این تجهیزات یک دستگاه لیتوگرافی با دقت بالا است که توسط شرکت ما به خصوص برای ویژگی‌های استفاده از دستگاه‌های لیتوگرافی در دانشگاه‌ها و مراکز پژوهشی مختلف توسعه یافته است. این دستگاه عمدتاً برای توسعه و تولید مدارهای مجتمع کوچک و متوسط، مولفه‌های نیمه رسانا، دستگاه‌های فوتونیک و دستگاه‌های موج صدا روی سطح استفاده می‌شود.
مشخصات
پارامترهای فنی اصلی
دستگاه می‌تواند یک پنجره ماسک مربعی با ابعاد 5 "X5" را به وسیله شفط هوای خالی جذب کند، بدون نیاز به شرایط خاص برای ضخامت صفحه (محدوده 1 تا 3 میلی‌متر). دستگاه می‌تواند بر روی زیربنای دایره‌ای با قطر 100 میلی‌متر استفاده شود؛ ضخامت زیربنای ≤ 5 میلی‌متر; روشنایی: منبع نور: از لامپ مرسدیس مستقیم فشار فوق العاده GCQ350Z استفاده می‌شود. محدوده نوردهی: ≤ قطر 117 میلی‌متر، ناحیه نوردهی: قطر 100 میلی‌متر در محدوده‌ای با قطر 100 میلی‌متر، نامنظم بودن نوردهی ≤ ± 3٪ است و شدت نوردهی >6mw/cm2 (این شاخص با استفاده از منبع نور UV خط I-line 365nm اندازه‌گیری می‌شود). این دستگاه از رله زمانی وارداتی برای کنترل شاتر هواپاش استفاده می‌کند، که عملکرد دقیق و قابل اتکا را تضمین می‌کند. این ماشین یک ماشین نوردهی تماسی است که می‌تواند دستیابی به: نوردهی تماس سخت: از شفط لوله‌ای برای کسب تماس شفاف بالا استفاده می‌کند، شفط ≤ -0.05MPa ۸. نورپردازی مخملی: فشار تماس می‌تواند وakuم را بین -0.02MPa تا -0.05MPa افزایش دهد. ۹. نورپردازی میکرو تماس: کمتر از تماس مخملی، وakuم ≥ -0.02MPa. ۱۰. تفکیک‌پذیری نورپردازی: تفکیک‌پذیری نورپردازی تماس سخت این دستگاه می‌تواند به بالای 1 μm (دقت «بلیط» و «چیپ» کاربر باید با قوانین ملی مطابقت داشته باشد و محیط، دما، رطوبت و گرد و غبار تحت کنترل سخت قرار گیرد. از فتو-resist مثبت وارداتی استفاده می‌شود و ضخامت فتو-resist یکنواخت تحت کنترل سخت قرار می‌گیرد. علاوه بر این، فرآیندهای قبلی و بعدی پیشرفته هستند). ۱۱. هم‌مرکز‌سازی: سیستم مشاهده شامل دو دوربین CCD است که روی دو میکروسکوپ تنکه مونتاژ شده‌اند و از طریق کابل ویدئو به صفحه نمایش متصل می‌شوند.
بسته‌بندی و ارسال
مشخصات شرکت
ما ۱۶ سال سابقه فروش تجهیزات داریم. می‌توانیم راه‌حل حرفه‌ای خط تولید بسته‌بندی اولیه و نهایی نیمه‌رسانا از چین را برای شما ارائه دهیم.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
