حداکثر قطر شمش برش: 153 میلی متر
تیغه استاندارد: 690mm××241mm×0.15mm یا ¢690mm× ¢235mm×0.15mm
حداکثر طول شمش برش: 400 میلی متر
سرعت برش: 0.2 در 99 میلی متر در دقیقه □سرعت برگشت: 1 تا 1000 میلی متر در دقیقه
سرعت اسپیندل اصلی: 1420r/min
انحراف پله تغذیه: ± 0.005 میلی متر (آزمایش با مرحله تغذیه l میلی متر)
محدوده ضخامت ویفر: 0.001 تا 68.00 میلی متر
تنظیم فقط جهت کریستال: 0.001 میلی متر
تنظیم جهت کریستال: محدوده افقی (x)±7° (رزولوشن:2') محدوده عمودی (Y)±7º(رزولوشن:2')
Power:3.5kw,〜380v±38v, 50HZ±1HZ
منبع هوا: 0.4 تا 0.5 مگا پاسکال، 250 لیتر در دقیقه (شار آنی هنگام ترمزگیری)
ترش آب خنک کننده: 0.2 تا 0.4 مگاپاسکال؛ 5 لیتر در دقیقه
صفحه لمسی: 7.7 اینچ
ابعاد: 645mm×925mm×2820mm
وزن: 2500kg