Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
دریافت قیمت

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

صفحه اصلی
درباره ما
MH Equipment
راه حل
کاربران خارجی
ویدئو
با ما تماس بگیرید
خانه> تراش وافر
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین
  • دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین

دستگاه تلمیش شیمیایی مکانیکی وافر یک پلتین آنلاین

دریافت پیشنهاد رایگان
توضیحات محصول
CMP تک پلت ATOM

ویژگی های ماشین

دستگاه انعطاف‌پذیر است و می‌تواند سردرها را پشتیبانی کند.
توانایی فرآیندی تجهیزات نزدیک به سطح مدل‌های اصلی محصولات هم اندازه است.
سازگاری خوب در فرآیند بین دستگاه‌ها.

زمینه های درخواست

چهار تا هشت اینچ صاف کردن STI، ILD/IMD، TSV، TGV و صاف کردن سطحی ترکیباتی مانند SiC، LT، LN، GaAs، و غیره

پارامترهای فنی

سرهای چهار اینچ، شش اینچ، هشت اینچ، کنترل چند منطقه‌ای
نوع پلت فی ۲۰ اینچ ۵۰۸ میلی‌متر
دقت کنترل فشار سر<۰.۰۵ PSI
دقت کنترل سرعت چرخش سر و پلت<۲ RPM

واحد LoadPort

پورت می‌تواند برگردانده شود تا کاسهت در Qtank غوطه وarrد شود، جلوگیری از تشکیل بلورهای Slurry روی
سطح صاف شده وفر. با تابع Cassette Mapping مجهز است.

واحد گرفتن ماده رباتیک

با یک ربات چهار محور مجهز است، که می‌تواند به طور خودکار وافرها را از کاسهت به واحد صاف کنی منتقل کند.

