یون پلاسما واحد میزبان (60)
|
||||
اندازه تجهیزات
|
طول 950×عرض 900×ارتفاع 1650 میلیمتر
|
|||
وزن
|
350کگ
|
|||
منبع تامین قدرت بر اساس تقاضا
|
AC380V، 50/60Hz، 5 سیم، 16A (نوع باز کلی C و بالاتر)
|
|||
مشخصات تولیدکننده پلاسما
|
||||
قدرت
|
فرکانس رادیویی
|
فرکانس میان فرکانسی
|
||
0~600W
|
0-1000W
|
|||
فرکانس تامین
|
13.56MHz
|
40 کیلوهرتز
|
||
سیستم خلاء
|
||||
پمپ خلاء
|
پمپ چرخان دو مرحله ای (پمپ روغن): 40 متر مکعب در ساعت
|
|||
لوله خلاء
|
تمام خط فولاد استنلس، همچنین لوله خلاء با قدرت بالا
|
|||
کیفیت مواد
|
آلومینیوم Alloy (سفید فلز سفارشی قابل تنظیم)
|
|||
ضخامت
|
25 میلی متر
|
|||
چسبندگی
|
چسبندگی وارده نظامی
|
|||
ابعاد داخلی حفره
|
375*375*430 میلی متر (عرض * بلندی * عمق)
|
|||
اندازه موثر پلیت برق
|
247*281 میلیمتر (عرض * عمق)
|
|||
فاصله فضای موجود
|
22 میلی متر
|
|||
چینش الکتروپلات
|
چینش افقی، میتواند استخراج فعال داشته باشد
|
|||
سینیها
|
مجموعه استاندارد، مواد قابل انتخاب (آلومینیوم، شبکه فلزی حاصل از纲)
|
|||
فضای کاری
|
6 لایه
|
|||
گاز فرآیند
|
||||
bereik جریان
|
0~300SCCM
|
|||
مسیر گاز فرآیند
|
استاندارد با دو راه، قابل سفارش. لولهکشی گاز فرآیند از فerrofllon ساخته شده است
|
|||
نوار
|
||||
SC
|
PLC
|
|||
حالت تعاملی
|
صفحه نمایش لمسی 7 اینچ
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved