اعتمادی باشند.