۳. واحد پولیش

این واحد مجهز به Platen * 1، سر * 1، PC *
۱- بازوی خمیر * ۱- HCLU * ۱- و نقطه پایان EPD
تشخیص می تواند بارگذاری و تخلیه خودکار وافره را به دست آورد، کنترل سر چند منطقه ای، Slurry
تغییر نقطه فرود با تنظیمات دستور العمل، تشخیص نقطه پایان و سایر توابع.
سر پولیشر CMP
تمام سر هاي پوليشر که روي اين دستگاه نصب شده اند، توسط شرکت ما توسعه يافته اند و تصميم گرفته شده اند.
در میان آنها، سر 3 حفره ای 4 اینچی یک محصول منحصر به فرد ایجاد شده توسط شرکت ما است، که شکاف هیچ سر 4 اینچی چند حفره ای در چین را پر می کند. شرکت ما می تواند به سرعت تغییر یا سفارشی کردن سر با توجه به ویژگی های محصول مشتری. در توسعه محصولات TGV فیلم نازک (200um) ، ساختار داخلی سر برای پاسخگویی به نیازهای پولیش فیلم نازک تغییر یافته است. در طول فرآیند توسعه فناوری پولیش سطح LN OX ، شرکت ما به طور عمیق سر 6 اینچی را ارتقا داد و با موفقیت نیازهای محصول مشتری را برآورده کرد.
کاربردها
فرآیند تلمیح و صاف کردن سطحی طرح مدارهای انتگرالی سنتی؛
فرآیند TGV/TSV؛
تلمیح CMP پیش از جوشکاری هوشمند و پیوند؛
تلمیح زیربنای SIC/تلمیح آرسنید گالیم.
مشخصات
بندر
تعداد * 1، با ظرف Q-tank
ربات
تعداد * 1، برای انتقال صفحه‌های دودویی
HCLU
تعداد * 1، برای بارگذاری و خالی کردن خودکار صفحه‌های دودویی
سر تلمیح
تعداد * 13 کنترل حفره، دقت کنترل 0.1PSI، می‌تواند عملیات صفحه‌های 400-1200 UM را پشتیبانی کند.
سرعت سر پولیش کن
5-150RPM
دیسک پولیش
تعداد * 1 دیسک پولیش اندازه 508 میلیمتر، سرعت پاد پولیش 10-150rpm.
بازوی تراش
تعداد * 1 پاد پولیش. پاد پولیش می‌تواند آنلاین (همزمان) یا آفلاین (بعد از پولیش) پولیش شود. تراش
بازو مجهز به محور تراش است که می‌تواند چرخانده و حرکت بالا و پایین کند و سرعت و نیروی فشار قابل کنترل است.
ابزار تراش بر روی محور تراش نصب شده و می‌تواند به سرعت حذف شود.
بر اساس انواع مختلف پاد پولیش، ابزارهای تنظیم مختلفی تنظیم می‌شوند، شامل
فرش‌ها، حلقه‌های الماسی و دیسک‌های الماسی.
یکه کنترل فشار هوا سر پولیش UPA
تعداد * 13 قابل تنظیم برای اثر بهترین تخت شدن سطح
پمپ تأمین مایع پولیش
تعداد * 2. از پمپ‌های پریستالتیک برای تأمین مایع استفاده می‌شود، با 2 پمپ پریستالتیک که برای تحویل مایعات پولیش مختلف تنظیم شده‌اند
به دیسک پولیش. هر پمپ در هر مرحله از فرآیند قابل استفاده است.
بازوی مخملی
تعداد * 1 می‌تواند محل فرود مخمل را کنترل کند و می‌تواند پد پولیش را تمیز کند.
سیستم کنترل عملیاتی می‌تواند کنترل سطح کاربر را انجام دهد، مانند حالت عملیاتی، حالت نگهداری و حالت فنی، و
حالت‌های مختلف توسط رمز عبور کنترل می‌شوند. نرم‌افزار سیستم می‌تواند پارامترهای فرآیند هر مرحله از فرآیند را ویرایش کند و فلات و
پولیش فیلم نازک روی سطح چیپ را بر اساس برنامه اجرا کند. می‌تواند وضعیت عملیاتی تجهیزات را نظارت کند، نظارت
پارامترهای فرآیند را در حالت زمان واقعی پردازش می‌کند و نرم‌افزار می‌تواند به طور خودکار داده‌های مختلف فرآیند را ذخیره کند. با یک دکمه ایستگاه اضطراری مجهز شده است،
که برای متوقف کردن فوری عملکرد تجهیزات و قطع توان کنترل استفاده می‌شود.
بسته‌بندی و ارسال
مشخصات شرکت
پرسش‌های متداول
1. درباره قیمت:
همه قیمت‌های ما رقابتی و قابل مذاکره است. قیمت بستگی به پیکربندی و پیچیدگی سفارشی‌سازی دستگاه شما دارد.

۲. درباره نمونه:
می‌توانیم خدمات تولید نمونه برای شما ارائه دهیم، اما شما ممکن است هزینه‌ای را پرداخت کنید.

3. درباره پرداخت:
پس از تایید برنامه، باید ابتدا وجوه جلوه به ما پرداخت کنید و کارخانه شروع به آماده‌سازی کالا می‌کند. پس از آماده شدن تجهیزات و پرداخت بقیه وجه، ما آن را ارسال خواهیم کرد.
تجهیزات آماده شده و بعد از پرداخت بقیه، ارسال آن انجام خواهد شد.

4. درباره ارسال:
پس از تکمیل تولید تجهیزات، ما فیلم پذیرش را به شما ارسال خواهیم کرد و شما هم می‌توانید به مکان حضور پیدا کرده و تجهیزات را بررسی کنید.

5. نصب و تنظیم:
پس از رسیدن تجهیزات به کارخانه شما، می‌توانیم مهندسان را برای نصب و تنظیم تجهیزات اعزام کنیم. ما برای این هزینه خدمات گزارش قیمت جداگانه ارائه خواهیم داد.

6. درباره گارانتی:
تجهیزات ما دوره ضمانت ۱۲ ماهه دارند. پس از پایان دوره ضمانت، اگر هر قطعه‌ای آسیب ببیند و نیاز به جایگزینی داشته باشد، فقط هزینه قیمت قطعه را شارژ خواهیم کرد.

محصولات بیشتر

استعلام

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

سیاست حریم خصوصی

استعلام Email واتساپ Top
×

با ما در تماس باشید