ساختار |
تصویربرداری |
نمایش میز |
منطقه نورپردازی: میز، منطقه قرار گرفتن زیردر |
سیستم نوری |
منطقه گسترش پرتو ليزر |
سیستم کنترل محیط |
کنترل دما و فشار مثبت داخل دستگاه |
سیستم پلتفرم |
کنترل جنبش جدول نورانی برای انجام عملیات مسیر نورانی |
سیستم کنترل |
سیستم کنترل تجهیزات کلی |
نه |
محیط |
نیاز دارد |
1 |
محیط منبع نور |
نور زرد |
2 |
دمای |
۲۲℃±۲℃ |
3 |
رطوبت |
۵۰%±۱۰% |
4 |
پاکیزگی |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1 مگاپاسکال، 200 لیتر در دقیقه، هوا خشک و تمیز |
6 |
منبع تغذیه |
220~240 ولت، 50/60 هرتز، 2.5 کیلووات؛ سیم زمین باید به زمین متصل شود، |
7 |
آب سردکننده |
دمای: 10 درجه سانتیگراد تا 20 درجه سانتیگراد فشار: 0.3 مگاپاسکال تا 0.5 مگاپاسکال نرخ جریان: 20 لیتر در دقیقه تفاوت فشار: بیش از 0.3 مگاپاسکال قطر گیرنده: Rc3/8 |
8 |
مکان برگزاری |
سطح: ±3 میلیمتر/3000 میلیمتر نوسان: VC-B دسته: 750 کیلوگرم/متر مربع |
10 |
اینترنت |
یک پورت شبکه |
11 |
اندازه ماشین |
1300*1100*2100mm |
12 |
وزن دستگاه |
۱۵۰۰کیلوگرم |
نه |
پروژه |
مشخصات |
توضیحات |
1 |
وضوح |
0.6um/یا نیاز دیگر |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
ضخامت زیربنا |
0.2mm～4mm |
|
4 |
دقت شبکه تاریخ |
60nm |
|
5 |
پوشاندن |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
دقت خیاطی |
±200nm |
AZ703 |
7 |
بزرگترین اندازه نوردهی |
190X190mm |
|
8 |
حجم عبور |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2؛ |
9 |
منبع نور |
LD 375nm |
|
10 |
توان نور |
6W |
|
11 |
یکنواختی انرژی |
≥95% |
|
12 |
مدت زندگی نور |
10000 ساعت |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
