Aligner /Alignment Machine Photolithography , China Aligner / Alignment Photolithography Machine تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

دستگاه لیتوگرافی Mask Aligner

Mask Aligner عمدتا در توسعه و تولید مدارهای مجتمع در مقیاس کوچک و متوسط، قطعات نیمه هادی، دستگاه های الکترونیک نوری، دستگاه های موج صوتی سطحی، مدارهای فیلم نازک و دستگاه های الکترونیکی قدرت استفاده می شود.
Mask Aligner همچنین به عنوان: دستگاه نوردهی ماسک، سیستم نوردهی، سیستم لیتوگرافی و غیره شناخته می شود، تجهیزات اصلی برای تولید تراشه ها است. از فناوری مشابه چاپ عکس برای چاپ الگوهای ظریف روی ماسک بر روی ویفر سیلیکونی با قرار گرفتن در معرض نور استفاده می کند.
عمدتاً متشکل از: میز کار با دقت بالا، میکروسکوپ عمودی میدان دید جدا شده دوچشمی، میکروسکوپ افقی میدان دید جدا شده دوچشمی، دوربین دیجیتال، سیستم حافظه تصویربرداری کامپیوتری، سر نوردهی منبع نور چند نقطه ای (چشم پرواز)، سیستم کنترل PLC، سیستم پنوماتیک، سیستم خلاء، پمپ خلاء متصل مستقیم، میز کار ضد لرزش ثانویه و جعبه لوازم جانبی

Aligner / Alignment Machine ساخت فتولیتوگرافی

Aligner / Alignment Machine Photolithography کارخانه

مشخصه

1. یکنواختی بالا قرار گرفتن در معرض سر مگس چشم / مکانیسم صاف کردن شناور هوا / قرار گرفتن در معرض خلاء گیره قابل اعتماد. وضوح بالا
2. روش تراز کردن با ماسک، تغذیه بستر را پایدار نگه می دارد، که از قوام گرانش راهنما و نیرو اطمینان حاصل می کند.
3. استفاده از راهنمای مستقیم بدون شکاف، دقت بالا، سرعت سریع.
4. همه مدل مناسب برای کار با تمام فوتوریست های استاندارد. مانند AZ، Shipley، SU 8.
5. همه مدل کیفیت الگوی انتقال یافته توسط سیستم به زیرلایه 5 کاربرد ماسک باید با کیفیت الگوی پس از اعمال اولین ماسک یکسان باشد.
6. زمان نوردهی قابل تنظیم بین 1 ثانیه و 1 ساعت. دقت تراز 1 میکرومتر

تامین کننده فتولیتوگرافی Aligner / Alignment Machine

جزئیات فوتولیتوگرافی Aligner / Alignment Machine

مشخصات

مدل	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
نوع نوردهی	یک طرف			تراز دو طرفه و نوردهی دو طرفه
حالت نوردهی	تماس با مجاورت سخت، نرم و بدون تماس
مقدار سر نوردهی	1 سر نوردهی			2 سر نوردهی
نوع منبع نور	لامپ جیوه کروی GCQ350						سر قرار گرفتن در معرض اشعه ماوراء بنفش LED
روش های خنک کننده	خنک کننده با هوا
ناحیه نوردهی	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
حالت نوردهی	سازگار با تماس سخت، نرم
ناهمواری نوردهی	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3٪
وضوح نوردهی	2 میکرون	1 μm
شدت پرتو (365 نانومتر)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0 تا 30 میلی‌وات بر سانتی‌متر مربع
ناهمگنی پرتو	≤ ± 4٪	≤ ± 3٪
حداکثر زاویه انحراف نور UV	4 درجه	3 درجه
محدوده نور	≤Φ117 میلی متر	Φ117mm	≤Φ117 میلی متر		جلو و عقب ≥ Φ115mm
حالت جبران خطای گوه	جبران خودکار نیمکره ای			حذف خودکار		3 امتیاز جبران خودکار
حرکت محورهای X و Y	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 میلیمتر
سفر θ	± 3 °	≤5 درجه	≤±5º		≤0.5 درجه
وضوح جابجایی بستر XYZ	0.5μm	0.3μm	0.3μm		0.01μm
سیستم میکروسکوپ	دو میکروسکوپ تک بشکه / دو دوربین CCD
اندازه صفحه نمایش	اینچ 15
وضوح سیستم تصویربرداری	2μm	1.5μm	1.5μm		1.5μm
فاصله اندازه گیری ماسک و بستر	0.5 μm	0.3 μm
بعد مورب سطح هدف CCD	1/3، (6 میلی متر)						40 میلی متر تا 110 میلی متر
تنظیم اندازه جدول	≤ مربع 5*5 اینچ (مشخصات قابل تنظیم)
اندازه بسترها	Φ 100mm یا 100*100mm مربع	مربع 60*49.5 میلی متر	2 "-4"		1"x1"-5"x5"
ضخامت بستر	1-3mm	≤5 میلی متر	1-3mm		≤5 میلی متر
پمپ خلاuum	Oil free mute (-0.07-~0.08MPa)
هوای فشرده تمیز	≥0.4MPa
منبع تغذیه	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
درجه اتاق تمیز	کلاس 100
دمای اتاق را تمیز کنید	℃ 25 ± 2
رطوبت نسبی اتاق تمیز	≤60٪
دامنه ارتعاش اتاق تمیز	μ4μm
اندازه تجهیزات	1300 × 720 × 1600 میلی متر				1500 × 800 × 1600 میلی متر
وزن تجهیزات	200kg				280kg

