1. رژیم کار: ربات بارگذاری به طور خودکار صفحات از جعبه صفحات A-B (قابل بازیافت) به میز پیشموقعیتبندی بارگیری میکند
میز کار، و از طریق تنظیم سیستم چرخش خودکار و قرار دادن صفحه دوربین، جایگذاری اولیه صفحه میکروشیپ به دست میآید؛ ربات بارگذاری سپس صفحات میکروشیپهای قرار داده شده را روی میز هماهنگسازی بارگذاری میکند. از طریق شناسایی تصویر کامپیوتری و تنظیم سیستم هماهنگسازی خودکار، هماهنگسازی خودکار نقوش روی ماسک و صفحات میکروشیپ قابل انجام است. همچنین بدون هماهنگسازی نقوش، میتوان یک نوردهی را تکمیل کرد. پس از نوردهی خودکار توسط سیستم فراوان، ربات خالی کردن به طور خودکار صفحات میکروشیپ را در جعبه میکروشیپ C-D (قابل بازیافت) قرار میدهد.
2. منطقه نوردهی: 160 × 160 میلیمتر;
3. نابرابری در روشنایی نوردهی: ≤ 3%;
4. شدت نوردهی: 0~≥ 40mw/cm2 قابل تنظیم (زاویه پرتو 2 °);
5. زاویه پرتو فرابنفش: ≤ 3 °;
6. موج مرکزی نور فرابنفش: 365nm;
7. عمر منبع نور فرابنفش: ≥ 20000 ساعت;
8. ظرفیت جدایی: 0~≥ 1000um قابل تنظیم;
9. دقت هماهنگسازی: ≤ ± 1.5 μ M;
10. دقت نوردهی: نوردهی مخابطهای ± 1 μm. جدایی نوردهی نزدیکی 20 μm، زاویه پرتو 2 ° ≤ ± 2 μm
11. روشهای نوردهی: مخابطه سخت، مخابطه نرم و نوردهی نزدیکی;
12. حالت نوردهی: میتوانید بین نوردهی تکباره یا نوردهی افست انتخاب کنید;
13. سیستم تشخیص تصویر و چرخش اولیه (شامل میز کار چرخش اولیه): زاویه چرخش Q ≥ ± 180 °، دقت چرخش Q ≤ 0.01 °;
14. سیستم تشخیص تصویر و هماهنگی خودکار (شامل میز کار هماهنگی UVW): محدوده هماهنگی X Y ≥ ± 5mm، زاویه چرخش Q ≥ ± 3 °، و دو لنز میکروسکوپ توسط دو پلتفرم برقی XYZ کنترل میشوند.
15. اندازه ماسک: 5 " × 5 " و 7" × 7 ";
16. اندازه وافر: 4 " و 6";
17. ایستگاههای کاری جعبه فیلم بالا و پایین: دو ایستگاه کاری;
18. کیسه هوایی میوهای
19. بازوی رباتیک دوگانه بارگذاری و خالی کردن: Z ≥ 350mm، R135mm;
20. تعداد وفرهای موجود در جعبه وفر: بر اساس تعداد وفرهای موجود در جعبه وفر مشتری تعیین میشود;
21. بلند کردن میز موقعیتیابی: Z ≥ ± 25mm;
22. زمان نوردهی: قابل تنظیم از 0 تا 999.9 ثانیه;
23. ریتم تولید: >120 عدد در ساعت;
24. منبع تغذیه: فاز تکی AC220V 50Hz، مصرف برق ≤ 3KW;
25. فشار هوا شوینده: ≥ 0.4MPa;
26. میزان خالیکنندگی: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. ابعاد: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. وزن: حدود 400 کیلوگرم