MDHS-AL8 8" دستگاه لیتوگرافی تمام اتوماتیک یک طرفه چین MDHS-AL8 8" دستگاه لیتوگرافی تمام اتوماتیک یک طرفه تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

دستگاه لیتوگرافی یک طرفه تمام اتوماتیک MDHS-AL8 8 اینچی

1. حالت کار: ربات بارگیری به طور خودکار ویفرها را از جعبه ویفر AB (قابل بازیافت) تا موقعیت اولیه بارگیری می کند.

میز کار، و از طریق تنظیم ویفر موقعیت یابی دوربین و سیستم چرخش خودکار، موقعیت اولیه ویفر به دست می آید. سپس ربات بارگیری ویفرهای از پیش تعیین شده را روی میز کار تراز می‌کند. از طریق تشخیص تصویر کامپیوتری و تنظیم خودکار سیستم هم ترازی، می توان به تراز خودکار گرافیک روی ماسک و ویفرها دست یافت. همچنین امکان تکمیل یک نوردهی بدون تراز کردن گرافیک وجود دارد. پس از نوردهی خودکار توسط سیستم نوردهی بیش از حد، ربات تخلیه کننده به طور خودکار ویفرها را در جعبه ویفر سی دی (قابل بازیافت) قرار می دهد.
2. منطقه نوردهی: 160 × 160 میلی متر.
3. نوردهی ناهموار: ≤ 3٪.
4. شدت نوردهی: 0~≥ 40mw/cm2 قابل تنظیم (زاویه پرتو 2 درجه).
5. زاویه پرتو UV: ≤ 3 درجه.
6. طول موج مرکز نور ماوراء بنفش: 365 نانومتر.
7. طول عمر منبع نور UV: ≥ 20000 ساعت.
8. ظرفیت جداسازی: 0~≥ 1000um قابل تنظیم.
9. دقت تراز: ≤ ± 1.5 μ M;
10. دقت نوردهی: قرار گرفتن در معرض تماس ± 1μm. جداسازی نوردهی نزدیک به زاویه پرتو 20 میکرومولار 2 ° ≤ ± 2 میکرومولار
11. روش های قرار گرفتن در معرض: تماس سخت، تماس نرم، و قرار گرفتن در معرض مجاورت.
12. حالت نوردهی: می توانید بین نوردهی یکباره یا نوردهی افست یکی را انتخاب کنید
13. تشخیص تصویر قبل از موقعیت و سیستم چرخش خودکار (از جمله میز کار قبل از موقعیت یابی): زاویه چرخش Q ≥ ± 180 درجه، دقت چرخش Q ≤ 0.01 درجه؛
14. تشخیص تصویر و سیستم تراز خودکار (از جمله میز کار تراز UVW): محدوده تراز XY ≥ ± 5 میلی متر، زاویه چرخش Q ≥ 3 ± درجه، و دو عدسی میکروسکوپ توسط دو سکوی الکتریکی XYZ کنترل می شوند.
15. اندازه ماسک: 5 "× 5" و 7" × 7 ";
16. اندازه ویفر: 4 "و 6";
17. ایستگاه های کاری جعبه فیلم بالا و پایین: ایستگاه های کاری دوگانه.
18. ایربگ بالشتک پا
19. بارگیری و تخلیه بازوی رباتیک دو بازوی: Z ≥ 350mm، R135mm;
20. تعداد ویفر در جعبه ویفر: بر اساس تعداد ویفر در جعبه ویفر مشتری تعیین می شود.
21. بالابر میز موقعیت: Z ≥ ± 25mm;
22. زمان نوردهی: قابل تنظیم از 0 تا 999.9 ثانیه.
23. ریتم تولید:>120 قطعه در ساعت;
24. منبع تغذیه: تک فاز AC220V 50Hz، مصرف برق ≤ 3KW;
25. فشار هوای تمیز: ≥ 0.4MPa.
26. درجه خلاء: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. اندازه: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. وزن: تقریبا 400 کیلوگرم

تامین کننده دستگاه لیتوگرافی یک طرفه تمام اتوماتیک MDHS-AL8 8 اینچ

این دستگاه متشکل از یک هد نوردهی ال ای دی اشعه ماوراء بنفش، یک سیستم تشخیص تصویر و چرخش خودکار، یک میز کار از پیش تعیین شده و یک تصویر مانند سیستم های تشخیص و تراز خودکار، میز کار تراز، ربات های بارگیری، ربات های تخلیه بار، قفسه ها و کنترل الکتریکی شامل تجهیزات می باشد. ، لوازم یدکی و غیره

مشخصات

1. سر قرار گرفتن در معرض: یک سر قرار گرفتن در معرض اشعه ماوراء بنفش LED (365 نانومتر).
2. تشخیص تصویر و میز کار پیش تراز:
1) 1 دوربین (1.3 میلیون پیکسل)
2) فیکسچر موقعیت یابی مرکزی
3) 1 مجموعه سکوی دوار (با استفاده از موتور سروو)
4) 1 مجموعه از سیستم موقعیت یابی
3. سیستم تشخیص تصویر و تراز خودکار:
1) 2 دوربین (5 میلیون پیکسل نرخ فریم بالا)
2) 2 لنز (4 برابر لنز با وضوح بالا)
3) یک کامپیوتر صنعتی
4) یک کنترلر (کنترل شده توسط PLC)
5) یک مجموعه سکوی تراز (با استفاده از موتور پله ای 5 فاز)
6) مجموعه ای از سیستم ورزشی
7) دستگاه صفحه بالایی موتوری را برای بلند کردن و پایین آوردن استفاده می کند
7) نرم افزار از آخرین نسخه LabVIEW Professional Edition استفاده می کند
4. بازوی مکانیکی بارگیری و تخلیه:
1) X Y. مجموعه ای از مکانیزم حرکت خودکار Z
2) بازوی رباتیک دو بازو (بازوهای بارگیری و تخلیه)
5. مکانیزم ثابت کردن جعبه ویفر:
1) AB موقعیت ثابت جعبه فیلم تغذیه است
2) CD موقعیت ثابت جعبه فیلم برش است
3) G موقعیت ثابت جعبه فیلم موقعیت NG است
6. پلت فرم ثابت دوربین:
7. دو مجموعه مکانیزم تنظیم الکتریکی YZ (کنترل شده توسط موتورهای سروو)
8. رک و کنسول کنترل الکتریکی:
1) 1 کامپیوتر صنعتی
2) یک مجموعه PLC؛
3) یک مجموعه شیر برقی و سیستم کنترل
4) مجموعه ای از ابزارهای پنوماتیک دیجیتال
5) یک مجموعه از کنسول کنترل
8. لوازم یدکی:
1) تراشه: 15 متر
2) 2 عدد شیر برقی
3) پمپ خلاء: 1 واحد
9. داده های فنی:
1) یک کتابچه راهنمای کاربر
2) یک گواهی انطباق
10. اضافی
نرم افزار تجهیزات باید به پروتکل ارتباطی SECS مجهز باشد و خریدار یک کتابخانه پویا با عملکرد اتصال به سیستم MES خریدار فراهم می کند و به طور خودکار شماره دسته محصول، شماره کار و وضعیت عملیات را ثبت می کند و آنها را بارگذاری می کند. در عین حال، عملکرد شناسایی کد QR صفحه ماسک، مقایسه آن با کد QR صفحه ماسک سیستم MES و جلوگیری از گرفتن صفحه ماسک اشتباه را دارد.

بسته بندی و تحویل