یون پلاسما واحد میزبان (60) |
||||
اندازه تجهیزات |
طول 950×عرض 900×ارتفاع 1650 میلیمتر |
|||
وزن |
350کگ |
|||
منبع تامین قدرت بر اساس تقاضا |
AC380V، 50/60Hz، 5 سیم، 16A (نوع باز کلی C و بالاتر) |
|||
مشخصات تولیدکننده پلاسما |
||||
قدرت |
فرکانس رادیویی |
فرکانس میان فرکانسی |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
فرکانس تامین |
13.56MHz |
40 کیلوهرتز |
||
سیستم خلاء |
||||
پمپ خلاء |
پمپ چرخان دو مرحله ای (پمپ روغن): 40 متر مکعب در ساعت |
|||
لوله خلاء |
تمام خط فولاد استنلس، همچنین لوله خلاء با قدرت بالا |
|||
کیفیت مواد |
آلومینیوم Alloy (سفید فلز سفارشی قابل تنظیم) |
|||
ضخامت |
25 میلی متر |
|||
چسبندگی |
چسبندگی وارده نظامی |
|||
ابعاد داخلی حفره |
375*375*430 میلی متر (عرض * بلندی * عمق) |
|||
اندازه موثر پلیت برق |
247*281 میلیمتر (عرض * عمق) |
|||
فاصله فضای موجود |
22 میلی متر |
|||
چینش الکتروپلات |
چینش افقی، میتواند استخراج فعال داشته باشد |
|||
سینیها |
مجموعه استاندارد، مواد قابل انتخاب (آلومینیوم، شبکه فلزی حاصل از纲) |
|||
فضای کاری |
6 لایه |
|||
گاز فرآیند |
||||
bereik جریان |
0~300SCCM |
|||
مسیر گاز فرآیند |
استاندارد با دو راه، قابل سفارش. لولهکشی گاز فرآیند از فerrofllon ساخته شده است |
|||
نوار |
||||
SC |
PLC |
|||
حالت تعاملی |
صفحه نمایش لمسی 7 اینچ |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved