سبک ساختاری |
افقي، سیستم تک-لوله یا چند-لوله با کنترل خودکار |
پیشنهاد به اندازه صفحه |
2-8" |
روش تحویل و بازیابی صفحه |
قایقران کوئارتس اتوماتیک با سیستم مینوس، ترکیبی از گرفتن و رها کردن دستی چیپ. |
حداکثر دما |
1050℃ |
دمای کاری |
400 ℃ تا 850 ℃ قابل تنظیم پیوسته |
ثبات دما در یک نقطه |
400℃ تا 850℃ ≤ ±0.5℃/24h |
حالت حداقل خالی |
بهتر از 1Pa |
سرعت پمپاژ |
زمان رسیدن به حالت خالی حداقل < 15 دقیقه |
محدوده فشار کاری |
از 5Pa تا 1 × 105Pa قابل تنظیم پیوسته |
منبع تغذیه |
سه فاز پنج سیم 380V±10٪، 50Hz |
آب سردکننده |
2~4 کیلوگرم نیرو/cm²، 8 لیتر/دقیقه; |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved