ماشین جوشکاری ICP فول اتوماتیک MDICP-5000F / تجهیزات نیمه هادی کوپلینگ القایی پلاسما , China ماشین جوشکاری ICP فول اتوماتیک MDICP-5000F / تجهیزات نیمه هادی کوپلینگ القایی پلاسما Manufacturers, Suppliers, Factory

توضیحات محصول

دستگاه تراشیدن ICP MDICP-5000F کاملا خودکار

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

چکیده

این تجهیزات یک سیستم خالی دو اتاقه است. یک اتاق اتاق نمونه‌برداری تزریقی است و دیگری اتاق تراشیدن است. یک قفل خالی بین اتاق نمونه‌برداری تزریقی و اتاق تراشیدن نصب شده است و نمونه‌برداری تزریقی توسط منیپولیتور حمل می‌شود.
تجهیزات اصلانه شامل سیستم وکوم، سیستم مسیر گاز، سیستم الکتریکی، سیستم کنترل، سیستم سردکردن، مکانیسم تغذیه و گرفتن فیلم، سیستم هشدار و غیره است.

سیستم خلاء

این سیستم شامل پمپ مولکولی با سرعت جابجایی 600 لیتر در ثانیه + یک پمپ خشک وارداتی با سرعت جابجایی L/s برای برسی حجره فرز به وکوم بالا است. یک ولواک دینامیک فشار نصب شده است بین پمپ مولکولی و حجره فرز. پمپ خشک وارداتی پمپ پیش‌فرز حجره فرز و پمپ مرحله اول پمپ مولکولی است. از یک پمپ مکانیکی دیگر با سرعت جابجایی L/s برای خلاء حجره نمونه استفاده می‌شود. برای اتصال بین پمپ مکانیکی و حجره خلاء و پمپ مولکولی از فولاد ریزه استایل استفاده می‌شود و یک ولواک هوایی الکترومغناطیسی نصب شده است.

سیستم کنترل فشار ثابت

تجهیزات با سیستم کنترل فشار ثابت پس از دستگاه و در خط لوله استخراج هوا، یک ولواژ قابل تنظیم الکتریکی نصب شده است. از طریق اندازه‌گیری با میکرومد (بخش‌های وارداتی)، ولواژ قابل تنظیم کنترل می‌شود تا حفره وakuم به فشار ثابت برسد و بهبود پایداری فرآیند ایجاد شود.

سیستم کنترل فشار ثابت

سیستم مدار گاز

دو مجموعه تأمین توان RF با جفت‌شدگی خودکار.

سیستم هشدار

نیازمندی‌های ایمنی برای تجهیزات.

مشخصات

Name	Spc	برند	شماره/مجموعه	یادداشت
حفره تراشیدگی، خط لوله استخراج هوا، پنجره مشاهده، رابط ذخیره‌شده، و غیره	استاندارد	JSWN	1	پاداکید
چارچوب، کابینت الکتریکی، علامت‌ها، قطعات استاندارد، و غیره	استاندارد	JSWN	1
سیستم بلند کردن پوشش کمرنگ اتʃینگ	استاندارد	JSWN	1	پاداکید
الکترود اتچینگ و سیستم مخملی	استاندارد	JSWN	1	پاداکید
پمپ مولکولی (سرعت پمپاژ 600 لیتر در ثانیه)	FF620/150	KYKY	1	پاداکید
پمپ خشک ورودی (سرعت پمپاژ 9 لیتر در ثانیه)	XDS-35I	ادواردز	1	پاداکید
پمپ مکانیکی (سرعت پمپاژ 9 لیتر در ثانیه)	TRP-36	BWVAC	1
کلید تنظیم برقی	DCQ-150	JSWN	1	پاداکید
کلید توقف هوایی با جعبه چرخ دنده ای	KF40	JSWN	3	پاداکید
سنجش فیلم	KF16	INFICON	1	پاداکید
کنترلر جریان جرمی	D07	Sevenstar	4	پاداکید
کلید دیافراگم پنوماتیک	1/4" VCR	-	4	پاداکید
لوله فولاد ریز، جفت کننده لوله و غیره	1/4" VCR	-	4	پاداکید
منبع توان RF / مطابقت خودکار	-	چین (اختیاری CROWN1310)	1
منبع توان RF / مطابقت خودکار	-	چین (اختیاری CROWN1310)	1
سنجاق Vacuum مرکب	ZDF	RB	1
سیستم کنترل صنعتی	2U	چین	1
صفحه نمایش لمسی LCD	17 اينچ	چین	1
سیستم کنترل plc	S7-200	زیمنس	1
سیستم کنترل محور برق	استاندارد	JSWN	1
سیستم آب سردکننده و خط لوله	استاندارد	JSWN	1
سیستم آشکارسازی هوا فشرده و خط لوله	استاندارد	JSWN	1
ماشین آب جریان گردشی سردکننده	HX	چین	1
اتاق تزریق اتشار	استاندارد	JSWN	1
قفل خلاء	SMC	SMC	1
سیستم کنترل منیپیولاتور	SMC	SMC	1

پارامتر فنی ایمیل

1. حداقل خلاء: اتاق اتشار 9.0×10-5Pa (رطوبت محیطی≤55%)
اتاق نمونه‌گیری تزریق 6.0×10-1Pa
2. ماده اتشار: ماده Ⅲ، Ⅴ، Si، SiO2 و غیره
3. نرخ فروکش: ~ 1μ／دقیقه
4. یکنواختی فروکش: ≤±5٪(محدوده φ125mm)
6. اندازه الکترود: φ200mm

بسته‌بندی و ارسال