پولیش مکانیکی شیمیائی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک CMP , چین تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه، گوانگژو Minder-Hightech Co.,Ltd.

توضیحات محصول

ATOM Single Platen CMP

ویژگی های ماشین

این دستگاه انعطاف پذیر است و می تواند چندین سر را پشتیبانی کند.
قابلیت فرآیند این تجهیزات به سطح مدل اصلی محصولات هم اندازه نزدیک است.
سازگاری خوب فرآیند بین دستگاهی.

زمینه های برنامه

پرداخت 4 تا 8 اینچ STI، ILD/IMD، TSV، TGV و پرداخت سطحی ترکیباتی مانند SiC، LT، LN، GaAs و غیره

پارامترهای فنی

هدهای 4 اینچی، 6 اینچی، 8 اینچی، کنترل چند ناحیه ای
نوع صفحه 20 میلی متری Φ508 اینچ
دقت کنترل فشار سر<0.05PSI
دقت کنترل سرعت چرخش سر و صفحه<2RPM

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-53

1. واحد LoadPort

پورت را می توان برگرداند تا کاست را در Qtank غوطه ور کند و از تشکیل کریستال های Slurry روی
سطح صیقلی ویفر. مجهز به عملکرد نقشه برداری کاست.

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-54

2. واحد بازیابی مواد روباتی

مجهز به ربات 4 محوره، می تواند به طور خودکار ویفرها را از کاست به واحد پولیش منتقل کند.

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-55

3. واحد پولیش

این واحد مجهز به پلاتن * 1 ، هد * 1 ، کامپیوتر * می باشد.
1، بازوی دوغاب * 1، HCLU * 1، و نقطه پایانی EPD
تشخیص این می تواند به بارگیری و تخلیه ویفر اتوماتیک، کنترل سر چند منطقه ای، دوغاب دست یابد
تغییر نقطه فرود با تنظیمات دستور غذا، تشخیص نقطه پایانی و سایر عملکردها.

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-56

سر پولیش CMP

سرهای پولیش پیکربندی شده روی این دستگاه همه به طور مستقل توسط شرکت ما توسعه، طراحی و تولید شده اند.
در میان آنها، هد 4 حفره 3 اینچی محصول منحصر به فردی است که توسط شرکت ما ایجاد شده است و شکاف هد 4 اینچی بدون چند حفره در چین را پر می کند. شرکت ما می تواند به سرعت هد را با توجه به ویژگی های محصول مشتری تغییر دهد یا سفارشی کند. در توسعه محصولات لایه نازک TGV (200um)، ساختار داخلی هد برای برآورده کردن الزامات پرداخت لایه نازک اصلاح شد. در طول فرآیند توسعه فناوری پرداخت سطح LN OX، شرکت ما عمیقاً هد 6 اینچی را ارتقا داد و با موفقیت نیازهای محصول مشتری را برآورده کرد.

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-57

اپلیکیشن‌ها

فرآیند پرداخت سنتی IC planarization.

فرآیند TGV/TSV

CMP برش هوشمند و قبل از اتصال

پولیش زیرلایه SIC/ پولیش آرسنید گالیم.

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-58

مشخصات

بندر	تعداد * 1، با کیو تانک
ربات	مقدار * 1، برای انتقال ویفر
HCLU	مقدار * 1، برای بارگیری و تخلیه اتوماتیک ویفر
سر پولیش	مقدار * 13 کنترل حفره، دقت کنترل 0.1PSI، می تواند از 400-1200 عملیات ویفر UM پشتیبانی کند.
سرعت سر پرداخت	5-150RPM
دیسک پرداخت	مقدار * 1 دیسک پولیش اندازه 508 میلی متر، سرعت پد پولیش 10-150 دور در دقیقه.
بازوی پیرایش	تعداد * 1 پد پولیش. پد پولیش را می توان به صورت آنلاین (همزمان) یا آفلاین (پس از پرداخت) پرداخت کرد. پیرایش بازو مجهز به یک شفت پیرایشی است که می تواند چرخش و حرکت به بالا و پایین داشته باشد و سرعت و نیروی رو به پایین را می توان کنترل کرد. را ابزار پیرایش بر روی شفت پیرایش نصب می شود و می تواند به سرعت انجام شود حذف شده است. با توجه به انواع مختلف پد پولیش، انواع مختلف ابزار پانسمان از جمله پانسمان پیکربندی می شود. برس ها، حلقه های الماس و دیسک های الماس.
واحد کنترل فشار هوا سر پولیش UPA	مقدار * 13 Zone قابل تنظیم برای اثر مسطح سطح بهتر
پمپ تامین مایع پولیش	مقدار * 2. پمپ های پریستالتیک برای تامین مایعات استفاده می شود، با 2 پمپ پریستالتیک که برای ارائه پولیش های مختلف پیکربندی شده اند. مایعات به دیسک پولیش هر پمپ را می توان در هر مرحله از فرآیند استفاده کرد.
بازوی دوغاب	مقدار * 1 می تواند نقطه فرود دوغاب را کنترل کند و می تواند پد پولیش را تمیز کند.
سیستم کنترل عملیات می تواند به کنترل سطح کاربر، مانند حالت اپراتور، حالت تعمیر و نگهداری، و حالت فنی و var دست یابد حالت های ious توسط رمزهای عبور کنترل می شوند. نرم افزار سیستم می تواند پارامترهای فرآیند هر مرحله از فرآیند را ویرایش کرده و مسطح کند و طبق برنامه لایه نازک را روی سطح تراشه پولیش دهید. این می تواند وضعیت عملکرد تجهیزات، مانیتور را نظارت کند پارامترهای پردازش در زمان واقعی، و نرم افزار می تواند به طور خودکار داده های مختلف فرآیند را ذخیره کند. مجهز به توقف اضطراری دکمه، برای توقف فوری عملکرد تجهیزات و قطع برق کنترل استفاده می شود.

بسته بندی و تحویل

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-59

پولیش مکانیکی شیمیایی ویفر تک صفحه ای اتوماتیک محصول cmp-60

نمایه شرکت

سوالات متداول

1. درباره قیمت:
همه قیمت های ما رقابتی و قابل مذاکره است. قیمت بسته به پیکربندی و پیچیدگی سفارشی سازی دستگاه شما متفاوت است.

2. درباره نمونه:
ما می توانیم خدمات تولید نمونه را برای شما ارائه دهیم، اما ممکن است هزینه هایی را ارائه دهید.

3. درباره پرداخت:
پس از تایید طرح، ابتدا باید مبلغی را به ما پرداخت کنید و کارخانه شروع به آماده سازی کالا می کند. بعد از
تجهیزات آماده است و شما موجودی را پرداخت کنید، ما آن را ارسال می کنیم.

4. درباره تحویل:
پس از اتمام ساخت تجهیزات، فیلم پذیرش را برای شما ارسال می کنیم و همچنین می توانید برای بررسی تجهیزات به سایت مراجعه کنید.

5. نصب و رفع اشکال:
پس از رسیدن تجهیزات به کارخانه شما، ما می توانیم مهندسان را برای نصب و رفع اشکال تجهیزات اعزام کنیم. برای این هزینه خدمات، قیمت جداگانه ای به شما ارائه خواهیم داد.

6. درباره گارانتی:
تجهیزات ما دارای یک دوره گارانتی 12 ماهه است. پس از اتمام دوره گارانتی، اگر قطعاتی آسیب ببینند و نیاز به تعویض داشته باشند، فقط قیمت تمام شده را دریافت می کنیم.