MDPS-560 سیستم پخش دو غرفه ای شکل گلابی / تجهیزات صنعت نیمه هادی , China MDPS-560 سیستم پخش دو غرفه ای شکل گلابی / تجهیزات صنعت نیمه هادی Manufacturers, Suppliers, Factory

توضیحات محصول

سیستم مغزه گذاری دو حجره ای شکل گلابی MDPS-560

برای آماده سازی فیلم‌های نانوی تک/چند لایه عملکردی شامل انواع فیلم‌های سخت، فلزی، نیمه هادی و عایق برای دانشگاه‌ها و مؤسسات علمی استفاده می‌شود.

اتاق خلاء پاشش، هدف پاشش مگنترون، تخته گرم کننده با سیستم جوش آب، اتاق تزریق نمونه، اتاق نمونه، آنالایزر، هدف شستشوی معکوس، مکانیسم ارسال نمونه مغناطیسی، دایره گاز، سیستم استخراج، سیستم اندازه‌گیری خلاء، سیستم کنترل برقی و پایه نصب.

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment manufacture

مشخصات

TYPE			MDPS-560 II
اتاق پاشش اصلی			اتاق خلاء شکل گلابی، اندازه: Φ560×350mm
اتاق تزریق نمونه			نوع استوانه‌ای و افقی، اندازه: Φ250mm×420mm
سیستم پمپاژ			پomp مولکولی مستقل و مجموعه پمپ مکانیکی برای اتاق پاشش اصلی و اتاق تزریق نمونه.
خالص خلاء	اتاق پاشش اصلی	≤6.67×10-6Pa(بعد از پخت و دفع گاز)
خالص خلاء		اتاق تزریق نمونه	≤6.67×10-4Pa(بعد از پخت و دفع گاز)
بازپس‌گیری زمان شوکن	اتاق پاشش اصلی	6.6×10-4پا پس از 40 دقیقه (پمپاژ بعد از مدت کوتاهی نگهداری در هوا و پر شدن با نیتروژن خشک)
بازپس‌گیری زمان شوکن		اتاق تزریق نمونه	6.6×10-3پا پس از 40 دقیقه (پمپاژ بعد از مدت کوتاهی نگهداری در هوا و پر شدن با نیتروژن خشک)
ماژول هدف مگنترون			5 هدف مغناطیسی دائمی؛ اندازه Φ60 میلی‌متر (یکی از هدف‌ها می‌تواند مواد فرومغناطیسی را پاشش دهد). تمام هدف‌ها می‌توانند پاشش RF انجام دهند و سازگار با پاشش DC؛ و فاصله بین هدف و نمونه قابل تنظیم از 40 میلی‌متر تا 80 میلی‌متر است.
جداول انقلاب گرمایی زیربنای آب‌سرد	ساختار زیربنایی	شش ایستگاه، فورن گرمایی در یک ایستگاه نصب شده است، و بقیه ایستگاه‌ها برای زیربنای آب‌سرد است.
		اندازه	Φ30 میلی‌متر، شش تصویر.
		نوع حرکت	0-360°، متقابل.
		گرمایش	دماگذاری حداکثر 600℃±1℃
		بایاس منفی زیربنایی	-200V
سیستم مدار گاز			کنترلر جرمی جریان 2-راه (MFC)
اتاق تزریق نمونه	اتاق نمونه‌گیری	شش عملیات همزمان
		آنالر	حداکثر دماگذاری 800℃±1℃
		ماژول هدف برگشت پوشش	پاکسازی برگشت پوشش
سیستم ارسال نمونه مغناطیسی			برای حمل و نقل نمونه بین کamer پوشش و کamer تزریق نمونه استفاده می شود.
سیستم کنترل کامپیوتری			چرخش نمونه، باز و بسته شدن دوپر و کنترل موقعیت هدف
مساحت اشغالی	مجموعه اصلی	2600×900mm2
مساحت اشغالی		کابینت الکتریکی	700×700mm2(دو مجموعه)