1. نوع نوردادنی: تک سطحی.
2. منطقه نوردادنی: 110×110 میلیمتر.
3. نامنظم بودن روشنایی نوردادنی: ≤±3%.
4. شدت نوردادنی: قابل تنظیم 0-30mw/cm2.
5. زاویه پرتو فرابنفش: ≤3°.
6. طول موج مرکزی نور فرابنفش: 365nm.
7. عمر منبع نور فرابنفش: ≥500 ساعت.
8. استفاده از شاتر الکترونیکی.
9. قدرت تفکیک نوردادنی: 1 میکرون.
10. محدوده اسکن میکروسکوپی: X: ±15mm Y: ±15mm;
11. محدوده هممرکزی: تنظیم X,Y ±4mm؛ تنظیم جهت Q ±3°;
12. دقت نگارش: 1 μ دقت نسخه کاربر و چیپ باید با قوانین ملی مطابقت داشته باشد،
و محیط، دما، رطوبت و غبار میتوانند به طور دقیق کنترل شوند. فتورزست وارداتی مثبت استفاده میشود و ضخامت فتورزست یکنواخت میتواند به طور دقیق کنترل شود. علاوه بر این، فرآیندهای پیش و پس پیشرفته هستند؛
13. مقدار جداسازی؛ قابل تنظیم 0 تا 50 μm;
14. روش نوردهی: نوردهی نزدیک، که میتواند نوردهی تماس سخت، تماس نرم و تماس نیروی میکرو را به دست آورد؛ 15. فرمول یافتن مربع: هوا