واحد میزبان پلاسمای خلاء (100) |
||||
اندازه تجهیزات |
L 1000 × W 900 × ارتفاع 1750 میلی متر |
|||
وزن |
500Kg |
|||
منبع تغذیه تقاضا |
AC380V، 50 / 60Hz، 5 خط، 25A (کل نوع باز بالاتر از C) |
|||
مشخصات ژنراتور پلاسما |
||||
قدرت |
فرکانس رادیویی |
فرکانس متوسط |
||
0 ~~ 600W |
0 1000W |
|||
فرکانس عرضه |
13.56MHz |
40 کیلو هرتز |
||
سیستم خلاء |
||||
پمپ خلاء |
پمپ دوار Overflight (پمپ روغن): 60 متر مکعب در ساعت |
|||
خط لوله خلاء |
تمام خط فولادی ضد زنگ، و همچنین دم خلاء با استحکام بالا |
|||
کیفیت مواد |
آلیفر |
|||
ضخامت |
25mm |
|||
سفتی |
مهر و موم جوشکاری درجه نظامی |
|||
ابعاد داخلی حفره |
450*450*500 میلی متر (عرض* بالا * عمق) |
|||
اندازه موثر صفحه برقی |
322 * 351 میلی متر (عرض * عمق) |
|||
فاصله فضای موجود |
20mm |
|||
چیدمان صفحه برق |
صفحه الکترود افقی |
|||
سینی |
مجموعه استاندارد، مواد اختیاری (آلومینیوم، مش سیم فولادی) |
|||
فضای کاری |
لایه 8 |
|||
گاز فرآیند |
||||
دامنه جریان |
0~300SCCM |
|||
مسیر گاز فرآیندی |
استاندارد با دو روش، می تواند سفارشی شود. خط لوله گاز فرآیند از فروفلون ساخته شده است |
|||
حرکت کنید |
||||
SC |
PLC |
|||
حالت تعاملی |
صفحه نمایش لمسی 7 اینچی |
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است