|
پروژه
|
مشخصات
|
اظهارات
|
||
|
1 |
بررسی اجمالی تجهیزات |
نام تجهیزات: دستگاه تولید چسب کاملاً یکنواخت
|
||
|
مدل تجهیزات: MD-2C2D6
|
||||
|
مشخصات ویفر پردازش: سازگار با ویفرهای استاندارد 4/6 اینچی
|
||||
|
جریان فرآیند چسب یکنواخت: برش سبد گل → وسط → چسب یکنواخت (چکیدن → چسب یکنواخت → برداشتن لبه، پشت
شستشو) ← بشقاب داغ ← بشقاب سرد ← سبد گذاشتن جریان فرآیند توسعه: برش سبد گل → وسط → توسعه (محلول توسعه → آب دیونیزه، شستشوی پشتی → خشک کردن نیتروژن) → صفحه داغ → صفحه سرد → سبد گذاشتن |
||||
|
اندازه کلی (تقریبا): 2100 میلی متر (W) * 1800 میلی متر (D) * 2100 میلی متر (H)
|
||||
|
اندازه کابینت شیمیایی (تقریبا): 1700 (W) * 800 (D) * 1600 میلی متر (H)
|
||||
|
وزن کل (تقریبا): 1000 کیلوگرم
|
||||
|
ارتفاع میز کار: 1020 ± 50 میلی متر
|
||||
|
2 |
واحد کاست
|
تعداد: 2
|
||
|
اندازه سازگار: 4/6 اینچ
|
||||
|
تشخیص کاست: تشخیص میکروسوئیچ
|
||||
|
تشخیص کشویی بیرون: بله، سنسور بازتابی
|
||||
|
3 |
ربات |
تعداد: 1
|
||
|
نوع: ربات جذب خلاء دو بازویی
|
||||
|
درجه آزادی: 4 محور (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
جنس انگشتی: سرامیک
|
||||
|
روش تثبیت بستر: روش جذب در خلاء
|
||||
|
عملکرد نقشه برداری: بله
|
||||
|
دقت موقعیت یابی: ± 0.1 میلی متر
|
||||
|
4 |
واحد مرکزی
|
مقدار: مجموعه 1
|
تراز نوری اختیاری
|
|
|
روش تراز: تراز مکانیکی
|
||||
|
دقت مرکز: ± 0.2 میلی متر
|
||||
|
5 |
واحد چسب یکنواخت |
تعداد: 2 مجموعه (پیکربندی های زیر برای هر واحد است)
|
||
|
سرعت چرخش اسپیندل: -5000rpm~5000rpm
|
حمل بیکار
|
|||
|
دقت چرخش اسپیندل: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
حداقل تنظیم سرعت چرخش اسپیندل: 1rpm
|
||||
|
حداکثر شتاب چرخش اسپیندل: 20000 دور در دقیقه
|
حمل بیکار
|
|||
|
بازوی چکاننده: 1 ست
|
||||
|
مسیر لوله فوتوریست: 2 مسیر
|
||||
|
قطر نازل فوتوریست: 2.5 میلی متر
|
||||
|
عایق مقاوم در برابر نور: 23 ± 0.5 ℃
|
اختیاری
|
|||
|
نازل مرطوب کننده: دارد
|
||||
|
RRC: بله
|
||||
|
بافر: بله، 200 میلی لیتر
|
||||
|
روش انداختن چسب: انداختن مرکز و انداختن اسکن اختیاری است
|
||||
|
بازوی حذف لبه: 1 مجموعه
|
||||
|
قطر نازل حذف لبه: 0.2 میلی متر
|
||||
|
نظارت بر جریان مایع حذف لبه: فلومتر شناور
|
||||
|
محدوده جریان مایع حذف لبه: 5-50 میلی لیتر در دقیقه
|
||||
|
خط لوله بک واش: 2 راه (هر کدام 4/6 اینچ با 1 کانال)
|
||||
|
نظارت بر جریان بک واش: فلومتر شناور
|
||||
|
محدوده جریان مایع بک واش: 20-200 میلی لیتر در دقیقه
|
||||
|
روش تثبیت تراشه: چاک جذب خلاء منطقه کوچک
|
||||
|
هشدار فشار خلاء: سنسور فشار خلاء دیجیتال
|
||||
|
جنس چاک: PPS
|
||||
|
مواد جام: PP
|
||||
|
نظارت بر اگزوز فنجان: سنسور فشار دیجیتال
|
||||
|
6 |
واحد در حال توسعه |
شاتر: بله
|
||
|
تعداد: 2 مجموعه (پیکربندی های زیر برای هر واحد است)
|
||||
|
سرعت چرخش اسپیندل: -5000rpm~5000rpm
|
حمل بیکار
|
|||
|
دقت چرخش اسپیندل: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
حداقل تنظیم سرعت چرخش اسپیندل: 1rpm
|
||||
|
حداکثر شتاب چرخش اسپیندل: 20000 دور در دقیقه
|
حمل بیکار
|
|||
|
بازوی در حال توسعه: 1 مجموعه
|
||||
|
خط لوله در حال توسعه: دو طرفه (نازل فن شکل/ستونی)
|
||||
|
فیلتر توسعه دهنده: 0.2um
|
||||
|
کنترل دمای توسعه دهنده: 23 ± 0.5 ℃
|
اختیاری
|
|||
|
محدوده جریان محلول در حال توسعه: 100 ~ 1000 میلی لیتر در دقیقه
|
||||
|
حالت حرکت بازوی در حال توسعه: نقطه ثابت یا اسکن
|
||||
|
بازوی فیوزینگ: 1 ست
|
||||
|
خط لوله آب دیونیزه: 1 مدار
|
||||
|
قطر نازل آب دیونیزه: 4 میلی متر (قطر داخلی)
|
||||
|
محدوده جریان آب دیونیزه: 100 تا 1000 میلی لیتر در دقیقه
|
||||
|
خط لوله خشک کردن نیتروژن: 1 مدار
|
||||
|
قطر نازل نیتروژن: 4 میلی متر (قطر داخلی)
|
||||
|
محدوده جریان نیتروژن: 5-50 لیتر در دقیقه
|
||||
|
توسعه دهنده، آب دیونیزه، نظارت بر جریان نیتروژن: فلومتر شناور
|
||||
|
خط لوله بک واش: 2 راه (هر کدام 4/6 اینچ با 1 کانال)
|
||||
|
نظارت بر جریان بک واش: فلومتر شناور
|
||||
|
محدوده جریان مایع بک واش: 20-200 میلی لیتر در دقیقه
|
||||
|
روش تثبیت تراشه: چاک جذب خلاء منطقه کوچک
|
||||
|
هشدار فشار خلاء: سنسور فشار خلاء دیجیتال
|
||||
|
جنس چاک: PPS
|
||||
|
جنس چاک: PPS
|
||||
|
مواد جام: PP
|
||||
|
نظارت بر اگزوز فنجان: سنسور فشار دیجیتال
|
||||
|
7 |
واحد تاک سازی |
تعداد: 2
|
اختیاری
|
|
|
محدوده دما: دمای اتاق ~ 180 ℃
|
||||
|
یکنواختی دما: دمای اتاق ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (10 میلی متر را از لبه جدا کنید، به جز سوراخ پین اجکتور) |
||||
|
حداقل مقدار تنظیم: 0.1 درجه سانتیگراد
|
||||
|
روش کنترل دما: تنظیم PID
|
||||
|
محدوده ارتفاع پین: 0-20 میلی متر
|
||||
|
مواد پین: بدنه SUS304، درپوش پین پین PI
|
||||
|
فاصله پخت: 0.2 میلی متر
|
||||
|
هشدار بیش از حد دما: هشدار انحراف مثبت و منفی
|
||||
|
روش عرضه: حباب، 10±2ml/min
|
||||
|
خلاء عملیات محفظه: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
واحد صفحه داغ |
تعداد: 10
|
||
|
محدوده دما: دمای اتاق ~ 250 ℃
|
||||
|
یکنواختی دما: دمای اتاق ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1℃~180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (10 میلی متر را از لبه جدا کنید، به جز سوراخ پین اجکتور) |
||||
|
حداقل مقدار تنظیم: 0.1 ℃
|
||||
|
روش کنترل دما: تنظیم PID
|
||||
|
محدوده ارتفاع پین: 0-20 میلی متر
|
||||
|
مواد پین: بدنه SUS304، درپوش پین پین PI
|
||||
|
فاصله پخت: 0.2 میلی متر
|
||||
|
هشدار بیش از حد دما: هشدار انحراف مثبت و منفی
|
||||
|
9 |
واحد صفحه سرد
|
تعداد: 2
|
||
|
محدوده دما: 15-25 ℃
|
||||
|
روش خنک کننده: خنک کننده پمپ گردشی با دمای ثابت
|
||||
|
10 |
تامین مواد شیمیایی |
ذخیره سازی مقاوم در برابر نور: پمپ چسب پنوماتیک * 4 مجموعه (مخزن اختیاری یا پمپ چسب برقی)
|
||
|
حجم پخش چسب: حداکثر 12 میلی لیتر در هر جلسه، دقت ± 0.2 میلی لیتر
|
||||
|
حذف لبه / شستشوی پشتی / تامین RRC: مخزن فشار 18 لیتری * 2 (پر کردن خودکار)
|
||||
|
حذف لبه / شستشوی پشت / نظارت بر سطح مایع RRC: سنسور فوتوالکتریک
|
||||
|
نظارت بر سطح مایع فوتوریست: سنسور فوتوالکتریک
|
||||
|
تخلیه مایع زباله چسب یکنواخت: مخزن مایع زباله 10 لیتری
|
||||
|
منبع توسعه دهنده: مخزن فشار 18 لیتر * 4 (ذخیره شده در کابینت مواد شیمیایی خارج از دستگاه)
|
||||
|
تامین آب دیونیزه: تامین مستقیم کارخانه
|
||||
|
توسعه نظارت بر سطح مایع: سنسور فوتوالکتریک
|
||||
|
تخلیه زباله توسعه دهنده: تخلیه زباله کارخانه
|
||||
|
تامین چسبنده: مخزن فشار 10 لیتر * 1، مخزن فشار 2 لیتر * 1
|
||||
|
نظارت بر سطح چسبنده: سنسور فوتوالکتریک
|
||||
|
11 |
سیستم کنترل |
روش کنترل: PLC
|
||
|
رابط عملکرد ماشین انسانی: صفحه نمایش لمسی 17 اینچی
|
||||
|
منبع تغذیه بدون وقفه (UPS): دارد
|
||||
|
مجوزهای رمزگذاری را برای اپراتورهای دستگاه، تکنسین ها، مدیران تنظیم کنید
|
||||
|
نوع برج سیگنال: قرمز، زرد، سبز 3 رنگ
|
||||
|
12 |
شاخص های قابلیت اطمینان سیستم
|
زمان کار: ≥95٪
|
||
|
MTBF: ≥ 500 ساعت
|
||||
|
MTTR: ≤ 4 ساعت
|
||||
|
MTBA: ≥24 ساعت
|
||||
|
نرخ تکه تکه شدن: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
سایر توابع
|
نور زرد: 4 مجموعه (موقعیت: بالای واحد مخلوط کردن و توسعه چسب)
|
||
|
THC: بله، 22.5 ± 0.5 ℃، 45 ± 2٪
|
اختیاری
|
|||
|
FFU: کلاس 100، 5 مجموعه (واحد فرآیند و ناحیه ربات)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
حق چاپ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. تمامی حقوق محفوظ است
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
نه
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
