مدل |
MDTS-WT2200 |
تعداد محورهای نازک شدن |
2 |
تعداد میز کار |
3، روش شاخص |
دوک چرخ سنگ زنی |
تعداد دوک های هوا: 2 موتور اسپیندل: موتور با فرکانس متغیر 7.5 کیلو وات سرعت: 0 ~ 6000 دور در دقیقه، بدون گام قابل تنظیم مشخصات چرخ سنگ زنی: Φ203 میلی متر نوع چرخ سنگ زنی: چرخ سنگ زنی الماس |
سیستم تغذیه چرخ سنگ زنی |
تعداد: 2 ست روش کنترل سیستم تغذیه: ریل راهنمای LM و بال اسکرو ترکیب موتور محرک: سروو موتور حداقل سرعت تغذیه: 0.1 میلیمتر در ثانیه حداکثر سرعت تغذیه: 50 میلی متر در ثانیه |
میز کار مکانیکی و نجاری و غیره |
تعداد: 3، حالت شاخص موتور اسپیندل: سروو موتور سرعت: 0 ~ 300 دور در دقیقه، بدون گام قابل تنظیم روش جذب: جذب خلاء |
میز گردان |
حالت درایو: سروو موتور محدوده چرخش: 0 تا 240 درجه شکل موقعیت یابی: موقعیت یابی به کمک سنسور |
ضخامت اتوماتیک سیستم اندازه گیری |
روش اندازه گیری: IPG تماس با اندازه گیری زمان واقعی آنلاین تعداد سرهای اندازه گیری: 2 عدد سنسور اندازه گیری: سنسور سطح 0.1um |
بارگیری خودکار/ سیستم تخلیه |
نوع جعبه: کاست 6-8 اینچی، 25 لایه روش بارگیری/تخلیه خودکار: دستکاری ویفر برای اطمینان از حمل و نقل ویفرهای نازک بدون آسیب استفاده می شود. ضخامت ویفر: 150 تا 1000 میلی متر |
عملکرد تمیز کردن میز کار |
روش تمیز کردن: پرداخت سنگ روغن و شستشوی دو سیال آب + هوا |
تمیز کردن خودکار/ سیستم خشک کردن |
تمیز کردن: تمیز کردن نازل DIW روش خشک کردن: دمیدن + خشک کردن سرعت: حداکثر 1000 دور در دقیقه بدون گام قابل تنظیم |
سیستم حذف استاتیک |
پنکه یون بار orion |
چیلر اسپیندل |
دما: 18-22 درجه سانتی گراد سرعت جریان: 4 تا 8 لیتر در دقیقه |
سیستم کنترل |
سیستم کنترل: سیستم کنترل PC، صفحه نمایش لمسی با نور 3 رنگ زنگ رابط انسان و ماشین چینی/انگلیسی |
حداکثر اندازه ویفر |
حداکثر سازگار با 8 اینچ |
دامنه سرعت |
0 ~ 6000 RPM |
سفر محور Z |
160mm |
سرعت تغذیه محور Z |
0.1 تا 100 میکرومتر بر ثانیه |
سرعت جمع شدن سریع محور Z |
50 میلی متر در ثانیه |
وضوح محور Z |
0.1um |
محدوده اندازه گیری ضخامت آنلاین |
0 ~ 1800um |
وضوح اندازه گیری ضخامت آنلاین |
0.1um |
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است