Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
دریافت قیمت

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

صفحه اصلی
درباره ما
MH Equipment
راه حل
کاربران خارجی
ویدئو
با ما تماس بگیرید
خانه> تراش وافر
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا
  • فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا

فرآیند تخت‌کاری مکانیکی شیمیایی CMP با دقت بالا

دریافت پیشنهاد رایگان
توضیحات محصول

دقت بالا تجهیزات یکنواخت سازی شیمیایی مکانیکی (CMP)

تجهیزات CMP با دقت بالا با کاربرد همزمان فرسایش شیمیایی و سوسپاندن مکانیکی، حذف مواد زائد روی سطح وافرها را به صورت کارآمد و یکنواخت سازی جهانی در مقیاس نانو انجام می‌دهد.
ماشین پالایش شیمیایی چند منظوره، خصوصاً طراحی شده برای کاربردهای پالایش CMP و پوشش که نیازمند دقت هندسی صریع و کیفیت سطحی بالا هستند، می‌تواند سطحی با سطح Ra در سطح زیر نانومتری به دست آورد.
این دستگاه می‌تواند تلمیش دقیق سطح نانومتری روی قالب‌های انفرادی انجام دهد و همچنین قادر است برای تلمیش صفحات نازک با قطر تا 8 اینچ استفاده شود. علاوه بر این، می‌تواند در کاربردهای غیرمعمول تلمیش مانند تلمیش زیربنهای سخت، آماده‌سازی سطح Epi و بهبود بازیابی چیپ استفاده شود.
برای سازگار کردن ماشین‌های سری CDP با مواد مختلف و نیازهای فرآوری، فنیوندان بر اساس نیازهای فنی کاربران الگوهای تلمیش مناسب را طراحی و سفارشی می‌کنند تا دقیقاً نیازهای فرآیند CMP را برآورده کنند. تصویر سمت چپ برد یک صفحه تکی با قطر 8 اینچ را نشان می‌دهد.
برای تضمین اندازه‌گیری و کنترل دقیق صفحات یا دستگاه‌هایی که روی ماشین‌های CDP تلمیش می‌شوند، ما یک سیستم EPD توسعه داده‌ایم که برنامه گرافیکی اسکن CDP سفارشی طراحی شده آن می‌تواند روی لپتاپ‌ها اجرا شود. این برنامه فرآیند تلمیش را نظارت می‌کند و به صورت گرافیکی نشان می‌دهد و هنگام رسیدن به نقطه پایان خودکار متوقف می‌شود.
جلوگیری از پولیش مفرط. اسکن CDP می‌تواند به عنوان ویژگی امنیتی نیز عمل کند. اگر تغییرات در پارامترهای فرآیند تحت نظارت تشخیص داده شود، اسکن CDP یک هشدار صوتی را فعال خواهد کرد تا جلوگیری از پولیش بیش از حد را تسهیل کند. مثال‌هایی در این زمینه شامل تغییر سرعت حامل از مقدار پیش‌تنظیم آن است. سیستم EPD این وضعیت را تشخیص خواهد داد، زیرا سطح اصطکاک بین پد و ماده پولیش شده به دلیل تغییرات در سرعت حامل تغییر خواهد کرد، که می‌تواند موفقیت طراحی صفحه‌بندی وافر را در معرض خطر قرار دهد. در این نقطه، سیستم EPD قبل از برداشتن دستگاه از سطح پد یا تنظیم خودکار خاموش شدن، یک هشدار صوتی فراهم می‌کند.
سیستم ACP می‌تواند در دامنه وسیعی از کاربردها بهتر استفاده شود، و نمودار نتایج آزمایش فرآیند CMP برای اکسید سیلیکون، مس، نیترید سیلیکون، آلومینیوم-مس، سیلیکون-جرمانیوم و تونگستن را نشان می‌دهد.
نمودار نشان می‌دهد که پس از فرآیند CMP، WTWNU می‌تواند به 2.82% برسد.
درخواست
ترازبندی صفحه سیلیکون
ترازبندی مرکب II-V
平坦化 اکسید
سطح کردن زیربنای ماده فراقرمز
سطح کردن زیربنای سافیر، نیترید گالیوم و کربنید سیلیکون، سطح کردن زیربنای EPI
نمایش کم کردن SOS و صفحات SOI به کمتر از 20 میکرون
برنامه های مهندسی معکوس سلسله مراتبی یا FA
مشخصات
منبع تغذیه
220 ولت 10 آمپر
اندازه وافر
4 اینچ/100 میلی متر
6 اینچ/150 میلی متر
8 اینچ/200 میلی متر
12 اینچ/300 میلی متر
قطر دیسک کاری
520mm، 780mm
سرعت دیسک کاری
0-120rpm
سرعت فیکچر
0-120rpm
فرکانس اسکان فیکچر
0-30spm
فشار پشت وافر
0-150psi
فشار در نقطه مرکزی وافر
0-50psi
زمان تایم شده
0-10 ساعت
کانال تغذیه
≥2
سرعت تغذیه
0-150 میلی لیتر/دقیقه
بسته‌بندی و ارسال
مشخصات شرکت
میندر-هایتک به عنوان نماینده فروش و خدمات در تجهیزات صنعت محصولات الکترونیکی و نیمه رسانا فعالیت می کند. از سال 2014، این شرکت به ارائه راه حل های برتر، قابل اتکا و یکپارچه برای تجهیزات ماشین آلات مشغول بوده است.
پرسش‌های متداول
1. درباره قیمت:
همه قیمت‌های ما رقابتی و قابل مذاکره است. قیمت بستگی به پیکربندی و پیچیدگی سفارشی‌سازی دستگاه شما دارد.

۲. درباره نمونه:
می‌توانیم خدمات تولید نمونه برای شما ارائه دهیم، اما شما ممکن است هزینه‌ای را پرداخت کنید.

3. درباره پرداخت:
پس از تایید برنامه، باید ابتدا وجوه جلوه به ما پرداخت کنید و کارخانه شروع به آماده‌سازی کالا می‌کند. پس از آماده شدن تجهیزات و پرداخت بقیه وجه، ما آن را ارسال خواهیم کرد.
تجهیزات آماده شده و بعد از پرداخت بقیه، ارسال آن انجام خواهد شد.

4. درباره ارسال:
پس از تکمیل تولید تجهیزات، ما فیلم پذیرش را به شما ارسال خواهیم کرد و شما هم می‌توانید به مکان حضور پیدا کرده و تجهیزات را بررسی کنید.

5. نصب و تنظیم:
پس از رسیدن تجهیزات به کارخانه شما، می‌توانیم مهندسان را برای نصب و تنظیم تجهیزات اعزام کنیم. ما برای این هزینه خدمات گزارش قیمت جداگانه ارائه خواهیم داد.

6. درباره گارانتی:
تجهیزات ما دوره ضمانت ۱۲ ماهه دارند. پس از پایان دوره ضمانت، اگر هر قطعه‌ای آسیب ببیند و نیاز به جایگزینی داشته باشد، فقط هزینه قیمت قطعه را شارژ خواهیم کرد.

محصولات بیشتر

استعلام

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

سیاست حریم خصوصی

استعلام Email واتساپ Top
×

با ما در تماس باشید