واحد میزبان پلاسمای خلاء (150) | ||||
اندازه تجهیزات | L 1100 × W 940 × ارتفاع 1755 میلی متر | |||
وزن | 600Kg | |||
منبع تغذیه تقاضا | AC380V، 50 / 60Hz، 5 خط، 25A (کل نوع باز بالاتر از C) | |||
مشخصات ژنراتور پلاسما | ||||
قدرت | فرکانس رادیویی | فرکانس متوسط | ||
0 ~~ 1000W | 0 2000W | |||
فرکانس عرضه | 13.56MHz | 40 کیلو هرتز | ||
سیستم خلاء | ||||
پمپ خلاء | پمپ تک قطبی لیپ VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 | |||
خط لوله خلاء | تمام خط فولادی ضد زنگ، و همچنین دم خلاء با استحکام بالا | |||
کیفیت مواد | آلیفر | |||
ضخامت | 25mm | |||
سفتی | مهر و موم جوشکاری درجه نظامی | |||
ابعاد داخلی حفره | 500 * 500 * 600 میلی متر (عرض * زیاد * عمق) | |||
اندازه موثر صفحه برقی | 372 (W) X 451 (D) میلیمتر | |||
فاصله فضای موجود | 24mm | |||
چیدمان صفحه برق | صفحه الکترود افقی | |||
سینی | مجموعه استاندارد، مواد اختیاری (آلومینیوم، مش سیم فولادی) | |||
فضای کاری | لایه 8 | |||
گاز فرآیندی | ||||
دامنه جریان | 0~300SCCM | |||
مسیر گاز فرآیندی | استاندارد با دو روش، می تواند سفارشی شود. خط لوله گاز فرآیند از فروفلون ساخته شده است | |||
سیستم کنترل | ||||
SC | کنترل کامپیوتر | |||
حالت تعاملی | رابط ویندوز |
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است