Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

صفحه اصلی
درباره ما
MH Equipment
راه حل
کاربران خارجی
ویدئو
با ما تماس بگیرید
خانه> محاذا کننده ماسک
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی
  • دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی

دستگاه هم‌چینی فتولیتوگرافی

توضیحات محصولات
ماشین لیتوگرافی محاذات کننده ماسک
محاذات کننده ماسک اصلی برای استفاده در توسعه و تولید دایره‌های مجتمع کوچک و متوسط، مولفه‌های نیمه رسانا، دستگاه‌های نورالکتریکی، دستگاه‌های صدا روی سطح، مدارهای فیلم نازک و دستگاه‌های الکترونیک قدرتمند
دستگاه هم‌چینی ماسک که به نام‌های دیگری نظیر ماشین هم‌چینی و عرضه ماسک، سیستم عرضه، سیستم لیتوگرافی و غیره شناخته می‌شود، تجهیزات اصلی برای تولید چیپ‌هاست. از فناوری مشابه چاپ عکس برای چاپ الگوهای ریز موجود روی ماسک به روی صفحه سیلیکون با استفاده از نور استفاده می‌کند.
تشکیل شده از: میز کار دقیق، میکروسکوپ عمودی با دید جدا شده دوچشمی، میکروسکوپ افقی با دید جدا شده دوچشمی، دوربین رقمی، سیستم حافظه تصویر کامپیوتری، سر عرضه چندنقطه‌ای (چشم پرنده) با منبع نور، سیستم کنترل PLC، سیستم هوای فشاری، سیستم خلاء، مخمد خلاء مستقیم‌الSpo، میز کار ضد ارتعاش دومرحله‌ای و جعبه ابزار.
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
ویژگی
1. سر عرضه چشم پرنده با یکنواختی بالا / مکانیسم تعادل شناور هوا / عرضه هم‌چینی قابل اتکا با قدرت تفکیک بالا.
2. روش هم‌چینی با نگهداری ماسک و تغذیه پایه، که هماهنگی ثقل راهنما و نیرو را تضمین می‌کند.
3. استفاده از راهنمای مستقیم بدون فاصله، دقت بالا، سرعت بالا.
4. تمام مدل‌ها مناسب برای کار با تمام فتورزست‌های استاندارد هستند. مانند AZ، Shipley، SU 8.
5. در تمام مدل‌ها، کیفیت الگوی منتقل‌شده توسط سیستم به زیربنا پس از 5 بار استفاده از ماسک باید همانند کیفیت الگوی بعد از استفاده از ماسک اول باشد.
6. زمان نوردهی بین 1 ثانیه تا 1 ساعت قابل تنظیم است. دقت هماهنگی 1 میکرون
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
مشخصات
مدل
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31

MD-G33



نوع نوردهی
یک سمت

هماهنگی و نوردهی دوطرفه



حالت نوردهی
ارتباط سخت، نرم و غیر مخابراتی نزدیکی




تعداد سر نوردهی
۱ سر نوردهی

۲ سر نوردهی



نوع منبع نور
لامپ کروی مERCری GCQ350



سر نوردهی UV LED

روش خنک‌سازی
سیستم خنک کننده هوا




منطقه نوردهی
Φ100میلیمتر
۱۱۰×۱۱۰میلیمتر
Φ100میلیمتر

۱۵۰میلیمتر×۱۵۰میلیمتر



حالت نوردهی
سازگار با لنزهای مخملی سخت، نرم




ناهمواری نورپردازی
Φ100mm<±3%<>
≤±3%




قرار گرفتن نورپردازی
2μm
1 میکرون




شدت پرتو (365 نانومتر)
≥6mw/cm²
≤40mw/cm2
≥5mw/cm2

0~30mw/cm2



ناهمگونی پرتو
≤±4%
≤±3%




بیشترین زاویه انحراف نور UV




محدوده ی روشنایی
≤Φ117mm
Φ117mm
≤Φ117mm

جلو و عقب ≥ Φ115mm



حالت جبران خطا در مثلث
جبران خودکار کروی

حذف خودکار

جبران خودکار سه گانه


محدوده حرکت محورهای X و Y
±4mm
±5mm
±4mm

±5 mm



محدوده حرکت θ
±3°
≤5°
≤±5º

≤0.5°



دقت قطعه‌گیری زیربنای XYZ
0.5µm
0.3µm
0.3µm

0.01µm



سیستم میکروسکوپ
دو میکروسکوپ تک دهانه ای / دو دوربین CCD




اندازه نمایش
15 اینچ




رزولوشن سیستم تصویربرداری
2µm
1.5µm
1.5µm

1.5µm



فاصله اندازه گیری ماسک و زیربنای
0.5 میکرون
0.3 میکرون




ابعاد قطری سطح هدف CCD
1/3، (6 میلیمتر)



40 میلیمتر تا 110 میلیمتر

اندازه جدول تنظیم
≤ مربع 5*5 اینچ (مشخصات قابل سفارش)




اندازه پایه‌ها
Φ 100 میلیمتر یا مربع 100*100 میلیمتر
مربع 60*49.5 میلیمتر
2-4 اینچ

1"x1"-5"x5"



ضخامت زیربنا
1-3mm
≤5 میلیمتر
1-3mm

≤5 میلیمتر



پمپ خلاء
هوا بدون روغن صامت (-0.07 تا -0.08 MPa)




