واحد اصلی پلاسما خلاء (150) |
||
اندازه تجهیزات |
طول 1100×عرض 940×ارتفاع 1755 میلیمتر |
|
وزن |
۶۰۰کیلوگرم |
|
منبع تامین قدرت بر اساس تقاضا |
AC380V، 50/60Hz، 5 سیم، 25A (نوع باز کلی C و بالاتر) |
|
مشخصات تولیدکننده پلاسما |
||
قدرت |
فرکانس رادیویی |
فرکانس میان فرکانسی |
0~1000W |
0-2000W |
|
فرکانس تامین |
13.56MHz |
40 کیلوهرتز |
سیستم خلاء |
||
پمپ خلاء |
پمپ مونوپول لیپ VSV 65 + پمپ بوز لوتس BSJ 70 |
|
لوله خلاء |
تمام خط فولاد استنلس، همچنین لوله خلاء با قدرت بالا |
|
کیفیت مواد |
آلوفر |
|
ضخامت |
25 میلی متر |
|
چسبندگی |
چسبندگی وارده نظامی |
|
ابعاد داخلی حفره |
500*500*600 میلی متر (عرض * ارتفاع * عمق) |
|
اندازه موثر پلیت برق |
372(W) X 451(D) میلیمتر |
|
فاصله فضای موجود |
24 میلیمتر |
|
چینش الکتروپلات |
صفحه الکترود افقی |
|
سینیها |
مجموعه استاندارد، مواد قابل انتخاب (آلومینیوم، شبکه فلزی حاصل از纲) |
|
فضای کاری |
هشت لایه |
|
گاز فرآیند |
||
bereik جریان |
0~300SCCM |
|
مسیر گاز فرآیند |
استاندارد با دو راه، قابل سفارش. لولهکشی گاز فرآیند از فerrofllon ساخته شده است |
|
سیستم کنترل |
||
SC |
کنترل کامپیوتر |
|
حالت تعاملی |
رابط ویندوز |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved