|
اندازه وافر
|
4”~ 8” صفحه نازک
|
|
ضخامت صفحه نازک
|
100~750 میکرون
|
|
نوع صفحه نازک
|
سیلیکون، سیلیکون کربنید، گالیم نیترید یا مواد دیگر
|
|
نوع فیلم
|
فیلم آبی، فیلم اچ‌وی
عرض: ۲۳۰ ~ ۳۰۰ میلی‌متر طول: ۱۰۰ متر ضخامت: ۰٫۰۵ ~ ۰٫۲ میلی‌متر |
|
حلقه حامل وفر
|
۶ اینچ، ۸ اینچ دیسکو
|
|
روش بارگذاری و خالی کردن
|
قرار دادن و حذف دستی وفر/حلقه حامل
|
|
دقت موقعیت یابی فیلم
|
±0.5mm
پلیت استاندارد 6 اینچ و 8 اینچ برای وافرهاي 6 اينچ و 8 اينچ |
|
پمپ خلاء
|
Minder-Hightech
|
|
کنترل ضد استاتیک
|
بادکش دی ایونیزاسیون
|
|
واحد کنترل
|
مبتنی بر کنترل PLC، با صفحه نمایش لمسی 10 اینچ
|
|
محافظت از ایمنی
|
با پرده نوری جهت محافظت و دکمه توقف اضطراری مجهز شده است
|
|
ولتاژ تامین کننده قدرت
|
یک فاز AC 220V، 16A
|
|
هوا فشرده
|
0.45~0.6MPa، دبی 70L/دقیقه
|
|
جعبه ماشین
|
کف کنترل با جوشکاری پلاستیکی رنگ سفید
|
|
حجم
|
850 میلی متر (عرض) * 1750 میلی متر (عمق) * 1970 میلی متر (ارتفاع)
|
|
وزن خالص
|
480کیلوگرم
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