ساخت سیستم تراز با دقت بالا نیاز به فرآیند مکانیکی دقیق تقریباً کامل دارد. یکی دیگر از مشکلات فنی سیستم تراز، میکروسکوپ تراز است. به منظور افزایش میدان دید میکروسکوپ، بسیاری از دستگاه های لیتوگرافی پیشرفته از نور LED استفاده می کنند. دو مجموعه از سیستم تراز با عملکرد فوکوس وجود دارد. عمدتاً از دو چشم و دو میدان دید با هدف قرار دادن بدنه اصلی میکروسکوپ، یک جفت چشمی و یک جفت عدسی شیئی تشکیل شده است (دستگاه لیتوگرافی معمولاً عدسی چشمی و شیئی را با بزرگنمایی متفاوت در اختیار کاربران قرار می دهد). عملکرد سیستم تراز CCD بزرگ کردن علائم تراز ماسک و نمونه برداری و تصویربرداری از آنها بر روی مانیتور است.

مرحله قطعه کار بخش کلیدی دستگاه لیتوگرافی است که از مرحله حرکت کلی نمونه ماسک (XY)، مرحله حرکت نسبی نمونه ماسک (XY)، مرحله چرخش، مکانیسم تراز کردن نمونه، مکانیسم تمرکز نمونه تشکیل شده است. ، مرحله ویفر، گیره ماسک و مرحله ماسک بیرون کش. مکانیسم تسطیح نمونه شامل یک صندلی توپ و یک نیمکره است. در فرآیند تراز کردن، ابتدا هوای فشار بر روی صندلی توپ و نیمکره اعمال می شود و سپس صندلی توپ، نیمکره و قطعه نمونه از طریق چرخ دستی فوکوس به سمت بالا حرکت می کنند، به طوری که قطعه نمونه می تواند با ماسک تراز شود و سپس شیر برقی سه طرفه دو حالته، نشیمنگاه توپ و نیمکره را برای قفل شدن برای حفظ حالت تراز به خلاء سوئیچ می کند.

Minder-Hightech یک فناوری پیشرفته برای فوتولیتوگرافی از طریق Aligner/Alignment Machine به شما ارائه می کند.

آیا هنگام چاپ مدارهای روی محصولات الکترونیکی خود با دقت کافی دست و پنجه نرم می کنید؟ با ماشین تراز/تراز Minder-Hightech، می‌توانید با دانستن این نکته که در تولید مدارهای چاپی خود به دقت سطح بالایی دست خواهید یافت، استراحت کنید.

با استفاده از این آیتم انقلابی، می توانید یک تصویر با وضوح بالا را با استفاده از فوتولیتوگرافی به یک محصول منتقل کنید. این دستگاه دقت را از طریق یک سیستم عملیاتی تراز کردن مواد با تصویر تضمین می کند.

پس از چاپ و آپلود تصاویر، دستگاه میزان نوردهی مورد نیاز و نحوه تراز شدن مواد را با ذکر تصاویر محاسبه می کند. این محاسبات با استفاده از جدیدترین نرم افزارهای کامپیوتری قابل به روز رسانی برای مطابقت با پیشرفت تکنولوژی در صنعت تولید انجام می شود.

این به شما امکان می دهد طیف گسترده ای از جمله ریز مدارها، مدارهای فرکانس رادیویی (RF) و مدارهای داخلی را بسازید. این واحد می‌تواند بهترین عمق اچ، عرض مسیر و تراز لایه به لایه را از طریق افزودن روش‌های مختلف مکمل مانند اچ شیمیایی و آبکاری الکتریکی ایجاد کند.

مزیت محصول ما در توانایی آن برای ایجاد تراز بالا است که تضمین می کند که الگوها با دقت زیادی روی مواد قرار می گیرند. شما می توانید به راحتی بسیاری از طرح های پیچیده را بدون هیچ گونه تغییر شکل چاپ کنید.

کاربر پسند، جمع و جور و کارآمد است که آن را برای امکانات مختلف تولیدی یا اندازه شرکت مناسب می کند. علاوه بر این، دستگاه ما همراه با تعمیر و نگهداری دستی و آموزش در محل با تیم کارکنان پشتیبانی فنی ما ارائه می شود.

ماشین تراز/تراز Minder-Hightech از فناوری فوتولیتوگرافی برای کمک به شما در دستیابی به بهترین نتایج در حین چاپ مدارهای خود استفاده می کند. سطح جدیدی از فناوری را تجربه کنید که دقت و دقت بالایی را به شما ارائه می دهد که با روش های چاپ سنتی قابل مقایسه نیست. Aligner/Alignment Machine Minder-Hightech چیزی است که شرکت تولیدی شما به آن نیاز دارد تا یک قدم جلوتر از رقبا بماند. امروز با ما تماس بگیرید تا از مزایای بهترین فناوری Aligner/Alignment Machine در بازار بهره مند شوید.

صفحه اصلی

درباره‌ ما

تجهیزات MH

راه حل

کاربران خارج از کشور

ویدئو

تماس با ما

فتولیتوگرافی Aligner / Alignment Machine

محصولات بیشتر

دستگاه سیم پیچ خازن سری MD-FS

دستگاه سیم پیچ خازن اتوماتیک سری MD-FDS

دستگاه سیم پیچ خازن سری MD-EFS

ماشین سیم پیچ خازن فیلم سری MD-EDFS

پرس و جو

مقــالات

محصولات

تماس با ما

فتولیتوگرافی Aligner / Alignment Machine

محصولات بیشتر

پرس و جو

مقــالات

محصولات

تماس با ما

با ما در تماس باشید