هوا فشرده تمیز
≥0.4 MPa




منبع تغذیه
AC 220V±10% 50HZ 1.5KW




سطح اتاق تمیز
کلاس 100




دماي اتاق پاک
25℃±2℃




رطوبت نسبی اتاق پاک
≤60%




امplitude ارتعاش اتاق پاک
≤4μm




اندازه تجهیزات
1300 ×720×1600mm


1500 ×800×1600mm


وزن تجهیزات
۲۰۰کیلوگرم


280KG


ساخت سیستم همراستایی با دقت بالا نیاز به فرآیند مکانیکی تقریباً کامل دارد. یکی دیگر از مشکلات فنی سیستم همراستایی، میکروسکوپ همراستایی است. برای افزایش زمینه بینایی میکروسکوپ، بسیاری از ماشین‌های لیتوگرافی درجه بالا از نورپردازی LED استفاده می‌کنند. دو مجموعه از سیستم همراستایی با قابلیت تمرکز وجود دارد. این سیستم عمدتاً از دو چشم و دو زمینه بینایی تشکیل شده است که به سمت بدنه میکروسکوپ هدایت می‌شوند، یک جفت لنز چشمی و یک جفت لنز ابجکتیو (معمولاً ماشین لیتوگرافی لنز چشمی و ابجکتیو با اندازه بزرگی مختلف را برای کاربران ارائه می‌دهد). تابع سیستم همراستایی CCD، بزرگنمایی نشانه‌های همراستایی روی ماسک و نمونه و تصویرسازی آنها روی نمایشگر است.
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
مرحله قطع کاری بخش کلیدی ماشین لیتوگرافی است که از مجموعه حرکت کلی نمونه و ماسک (XY)، مجموعه حرکت نسبی نمونه و ماسک (XY)، مرحله چرخش، مکانیسم ترازبندی نمونه، مکانیسم تمرکز نمونه، مرحله وافر، گیرنده ماسک و مرحله خروج ماسک تشکیل شده است. مکانیسم ترازبندی نمونه شامل صندلی کره‌ای و نیم‌کره است. در فرآیند ترازبندی، ابتدا هوا تحت فشار به صندلی کره‌ای و نیم‌کره اعمال می‌شود، سپس صندلی کره‌ای، نیم‌کره و قطعه نمونه از طریق چرخ تمرکز به سمت بالا حرکت می‌کنند تا نمونه مقابل ماسک تراز شود، سپس دو موقعیت سه راهه مغناطیسی کهنه‌کننده صندلی کره‌ای و نیم‌کره را به حالت شفط تغییر می‌دهد تا قفل شوند و حالت ترازبندی را حفظ کنند.
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory



میندر-هایتک به شما فناوری پیشرفته‌ای برای فوتولیتوگرافی از طریق دستگاه هم‌프로그رایی (Aligner/Alignment Machine) ارائه می‌دهد.

 

آیا در پرینت کردن مدارها روی محصولات الکترونیکی خود با دقت کافی مشکل دارید؟ با ماشین چیدمان (Aligner/Alignment Machine) از میندر هایتک، مطمئن باشید که در تولید مدارهای چاپی خود دقت سطح بالایی به دست خواهید آورد.

 

با این محصول انقلابی، می‌توانید تصویر با کیفیت بالا را به روش فتو لیتوگرافی به صورت نامعوب بر روی محصول منتقل کنید. این ماشین دقت را از طریق سیستم عملیاتی چیدمان مواد به تصویر تضمین می‌کند.

 

پس از چاپ و بارگذاری تصاویر، ماشین مقدار نورپردازی مورد نیاز و نحوه چیدمان مواد نسبت به تصاویر را محاسبه می‌کند. این محاسبه با استفاده از نرم‌افزارهای کامپیوتری جدید انجام می‌شود که قابل بروزرسانی است تا با توسعه فناوری در صنعت تولید هماهنگ شود.

 

این امکان را خواهد داد تا شما بتوانید طیف گسترده‌ای از محصولات، از جمله میکروسرکیت‌ها، مدارهای رادیو فرکانس (RF) و مدارهای درونی ساخته شود. این واحد می‌تواند بهترین عمق هاله، عرض ردیف و هم‌چینش لایه به لایه را از طریق افزودن مختلف‌ترین فرآیندهای مکمل، مانند هاله‌زنی شیمیایی و الکتروپلاتینگ، تولید کند.

 

نکته قوت محصول ما در توانایی آن برای تولید هم‌چینش بالا قرار دارد، که اطمینان می‌دهد الگوها با دقت زیاد روی ماده قرار گرفته‌اند. شما می‌توانید طراحی‌های پیچیده زیادی را بدون هیچ انواع تحریف پرینت کنید.

 

این دستگاه کاربردی، فشرده و کارآمد است، که آن را مناسب برای ابزارهای تولید مختلف یا اندازه شرکت‌های مختلف می‌کند. علاوه بر این، دستگاه ما همراه با نگهداری دستی و آموزش در محل توسط تیم پشتیبانی فنی ما است.

 

دستگاه هم‌مرکز‌سازی/هم‌چینش میندر-هایتک از فناوری فتولیتوگرافی استفاده می‌کند تا به شما کمک کند نتایج بهتری را در حین چاپ مدارها خود دستیاب شوید. تجربه سطح جدیدی از فناوری را که دقت و دقت بالایی را ارائه می‌دهد، که قابل مقایسه با روش‌های چاپ سنتی نیست، کنید. دستگاه هم‌مرکز‌سازی/هم‌چینش میندر-هایتک آنچه است که شرکت تولیدی شما نیاز دارد تا یک گام پیش از رقیب بماند. امروز با ما تماس بگیرید تا از مزایای بهترین فناوری دستگاه هم‌مرکز‌سازی/هم‌چینش در بازار لذت ببرید.


استعلام

استعلام Email واتساپ Top
×

با ما در تماس باشید