MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / تجهیزات صنعت نیمه هادی چین MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / تجهیزات صنعت نیمه هادی تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

توضیحات محصول

MDPS-560 Pyriform Double Chamber System Sputtering

برای تهیه نانوفیلم های کاربردی تک لایه یا چند لایه از جمله فیلم های سخت، فلزی، نیمه هادی و دی الکتریک مختلف برای دانشگاه ها و موسسات علمی استفاده می شود.

محفظه خلاء کندوپاش، هدف کندوپاش مگنترون، میز گرمایش بستر خنک کننده آب، محفظه تزریق نمونه، محفظه نمونه، آنیلر، هدف شستشوی معکوس، مکانیسم ارسال نمونه آهنربایی، مدار گاز، سیستم پمپاژ، سیستم اندازه گیری خلاء، سیستم کنترل الکتریکی و پایه نصب.

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / تولید تجهیزات صنعت نیمه هادی

مشخصات

نوع			MDPS-560 II
اتاق کندوپاش اصلی			محفظه خلاء پیریفرم، اندازه: Φ560×350 میلی متر
محفظه تزریق نمونه			نوع استوانه ای و افقی، اندازه: Φ250mm×420mm
سیستم پمپاژ			مجموعه پمپ مولکولی ترکیبی مستقل و پمپ مکانیکی برای محفظه کندوپاش اصلی و محفظه تزریق نمونه.
خلاimate نهایی	اتاق کندوپاش اصلی	≤6.67×10-6Pa (پس از پخت و گاز زدایی)
خلاimate نهایی		محفظه تزریق نمونه	≤6.67×10-4Pa (پس از پخت و گاز زدایی)
بازیابی زمان خلاء	اتاق کندوپاش اصلی	6.6×10-4Pa بعد از 40 دقیقه (پمپ زدن پس از مدت کوتاهی در معرض هوا و پر از نیتروژن خشک)
بازیابی زمان خلاء		محفظه تزریق نمونه	6.6×10-3Pa بعد از 40 دقیقه (پمپ زدن پس از مدت کوتاهی در معرض هوا و پر از نیتروژن خشک)
ماژول هدف مگنترون			5 هدف آهنربای دائمی؛ اندازهΦ60mm (یکی از اهداف می تواند مواد فرومغناطیسی را پراکنده کند). همه اهداف می توانند کندوپاش RF را انجام دهند. و DC sputtering سازگار. و فاصله بین هدف و نمونه از 40 میلی متر تا 80 میلی متر قابل تنظیم است.
جدول انقلاب گرمایش بستر آب خنک کننده	ساختار بستر	شش ایستگاه، کوره گرمایش نصب شده در یک ایستگاه، و بقیه ایستگاه های بستر خنک کننده آب هستند.
		اندازه	Φ30 میلی متر، شش عکس.
		حالت حرکت	0-360 درجه، متقابل.
		پوشاک	حداکثر دما 600℃±1℃
		سوبست منفی زیرلایه	200V
سیستم مدار گاز			کنترل کننده جریان جرم دو طرفه (MFC)
محفظه تزریق نمونه	اتاق نمونه	شش ساده یک بار
		آنیلر	حداکثر دمای گرمایش 800℃±1℃
		ماژول هدف Resputtering	تمیز کردن رسپترینگ
سیستم ارسال نمونه مگنت			برای انتقال نمونه بین محفظه کندوپاش و محفظه تزریق نمونه استفاده می شود.
سیستم کنترل کامپیوتری			چرخش نمونه، باز و بسته شدن بافل و کنترل موقعیت هدف
طبقه اشغال شده	مجموعه اصلی	2600 × 900 میلی متر مربع
طبقه اشغال شده		کابینت برق	700×700mm2 (دو مجموعه)