پلاسمای
|
RF
|
RF
|
||
قدرت
|
ICP
|
1000 وات
|
1000 وات
|
|
BIAS
|
600w(اختیاری)
|
600w(اختیاری)
|
||
محدوده کاربرد
|
4~8 اینچ
|
4~8 اینچ
|
||
تعداد تکههای پردازش شده به صورت تکی
|
1
|
2
|
||
ابعاد ظاهری
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
کنترل سیستم
|
سیستم کنترل صنعتی
|
سیستم کنترل صنعتی
|
||
سطح خودکارسازی
|
خودکار
|
خودکار
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved