این تجهیزات عمدتاً برای توسعه و تولید مدارهای مجتمع کوچک و متوسط، اجزای نیمه هادی و دستگاه های موج صوتی سطحی استفاده می شود. این دستگاه به دلیل مکانیزم تسطیح پیشرفته و نیروی تسطیح کم، نه تنها برای قرار گرفتن در معرض انواع زیرلایه ها، بلکه برای قرار گرفتن در معرض لایه های به راحتی تکه تکه شده مانند آرسنید پتاسیم و فولاد فسفات و همچنین قرار گرفتن در معرض مواد غیر قابل استفاده است. بسترهای دایره ای و کوچک