میزبان پلاسمای خلاء(200) |
||
اندازه تجهیزات |
1050× 1700×1050 میلی متر (عرض، ارتفاع و عمق) |
|
وزن |
800Kg |
|
تقاضای قدرت |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
مشخصات ژنراتور پلاسما |
||
برق اصلی |
فرکانس رادیویی |
IF |
0 ~~ 1000W |
0 2000W |
|
فرکانس قدرت |
13.56MHz |
40 کیلو هرتز |
سیستم خلاء |
||
پمپ خلاء |
پمپ تک قطبی Feiyue VSV100 + پمپ هر دو ریشه BSJ70 |
|
خط خلاء |
تمام لوله های فولادی ضد زنگ و دم های خلاء با استحکام بالا |
|
ماده |
آلیاژ آلومینیوم |
|
ضخامت |
25mm |
|
سفتی |
مهر و موم جوشی درجه نظامی |
|
ابعاد داخلی حفره |
600×600×600 میلیمتر (W×H×D) |
|
اندازه موثر صفحه الکترود |
472 × 451 میلیمتر (W×D) |
|
فضای موجود |
35mm |
|
طرح صفحه الکترود |
صفحه الکترود افقی |
|
سینی کار |
یک مجموعه استاندارد است و مواد اختیاری است (آلومینیوم، مش فولادی) |
|
فضای کاری |
طبقه 8 |
|
گاز فرآیندی |
||
دامنه جریان |
0~300SCCM |
|
مدار گاز فرآیند |
مجهز به گاز سه طرفه O2، Ar، N2 |
|
سیستم کنترل |
||
کنترل سیستم |
کنترل کامپیوتر |
|
حالت تعاملی |
رابط ویندوز |
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است