سیستم اچینگ پلاسما کوپلینگ القایی (ICP) تجهیزات نیمه هادی چین سیستم اچینگ پلاسما کوپلینگ القایی (ICP) تجهیزات نیمه هادی تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

سیستم اچ پلاسما جفت القایی (ICP).

سیستم اچینگ پلاسما جفت القایی (ICP) جزئیات تجهیزات نیمه هادی

تامین کننده تجهیزات نیمه هادی سیستم اچینگ پلاسما جفت القایی (ICP).

سیستم اچینگ پلاسما جفت القایی (ICP) کارخانه تجهیزات نیمه هادی

نتیجه فرآیند

حکاکی کوارتز / سیلیکون / گریتینگ

با استفاده از ماسک BR برای حکاکی مواد کوارتز یا سیلیکون، الگوی آرایه توری نازک ترین خط تا 300 نانومتر را دارد و شیب دیواره جانبی الگو نزدیک به 89 درجه است، که می تواند برای نمایش سه بعدی، دستگاه های میکرو نوری، ارتباطات نوری استفاده شود. و غیره

حکاکی مرکب / نیمه هادی

کنترل دقیق دمای سطح نمونه می تواند به خوبی مورفولوژی اچینگ مواد مبتنی بر GaN، GaAs، InP و فلز را کنترل کند. برای دستگاه های LED آبی، لیزر، ارتباطات نوری و سایر کاربردها مناسب است.

سیستم اچینگ پلاسما جفت القایی (ICP) تولید تجهیزات نیمه هادی

حکاکی مواد مبتنی بر سیلیکون

برای اچ کردن مواد مبتنی بر سیلیکون مانند Si، SiO2 و SiNx مناسب است. می تواند حکاکی خط سیلیکونی بالای 50 نانومتر و حکاکی سوراخ عمیق سیلیکونی زیر 100 میلی متر را درک کند.

مشخصات

پیکربندی پروژه و نمودار ساختار ماشین

مورد	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
اندازه محصول	≤6 اینچ	≤8 اینچ	≤6 اینچ	≤8 اینچ	سفارشی≥12 اینچ
منبع تغذیه SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
منبع تغذیه BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
پمپ مولکولی	غیر خورنده: 600 / 1300 (L/s) / سفارشی			ضد خوردگی: 600 / 1300 (L./s) / سفارشی		600/1300 (L/s) /سفارشی
پمپ خط مقدم	پمپ مکانیکی / پمپ خشک			پمپ خشک ضد خوردگی		پمپ مکانیکی / پمپ خشک
پمپ پیش پمپاژ	پمپ مکانیکی / پمپ خشک			پمپ مکانیکی / پمپ خشک
فشار فرآیند	فشار کنترل نشده/0-0.1/1/10فشار کنترل شده Torr
نوع گاز	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (حداکثر 12 کانال، بدون گاز خورنده و سمی)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ سفارشی (تا 12 کانال)
محدوده گاز	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	بله خیر			بله
نمونه کنترل دما	10 درجه سانتی گراد ~ اتاق / -30 درجه سانتی گراد ~ 150 درجه سانتی گراد / سفارشی			-30 درجه سانتیگراد تا 200 درجه سانتیگراد / سفارشی
خنک کننده هلیوم پشت	بله خیر			بله
پوشش حفره فرآیند	بله خیر			بله
کنترل دمای دیوار حفره	شماره/دمای اتاق-60/120 درجه سانتی گراد			دمای اتاق ~60/120 درجه سانتی گراد
سیستم کنترل	خودکار/سفارشی
مواد اچینگ	پایه سیلیکونی: Si/SiO2/ SiNx / SiC ..... مواد آلی: PR / ارگانیک فیلم......			پایه سیلیکونی: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... مواد مغناطیسی / مواد آلیاژی مواد فلزی: Ni/Cr/Al/Cu/Au... مواد آلی: روابط عمومی/فیلم ارگانیک...... حکاکی عمیق سیلیکونی