مدل |
MDTS-WT2200 |
تعداد محورهای نازک کننده |
2 |
تعداد صندلیهای کاری |
3، روش شاخص |
دسته چرخ چرخ زنی |
تعداد سپیده هوا: 2 موتور سپیده: موتور فرکانسپذیر 7.5kW سرعت: 0~6000rpm، قابل تنظیم بدون مرحله مشخصات چرخ سوزنی: Φ203mm نوع چرخ سوزنی: چرخ سوزنی الماسی |
سیستم تغذیه چرخ سوزنی |
تعداد: 2 مجموعه روش کنترل سیستم تغذیه: ریل ناودار LM و پیستون برگردان ترکیبی موتور حرکت دهنده: موتور سرفو حداقل سرعت تغذیه: 0.1 میکرون/ثانیه حداکثر سرعت تغذیه: 50 میلیمتر/ثانیه |
میز کار |
تعداد: 3، حالت اندیسبندی موتور اصلی: موتور سرفو سرعت: 0~300 دور در دقیقه، قابل تنظیم بدون مرحله روش جذب: جذب شوایع |
چرخ دوار میز کار |
نحوهٔ رانش: موتور سرو محدودهٔ چرخش: 0~240° شکل موقعیتیابی: با کمک حسگر موقعیتیابی |
ضخامت خودکار سیستم اندازهگیری |
روش اندازهگیری: اندازهگیری آنلاین متماسی IPG در زمان واقعی تعداد سرها برای اندازهگیری: 2 حسگر اندازهگیری: حسگر سطح 0.1um |
بارگذاری خودکار\ سیستم بارگیری |
نوع جعبه: کسات 6-8 اینچ، 25 لایه روش بارگذاری/خالی کردن خودکار: از مانیپیولاتور استفاده میشود تا اطمینان حاصل شود وافرهای نازک بدون آسیب حمل و نقل میشوند ضخامت وافر: 150um تا 1000um |
تابع تمیز کردن میز کار |
روش تمیز کردن: صقل با اُیلستون و شستشوی دو فاز آب DI + هوا |
تمیز کردن خودکار/ سیستم خشک کردن |
تمیز کردن: تمیز کردن با نوزل آب DIW روش خشک کردن: فشرده کردن + خشک کردن سرعت: قابل تنظیم بیمرحله تا حداکثر 1000 دور در دقیقه |
سیستم حذف برق ایستاده |
بار الکتریکی یونی یا فن اوریون |
ماشین خنککننده چرخه |
دما: 18-22°C نرخ جریان: 4~8 لیتر/دقیقه |
سیستم کنترل |
سیستم کنترل: سیستم کنترل PC، صفحه نمایش لمسی، چراغ هشدار سه رنگی رابط انسان و ماشین چینی/انگلیسی |
بزرگترین اندازه وافر |
سازگاری بیشینه با وافر 8 اینچ |
دامنه سرعت |
0~6000 دور در دقیقه |
سفر محور Z |
۱۶۰ میلیمتر |
سرعت تغذیه محور Z |
0.1~100 میکرون/ثانیه |
سرعت سریع بازگشت محور Z |
50mm/sec |
قرارداد محور Z |
0.1um |
محدوده اندازهگیری ضخامت آنلاین |
0~1800um |
دقت اندازهگیری ضخامت آنلاین |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved