ساختار |
نشان دادن |
نمایان شدن میز |
ناحیه نوردهی: میز، محل قرارگیری بستر |
سیستم نوری |
ناحیه قالب گیری گسیل لیزری |
سیستم کنترل محیط زیست |
دمای داخلی و فشار مثبت دستگاه را کنترل کنید |
سیستم پلت فرم |
حرکت جدول نوردهی را برای تکمیل عملیات مسیر نوردهی کنترل می کند |
سیستم کنترل |
سیستم کنترل کل تجهیزات |
شماره |
محیط |
نیاز به |
1 |
محیط منبع نور |
نور زرد |
2 |
درجه حرارت |
℃ 22 ± 2 |
3 |
رطوبت |
50٪ 10٪ |
4 |
طهارت |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1 مگاپاسکال، 200 LPM، هوای خشک و تمیز |
6 |
منبع تغذیه |
220 ~ 240 ولت، 50/60 هرتز، 2.5 کیلو وات، سیم زمین باید به زمین باشد. |
7 |
آب خنک کننده |
دما: 10 ~ 20 درجه سانتیگراد فشار: 0.3MPa ~ 0.5MPa سرعت جریان: 20 لیتر در دقیقه اختلاف فشار: 0.3 مگا پاسکال کالیبر را تحویل بگیرید: Rc3/8 |
8 |
محل برگزاری |
سطح: لرزش ± 3 میلی متر / 3000 میلی متر: بلبرینگ VC-B: 750 کیلوگرم / ㎡ |
10 |
اینترنت |
یک پورت شبکه |
11 |
اندازه دستگاه |
1300 * 1100 * 2100mm |
12 |
وزن دستگاه |
1500kg |
شماره |
پروژه |
مشخصات |
سخن گفتن |
1 |
وضوح |
0.6um/یا نیازهای دیگر |
AZ703، AZ1350 |
2 |
CDU |
± 10%@1m |
|
3 |
ضخامت بستر |
0.2 میلی متر تا 4 میلی متر |
|
4 |
دقت جدول تاریخ |
60nm |
|
5 |
پوشش |
500 نانومتر پوند |
130mmx130mm |
6 |
دقت دوخت |
200 نانومتر پوند |
AZ703 |
7 |
حداکثر اندازه نوردهی |
190X190mm |
|
8 |
ظرفیت تولید |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2 |
9 |
منبع نور |
LD 375 نانومتر |
|
10 |
قدرت سبک |
6W |
|
11 |
یکنواختی انرژی |
≥٪ 95 |
|
12 |
زندگی سبک |
10000hr |
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است