MDLB-MC200 دستگاه تمیزکننده فوتو ماسک

نه

پروژه

مشخصات

ملاحظات

1

چشم انداز تجهیزات

نام دستگاه: تمیزکاری فوتوماسک

مدل تجهیزات: MDLB-MC200

ابعاد کلی (تقریباً): 1300mm (پ) * 1000mm (عمق) * 1950mm (بلندی)

وزن کل ماشین (تقریباً): 300 کیلوگرم

ارتفاع میز عملیات: 900 ± 50mm

مشخصات اندازه زیرباز: مناسب برای ماسک‌های مربعی اندازه 2/4/5/6/8 اینچ

جریان فرآیند: قرار دادن وافر دستی → تمیزکاری (فرش، محلول تمیزکاری → آب فشار بالا → آب مگاسونیک → آب غیریونیزه شده → خشک کردن با گاز نیتروژن) → برداشتن وافر دستی

نوع تجهیزات: نیمه خودکار، بارگذاری و خالی کردن دستی

2

ساختار تجهیزات

قاب: فولاد راست نشین، هموار، مقاوم به خوردگی، آسان برای تمیز کردن

اتاق تمیزکاری: PP، هموار، مقاوم به خوردگی، آسان برای تمیز کردن

لوله‌کشی: از لوله‌های PU/PFA استفاده می‌شود

نور کاری: چراغ نور زرد ضد خوردگی

Стиль گشودن در: دو در با قابلیت هشدار گشودن در

پنل لمسی: پنل لمسی رنگی 10 اینچ * 1

FFU: کلاس 100

پشتیبانی پایه جلوگیری از رشح: موجود

3

موتور سرو با دقت بالا

تعداد: 1

سرعت: -3000~3000 دور در دقیقه

بی حمله

بیشترین شتاب چرخش محور: 3000دور در ثانیه

بی حمله

دقت سرعت: ± 1دور در دقیقه (50دور در دقیقه تا 3000دور در دقیقه)

قرارداد سرعت: 1دور در دقیقه

4

بازوی اسکان خودکار

تعداد: 3

سرعت بازوی اسکان: 1~30 درجه در ثانیه

5

یکه تمیزکاری

دسته تمیزکاری: یک کانال آب دی ایونیزه، یک کانال گاز نیتروژن

دسته مگا صوتی: یک مگا صوتی، یک آب فشار بالا

دسته بروش: یک بروش، یک آب، یک محلول تمیزکننده

روش تمیزکاری: تمیزکاری خودکار

عملکرد شیر آب دی ایونیزه: موجود

شویش معکوس (آب دی ایونیزه): یک مسیر

روش تأمین: محلول تمیزکننده: پمپ دیافراگم

آب دی ایونیزه: توسط کارخانه به صورت مستقیم تأمین می‌شود

تانک فشار با تشخیص سطح مایع

6

چرخ چرخ

تعداد: ۱ (با تابع خودپاکی)

سرعت: تا ۱۰۰۰ دور در دقیقه، سرعت قابل تنظیم

ارتفاع به صورت دستی قابل تنظیم

7

لوازم بارگیری

تعداد: ۵

مواد: PPS + فولاد ریزش ناپذیر

اندازه: مناسب برای ماسک‌های مربعی اندازه ۲/۴/۵/۶/۸ اینچ

روش ثابت کردن زیربنا: روش جاسازی با شاخک

8

سیستم کنترل

سیستم کنترل: استفاده از کنترل PLC

برنامه: ۱۰۰ گروه، هر گروه شامل ۱۰۰ مرحله، با حداکثر زمان ۳۰۰۰٫۰ ثانیه برای هر مرحله

دقت: ۰٫۱S

برنامه می‌تواند ذخیره، فراخوانی، ویرایش و حذف شود

تنظیم مجوزهای رمزگذاری: برای عملیاتگران دستگاه، فنی‌کاران، مدیران و سازندگان به ترتیب

نوع سیگنال تور: سه رنگ قرمز، زرد، سبز